점착력 제어가 가능한 폴리머 능동 탈부착 척
    41.
    发明授权
    점착력 제어가 가능한 폴리머 능동 탈부착 척 有权
    主动式可拆卸聚合物卡盘,可控制胶粘力

    公开(公告)号:KR101045102B1

    公开(公告)日:2011-06-29

    申请号:KR1020100085032

    申请日:2010-08-31

    Abstract: PURPOSE: A chuck for actively attaching/detaching polymer is provided to actively control the strength of an adhesive force, thereby shortening transfer time and process time. CONSTITUTION: A chuck(10) transfers a device(30) formed on a substrate(20). Fibers are arranged in a body in a specific direction. The body includes polymer with low elasticity such as PDMS(Poly DiMethyl Siloxane), silicon rubber, and butyl rubber. The chuck has anisotropy. The fiber has an elastic coefficient which is between 1GPa and 2TPa.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于主动安装/分离聚合物的卡盘,以主动控制粘合力的强度,从而缩短传输时间和加工时间。 构成:卡盘(10)传送形成在基板(20)上的装置(30)。 纤维沿特定方向排列在身体中。 身体包括低弹性聚合物,如PDMS(聚二甲基硅氧烷),硅橡胶和丁基橡胶。 卡盘具有各向异性。 纤维的弹性系数在1GPa和2TPa之间。

    태양에너지를 이용한 복합발전장치
    42.
    发明授权
    태양에너지를 이용한 복합발전장치 有权
    使用太阳能的化合物发生器

    公开(公告)号:KR101001328B1

    公开(公告)日:2010-12-14

    申请号:KR1020100038546

    申请日:2010-04-26

    CPC classification number: Y02E10/50 H01L31/0525 H01L31/052 H01L35/02

    Abstract: PURPOSE: A complex generating apparatus using solar energy is provided to prevent the photoelectric transformation efficiency of a solar cell from reducing by maintaining the internal temperature of the solar cell. CONSTITUTION: A solar cell(100) is mounted on the upper side of a solar cell receiver(200). A fresnel lens(300) is installed on the upper side of the receiver. A thermoelectric element(500) is horizontally installed on the upper side of the receiver. The thermoelectric element generates thermoelectromotive force using seebeck effect. A heat sink(600) is installed to the lower side of the receiver.

    Abstract translation: 目的:提供一种使用太阳能的复合发电装置,通过维持太阳能电池的内部温度来防止太阳能电池的光电转换效率降低。 构成:将太阳能电池(100)安装在太阳能电池接收器(200)的上侧。 菲尼尔透镜(300)安装在接收器的上侧。 热电元件(500)水平地安装在接收器的上侧。 热电元件使用贝贝效应产生热电动势。 散热器(600)安装在接收器的下侧。

    전사용 스탬프 제조방법
    43.
    发明授权

    公开(公告)号:KR102252431B1

    公开(公告)日:2021-05-17

    申请号:KR1020190135836

    申请日:2019-10-29

    Abstract: 본발명은경화과정에서발생되는수축현상을최소화하여패턴의위치정밀도를높일수 있는전사용스탬프제조방법및 이를이용하여제조된전사용스탬프를제공함에있다. 이를위한본 발명은패턴을가지는기판몰드를형성하는기판몰드형성단계; 미리설정된경화조건에서제1 수축률을가지는제1 소재를상기기판몰드상에배치하는제1 소재배치단계; 상기경화조건에서상기제1 수축률보다작은제2 수축률을가지는제2 소재를상기제1 소재상에배치하는제2 소재배치단계; 상기제2 소재를상기기판몰드에밀착시켜상기기판몰드의패턴형상과상응하는형상으로상기제1 소재를형성하는패턴형성단계; 및상기경화조건에따라상기제1 소재및 상기제2 소재를경화시키는소재경화단계;를포함하는특징을개시한다.

