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公开(公告)号：WO2012150814A2
公开(公告)日：2012-11-08
申请号：PCT/KR2012/003440
申请日：2012-05-02
CPC classification number: B41F1/46 , B41F1/42 , B41F17/001
Abstract: 본 발명은 전사용 스탬프와 전사 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 롤(roll)에 의해 대면적에 형성된 박막 소자를 밀착시켜 이송한 후 롤에 의해 이송된 박막 소자를 정렬시킴으로서 연속 공정이 가능한 대면적 전사용 스탬프와, 상기 스탬프의 표면 접촉력을 균일화 하여 전사 시 박막 소자의 손상을 최소화 하게 되는 대면적 전사용 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及用于图像传送和图像传送设备的印章。 更具体地说，本发明涉及一种用于大面积图像转印的印模，其能够通过使用辊进行连续加工，以确保形成在大面积上的薄膜元件的紧密接触和移动，然后使薄膜元件 已经通过滚动移动了; 以及使用大面积图像转印印模的大面积图像转印设备，该设备适于通过使印模的表面接触力均匀而使图像转印期间对薄膜元件的损伤最小化。
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公开(公告)号：WO2010021528A2
公开(公告)日：2010-02-25
申请号：PCT/KR2009/004702
申请日：2009-08-24
CPC classification number: B81C1/00095 , B33Y80/00 , B81B2207/056 , B81B2207/07 , B82Y30/00 , Y10T428/24479 , Y10T428/24851
Abstract: 본 발명은 계층화 구조물의 형상, 그 형상에 따른 계층화 구조물의 공학적 효과, 그 공학적 효과의 증대 방법, 신규 소재 또는 부품에 대한 계층화 구조물의 응용 방법, 계층화 구조물의 대량 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 계층화 구조물 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 내부의 기지에 나노 스케일 영역의 특성 길이를 가지는 적어도 하나 이상의 나노 오브젝트가 일정한 패턴에 의해 배열된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물을 포함한다. 본 발명에 따르면, 나노 스케일 영역에서 발생하는 우수한 특성을 거시적인 스케일 영역의 구조물에서도 활용할 수 있으며, 스케일이 서로 다른 구조물들을 상이한 스케일에 무관하게 간편히 연계할 수 있다.
Abstract translation:
本发明中的分层结构的形状，根据该形状，并且增加了工程效果的方法，该层状结构的一个新的材料或组件的应用方法中，层状结构的层状结构的工程效果大批量生产 ＆lt; 本发明包括在层状结构的层状结构，并因为它涉及到用于制备，其特征在于至少一个或多个纳米物体的过程被具有纳米尺度范围的特征长度的内基座的预定图案布置。 根据本发明，可以在宏观尺度区域的结构中利用纳米尺度区域中出现的优异特性，并且不管尺度不同，具有不同尺度的结构可以容易地连接。
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公开(公告)号：KR101168259B1
公开(公告)日：2012-07-30
申请号：KR1020120022102
申请日：2012-03-05
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: C01B32/184 , B01J3/03 , B01J19/1818 , B41M5/03 , B41M5/10
Abstract: PURPOSE: An apparatus for continuously synthesizing graphene based on a roll-to-roll process is provided to improve the productivity of graphene synthesis by rapidly applying and eliminating thermal energy required for the graphene synthesis. CONSTITUTION: An apparatus for continuously synthesizing graphene includes a chamber(100), a supplying roll(200), a collecting roll(300), a heating part(400), a gas supplying part(500), and a gas discharging part(600). The chamber is sealed from outside. The supplying roll and the collecting roll are arranged in the chamber. Both end parts of a substrate is in connection with the supplying roll and the collecting roll and wound around the rolls. The heating part is arranged in the chamber and heats the substrate. The gas supplying part supplies carbon-containing gas into the chamber. The gas discharging part discharges gas from the chamber. Cooling units are formed at the supplying roll and the collecting roll.
Abstract translation: 目的：提供一种基于卷对卷方法连续合成石墨烯的设备，通过快速应用和消除石墨烯合成所需的热能来提高石墨烯合成的生产率。 构成：用于连续合成石墨烯的设备包括室（100），供应辊（200），收集辊（300），加热部分（400），气体供应部分（500）和气体排出部分 600）。 该室从外部密封。 供应辊和收集辊布置在室中。 基片的两个端部与供给辊和收集辊连接并卷绕在辊上。 加热部件设置在室内并加热基板。 气体供给部将含有气体的气体供给到室内。 气体排出部从室排出气体。 在供给辊和收集辊上形成冷却单元。
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公开(公告)号：KR101045102B1
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：KR1020100085032
申请日：2010-08-31
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H05K13/04 , H01L21/677 , B65G49/07 , C08L83/04
CPC classification number: H05K13/046 , C08L83/04 , H01L21/6835 , H01L21/68714 , H05K13/0469
Abstract: PURPOSE: A chuck for actively attaching/detaching polymer is provided to actively control the strength of an adhesive force, thereby shortening transfer time and process time. CONSTITUTION: A chuck(10) transfers a device(30) formed on a substrate(20). Fibers are arranged in a body in a specific direction. The body includes polymer with low elasticity such as PDMS(Poly DiMethyl Siloxane), silicon rubber, and butyl rubber. The chuck has anisotropy. The fiber has an elastic coefficient which is between 1GPa and 2TPa.
Abstract translation: 目的：提供一种用于主动安装/分离聚合物的卡盘，以主动控制粘合力的强度，从而缩短传输时间和加工时间。 构成：卡盘（10）传送形成在基板（20）上的装置（30）。 纤维沿特定方向排列在身体中。 身体包括低弹性聚合物，如PDMS（聚二甲基硅氧烷），硅橡胶和丁基橡胶。 卡盘具有各向异性。 纤维的弹性系数在1GPa和2TPa之间。
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公开(公告)号：KR101173300B1
公开(公告)日：2012-08-10
申请号：KR1020120015041
申请日：2012-02-14
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: PURPOSE: A reliability improving device and a method between a sheet-type structure nano thin film and a substrate are provided to uniformly weld the nano thin film to a substrate by compressing the nano thin film with a roller or a slider. CONSTITUTION: A reliability improving device(1000) between a nano thin film and a substrate comprises a transfer tool, an upper roller and a lower roller. The transfer tool transfers a substrate(110) in which a nano thin film(120) is formed on the upper side to the X-axis. The upper roller and the lower roller are respectively isolated towards the upper and the lower sides having constant distance. The upper roller and the lower roller can move towards the Z-axis and enables load control. More than 2 layered coating layers are formed on the outer circumference of the upper roller. A reliability enhancing method between the nano thin film and the substrate comprises the following steps: providing a substrate in which the nano thin film is formed on the upper side; compressing the nano thin film by transferring the upper roller and the lower roller towards the Z-axis; and compressing the nano thin film on the substrate by relative motion of the substrate, the upper roller and the lower roller.
Abstract translation: 目的：提供片状结构纳米薄膜和基板之间的可靠性提高装置和方法，通过用辊或滑块压缩纳米薄膜，将纳米薄膜均匀地焊接到基板上。 构成：纳米薄膜和基板之间的可靠性改善装置（1000）包括转印工具，上辊和下辊。 转印工具将其上面形成有纳米薄膜（120）的基板（110）传送到X轴。 上辊和下辊分别隔着上下两侧隔开一段距离。 上辊和下辊可以朝向Z轴移动，并实现负载控制。 在上辊的外周上形成2层以上的涂层。 纳米薄膜和基板之间的可靠性提高方法包括以下步骤：提供在上侧形成纳米薄膜的基板; 通过将上辊和下辊转向Z轴来压缩纳米薄膜; 以及通过基板，上辊和下辊的相对运动来压缩基板上的纳米薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100933904B1
公开(公告)日：2009-12-28
申请号：KR1020080029954
申请日：2008-03-31
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 열전 요소부 주변에 더미 패턴을 삽입하여 본딩 효율을 높일 수 있는 본딩 특성이 개선된 마이크로 열전 에너지 변환 모듈 제조 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 본딩 특성이 개선된 마이크로 열전 에너지 변환 모듈 제조 방법은, n형 반도체 패턴이 형성된 제 1 기판과 p형 반도체 패턴이 형성된 제 2 기판을 상호 대향되게 위치시킨 후 p형 반도체 패턴과 n형 반도체 패턴이 π형으로 직렬 연결되게 본딩하여 열전 요소부를 형성하는 마이크로 열전 에너지 변환 모듈을 제조하는 방법에 있어서, 상기 제 1 기판 또는 제 2 기판의 열전 요소부 주변 영역에 본딩 특성을 개선하기 위한 더미 패턴을 더 형성하는 것이다.