    롤 스탬프의 접촉변위 제어장치
    47.
    发明授权
    롤 스탬프의 접촉변위 제어장치 有权
    滚印机接触位移控制装置

    公开(公告)号:KR101813145B1

    公开(公告)日:2017-12-29

    申请号:KR1020160132260

    申请日:2016-10-12

    CPC classification number: B41F16/00 B41F17/14 B41F33/00

    Abstract: 본발명은기판에서소자를전사받거나또는기판에소자를전사하는과정에서롤 스탬프와기판사이의간격을균일하게유지시키는롤 스탬프의접촉변위제어장치에관한것으로서, 롤스탬프와, 높이조절부와, 센서부와, 제어부를포함한다. 롤스탬프는기판의전사면상에배치되어기판의이송속도와대응되는속도로회전한다. 높이조절부는롤 스탬프에장착되어롤 스탬프의높이를조절한다. 센서부는기판이접근하는롤 스탬프의전방에배치되고, 기판의전사면에존재하는하부전사점까지의표면거리와, 롤스탬프가회전되면서하부전사점과만나는롤 스탬프의상부전사점까지의측부거리를각각측정한다. 제어부는측부거리를이용하여롤 스탬프의축 중심으로부터상부전사점까지의반경거리을산출하고, 하부전사점과상부전사점이서로만나는시점에표면거리와반경거리의차이인접촉변위만큼롤 스탬프의높이가조절되도록높이조절부를제어한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于辊邮票的接触位移控制装置均匀地保持辊印模和在传送设备接收或从衬底或基板上,卷邮票和一个高度调节单元传送所述元件的工序中的基板之间的间隙中, 一个传感器单元和一个控制单元。 辊印设置在基板的转印表面上并且以与基板的转印速度相对应的速度旋转。 高度调节器安装在辊印模上以调节辊印的高度。 所述传感器构件布置在辊印模基板的前面是可访问的,表面距离kkajiui存在于基板的转印面和辊印记下转移点是侧面街道而转动每一kkajiui交点与下部转移点的辊压模的上转移点 据测定。 所述控制单元,从而利用从辊邮票的轴向中心侧的距离,和所述表面距离的高度和通过辊印模接触位移差半径georiui在较低转印点的时间调整,并且上层的搬运点算出的上转移点kkajiui半径georieul彼此相遇 由此控制高度调节部分。

    마이크로 소자 전사방법 및 마이크로 소자 전사방법으로 제조된 마이크로 소자 기판
    48.
    发明授权
    마이크로 소자 전사방법 및 마이크로 소자 전사방법으로 제조된 마이크로 소자 기판 有权
    采用微器件转移法和微器件转移法制造的微器件衬底

    公开(公告)号:KR101800367B1

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:KR1020160107759

    申请日:2016-08-24

    CPC classification number: H01L21/18 H01L21/52 H01L21/677 H01L21/768

    Abstract: 본발명은마이크로소자전사방법에관한것으로서, 가압단계와, 제 1 점착력형성단계와, 제 2 점착력형성단계와, 이형단계를포함한다. 가압단계는점착층에마이크로소자가부착된캐리어필름과, 금속전극위에솔더가도포된기판을접촉시켜가압한다. 제 1 점착력형성단계는가압단계에의해마이크로소자와금속전극사이에배치된솔더가눌리면서마이크로소자와솔더간의제 1 점착력이형성된다. 제 2 점착력형성단계는가압단계에의하여마이크로소자가점착층에압입되어접합되면서마이크로소자와점착층간의제 2 점착력이형성된다. 이형단계는마이크로소자가솔더에점착된상태로캐리어필름을기판으로부터이형시킨다. 제 2 점착력의크기는마이크로소자가점착층에압입되는압입깊이에비례하고, 제 2 점착력이제 1 점착력보다작게형성되는범위내에서점착층에대한마이크로소자의압입깊이가형성된다.