마이크로, 열전 에너지 변환, 더미 패턴, 본딩Abstract translation: 目的：提供一种用于制造模块的微型热电转换方法，以形成用于结合的虚设图案并增强结合特性。 构成：用于制造模块的微型热电转换方法如下。 n型半导体图案与第一基板和第二基板相互面对。 热电转换元件部分（A）通过将p型半导体图案和n型半导体图案串联连接π型而形成。 形成用于改善第一基板或第二基板的热电转换元件部分附近的键合特性的虚拟图案。
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公开(公告)号：KR1020090104505A
公开(公告)日：2009-10-06
申请号：KR1020080029954
申请日：2008-03-31
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: PURPOSE: A micro thermoelectric conversion method for manufacturing module is provided to form the dummy pattern for a bonding and to enhance the bonding characteristic. CONSTITUTION: The micro thermoelectric conversion method for manufacturing module comprises as follows. The n-type semiconductor pattern is mutually faced to first substrate and the second substrate. The thermoelectric conversion element part(A) is formed by bonding the p-type semiconductor pattern and n-type semiconductor pattern serially by π-type. The dummy pattern for improving the bonding characteristic near the thermoelectric conversion element part of the first substrate or the second substrate is formed.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造模块的微型热电转换方法，以形成用于接合的虚拟图案，并提高接合特性。 构成：制造模块的微型热电转换方法如下。 n型半导体图案相互面对第一基板和第二基板。 热电转换元件部分（A）通过π型连接p型半导体图案和n型半导体图案而形成。 形成用于改善第一基板或第二基板的热电转换元件部分附近的接合特性的虚拟图案。
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公开(公告)号：KR101241964B1
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：KR1020120060650
申请日：2012-06-05
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B41M5/03
Abstract: PURPOSE: A device for improving reliability between a plate-type nano-thin film and a substrate is provided to pressurize a nano-thin film, which has a two-dimensional structure and is deposited or transferred onto the substrate, with a roller or a slider in order to strongly and uniformly bond the nano-thin film to the substrate, thereby improving the electrical, mechanical, and optical properties of the nano-thin film. CONSTITUTION: A device for improving reliability between a plate-type nano-thin film(120) and a substrate(110) includes a conveying stage(100) and a pressurizing roller(200). The substrate has the nano-thin film on the upper side, is fixed on the conveying stage, and moves in an X-axial direction. The rotatable pressurizing roller installed on the upper side of the conveying stage is movable and capable of controlling loads in a Z-axial direction. The pressurizing roller sticks the nano-thin film to the substrate. A coating layer with at least two layers is formed on the outer circumferential surface of the pressurizing roller.
Abstract translation: 目的：提供一种用于提高板状纳米薄膜和基板之间的可靠性的装置，以将具有二维结构并被沉积或转印到基底上的纳米薄膜用辊或 滑块，以便将纳米薄膜牢固且均匀地粘合到基底上，从而改善纳米薄膜的电学，机械和光学性能。 构成：用于提高板状纳米薄膜（120）和基板（110）之间的可靠性的装置包括输送台（100）和加压辊（200）。 基板在上侧具有纳米薄膜，固定在输送台上，并沿X轴方向移动。 安装在输送台上侧的可旋转加压辊是可移动的，能够控制Z轴方向的载荷。 加压辊将纳米薄膜粘贴到基底上。 在加压辊的外周面形成有至少两层的涂层。
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公开(公告)号：KR101022016B1
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：KR1020080082721
申请日：2008-08-25
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 계층화 구조물의 형상, 그 형상에 따른 계층화 구조물의 공학적 효과, 그 공학적 효과의 증대 방법, 신규 소재 또는 부품에 대한 계층화 구조물의 응용 방법, 계층화 구조물의 대량 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명은 계층화 구조물 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 내부의 기지(Matrix)에 나노(Nano) 스케일 영역의 특성 길이를 가지는 적어도 하나 이상의 나노 오브젝트(Object)가 일정한 패턴(Pattern)에 의해 배열된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물을 포함한다.
본 발명에 따르면, 나노 스케일 영역에서 발생하는 우수한 특성을 거시적인 스케일 영역의 구조물에서도 활용할 수 있으며, 크기 스케일이 서로 다른 구조물들을 상이한 크기 스케일에 무관하게 간편히 연계할 수 있다.
계층화, 나노 스케일, 기지, 리소그라피-
公开(公告)号：KR100998087B1
公开(公告)日：2010-12-03
申请号：KR1020100030075
申请日：2010-04-01
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H05K13/04 , H01L21/677 , B65G49/07 , C08L83/04
CPC classification number: H05K13/046 , B25B11/002 , C08L83/04 , H01L21/6831
Abstract: PURPOSE: An active removable chuck is provided to control the attachment and detachment of a structure by actively controlling adhesive power. CONSTITUTION: A chuck(70) comprises a body(71), a magnetic material(73), and a soft polymer(75). The body is formed with an electromagnet. The edge of the magnetic material is fixed to one side of the body. If the body is connected to a power, the center of the magnet material is contacted with the body, and if not, the center of the magnet material is separated from the body. The soft Polymer is attached to one side of the magnetic material and includes one of poly dimethyl siloxane, silicon rubber, and butyl rubber.
Abstract translation: 目的：提供主动的可拆卸卡盘，通过主动控制粘合力来控制结构的附着和拆卸。 构成：卡盘（70）包括主体（71），磁性材料（73）和软质聚合物（75）。 主体由电磁铁形成。 磁性材料的边缘固定在身体的一侧。 如果主体与电源连接，则磁体材料的中心与主体接触，如果不是，则磁体材料的中心与主体分离。 软质聚合物附着在磁性材料的一侧，包括聚二甲基硅氧烷，硅橡胶和丁基橡胶之一。
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