    Abstract translation: 本发明包括,加压步骤,一第一形成步骤和粘合强度,粘合强度,以形成一个第二步骤中,释放步骤涉及一种微型器件的转移方法。 在压制步骤中,其上附着有微型器件的载体膜和其上涂覆有焊料的基板被压在粘合剂层上。 第一粘合力形成步骤焊料nulrimyeonseo微元件和设置在所述微装置并通过所述按压工序的金属电极之间的焊料之间形成的第一粘合强度。 微元件由压接工序压入粘合剂层中形成的微元件和压敏粘合剂层的第二粘合强度的第二粘合形成工序。 释放步骤使微装置粘附到焊料上,从基底释放载体膜。 的第二粘合强度的大小正比于压痕深度是微器件被压入粘合剂层,形成在第二粘合强度现在压在微元件,用于与第一粘合强度,形成更小的范围内的压敏粘合剂层的深度。

    유연소자의 테스트 방법 및 장치
    49.
    发明公开
    유연소자의 테스트 방법 및 장치 有权
    用于测试柔性装置的方法和装置

    公开(公告)号:KR1020160057288A

    公开(公告)日:2016-05-23

    申请号:KR1020150060813

    申请日:2015-04-29

    Abstract: 본발명에따른유연소자의테스트방법은측정하고자하는유연소자를본체부에고정시키는단계, 본체부에포함된지지면의둘레를따라배치된하나이상의전극패드를포함하는전기적접속부와유연소자를전기적으로접촉하는단계, 본체부에포함된챔버에매개체를입력또는출력하여챔버의압력을조절하는단계, 및챔버의압력에의하여유도된응력에의해변형된유연소자를테스트하는단계및 테스트를위한장치를포함한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于测试柔性元件的方法和装置。 根据本发明的用于测试柔性元件的方法包括以下步骤:将待测量的柔性元件固定到主体单元; 制造电连接单元,其包括沿着包括在主体单元中的支撑表面的圆周布置的一个或多个电极焊盘和柔性元件以彼此电接触; 通过将介质放入/从包含在主体单元中的室中取出介质来调节室的压力; 并测试由腔室的压力引起的应力而变形的柔性元件。

    판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치
    50.
    发明授权
    판상형 구조의 나노박막과 기판 사이의 신뢰성 향상 장치 有权
    提高纳米材料与平面结构与目标基板之间的可靠性的装置

    公开(公告)号:KR101241964B1

    公开(公告)日:2013-03-11

    申请号:KR1020120060650

    申请日:2012-06-05

    Abstract: PURPOSE: A device for improving reliability between a plate-type nano-thin film and a substrate is provided to pressurize a nano-thin film, which has a two-dimensional structure and is deposited or transferred onto the substrate, with a roller or a slider in order to strongly and uniformly bond the nano-thin film to the substrate, thereby improving the electrical, mechanical, and optical properties of the nano-thin film. CONSTITUTION: A device for improving reliability between a plate-type nano-thin film(120) and a substrate(110) includes a conveying stage(100) and a pressurizing roller(200). The substrate has the nano-thin film on the upper side, is fixed on the conveying stage, and moves in an X-axial direction. The rotatable pressurizing roller installed on the upper side of the conveying stage is movable and capable of controlling loads in a Z-axial direction. The pressurizing roller sticks the nano-thin film to the substrate. A coating layer with at least two layers is formed on the outer circumferential surface of the pressurizing roller.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于提高板状纳米薄膜和基板之间的可靠性的装置,以将具有二维结构并被沉积或转印到基底上的纳米薄膜用辊或 滑块,以便将纳米薄膜牢固且均匀地粘合到基底上,从而改善纳米薄膜的电学,机械和光学性能。 构成:用于提高板状纳米薄膜(120)和基板(110)之间的可靠性的装置包括输送台(100)和加压辊(200)。 基板在上侧具有纳米薄膜,固定在输送台上,并沿X轴方向移动。 安装在输送台上侧的可旋转加压辊是可移动的,能够控制Z轴方向的载荷。 加压辊将纳米薄膜粘贴到基底上。 在加压辊的外周面形成有至少两层的涂层。

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