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公开(公告)号：KR102205597B1
公开(公告)日：2021-01-21
申请号：KR1020190100456
申请日：2019-08-16
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은단일샷 각도분해분광반사광측정법을이용한다층박막두께측정장치및 측정방법에관한것으로, 보다상세하게는다층박막이코팅된측정대상물의두께및 굴절률을측정하기위한장치에있어서, 광을출사시키는광원을갖는조명광학모듈; 상기조명광학모듈에서출사된광 일부를반사시키는빔스플리터; 상기빔스플리터에서반사된광을다층박막으로구성된상기측정대상물로입사시켜후초점면에반사광을형성시키는대물렌즈; 상기측정대상물에입사되어반사된반사광과상기빔스플리터를통과한후, 입사되는이미징광학계; 상기이미징광학계를통과한반사광패턴의선택된라인만을투과시키는슬릿; 상기슬릿을통과한라인반사광신호를각도분해분광반사패턴으로변환하는영상분광기; 서로다른편광상태를갖는각도분해분광반사광영상을획득, 측정하는편광카메라; 및상기서로다른편광상태를갖는각도분해분광반사광영상으로부터측정대상물의두께를측정, 분석하는분석수단;을포함하는것을특징으로하는단일샷 각도분해분광반사광측정법을이용한다층박막두께측정장치에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101886919B1
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：KR1020160075238
申请日：2016-06-16
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은영상분광광학계를이용한다층막구조물의두께와형상측정장치및 측정방법에대한것이다. 보다상세하게는박막이코팅된측정대상물의두께정보와형상정보를획득하기위한방법에있어서, 광원에서출사된광을빔스플리터에의해 2개의광으로분할하는제1단계; 상기제1단계에서분할된 2개의광 중하나의광을박막을입힌측정대상물에입사시킨후, 박막의상층부와하층부에서반사되는광이간섭된제1반사광을영상분광기가획득하는제2단계; 상기제1단계에서분할된 2개의광 중나머지하나의광을기준미러에입사시킨후 반사시켜제2반사광을획득하는제3단계; 상기제1반사광과상기제2반사광이합쳐진간섭광을영상분광기가획득하는제4단계; 상기제1반사광의간섭무늬를획득하여절대반사율값을구하는제5단계; 상기간섭광의간섭무늬로부터두께정보와형상정보를갖는위상성분값을추출하는제6단계; 상기절대반사율값과상기위상성분값으로부터박막두께정보를측정하는제7단계; 및상기제7단계에서측정된박막두께정보와상기위상성분값으로부터박막형상정보를측정하는제8단계를포함하는것을특징으로하는본 발명은영상분광광학계를이용한다층막구조물의두께와형상및 측정방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020180098434A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：KR1020170024712
申请日：2017-02-24
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은광학계가공을위한연마툴장치및 그작동방법에대한것이다. 보다상세하게는광학계의연마면을연마하기위해, 자전운동과공전운동을동시에갖는연마툴장치에있어서, 제1회전축의일단에구비되어상기제1회전축을길이방향기준으로회전구동시키는구동모터; 상기제1회전축타단에구비되는제1기어; 중공부가형성되며, 중공부중심부에상기제1기어가위치되며, 중공부내면에톱니가구비된하우징; 상기하우징의톱니와상기제1기어사이에위치되는제1연결기어와, 일단에상기제1연결기어가결합되고타단에제2연결기어가결합되는연결회전축을갖는연결기어단; 및상기제2연결기어와맞물려회전되는제2기어와상기제2기어의회전에의해자전되는연마툴을포함하는것을특징으로하는광학계가공을위한연마툴장치에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020160075978A
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：KR1020140184806
申请日：2014-12-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B5/08
CPC classification number: G02B5/08 , G02B5/0808 , G02B5/0816 , G02B7/198
Abstract: 본발명은변형거울모듈을제공한다. 변형거울모듈은내부에냉각수로가배치된변형거울및 상기변형거울의후면에접착되어상기변형거울을변형시키는복수개의구동소자들을포함하고, 상기구동소자들의각각은상기변형거울의상기후면에접착되고, 상기변형거울을지지하는지지부및 상기지지부와연결되고, 상기변형거울을변형시키는구동부를가진다.
Abstract translation: 提供了可变形反射镜模块。 可变形反射镜模块包括：可变形反射镜，其中具有冷却水道; 以及附接到可变形反射镜的后表面并使可变形反射镜变形的多个操作元件。 每个操作元件包括：支撑单元，其附接到可变形反射镜的后表面并支撑可变形反射镜; 以及耦合到支撑单元并使可变形反射镜变形的操作单元。 因此，可变形反射镜模块可以冷却可变形反射镜，而无需额外的冷却装置。
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公开(公告)号：KR101552652B1
公开(公告)日：2015-09-14
申请号：KR1020130144618
申请日：2013-11-26
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01J9/0215 , G01J2009/002
Abstract: 본발명의실시예에따른대상의파면을측정하는측정기의동작방법은대상의파면을기반으로측정파면을측정하는단계; 측정파면을기반으로기준방향및 제 1 내지제 3 방향들각각에대응하는기준기울기정보및 제 1 내지제 3 기울기정보를측정하는단계; 측정된기준기울기정보및 제 1 내지제 3 기울기정보를기반으로제 1 내지제 3 회전각들을획득하는단계; 및획득된제 1 내지제 3 회전각들을기반으로회전오차에의해발생한오류가보정된파면을출력하는단계를포함하고, 제 1 내지제 3 회전각들은각각기준방향및 제 1 방향의각도차이, 각각기준방향및 제 2 방향의각도차이, 및각각기준방향및 제 3 방향의각도차이이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101501509B1
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：KR1020130128734
申请日：2013-10-28
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01S3/06791 , H01S3/08054 , H01S3/105 , H01S3/1115
Abstract: 본 발명은 이중 광빗 펨토초 광섬유 레이저를 제공한다. 이중 광빗 펨토초 광섬유 레이저는 편광 상태를 유지하는 광섬유 공진기; 상기 광섬유 공진기에 장착되어 펌프광을 상기 광섬유 공진기에 제공하는 파장 분할 다중화 결합기(wavelength division multiplexing couplerer; WDM coupler); 상기 펌프광을 출력하는 펌프 광원; 상기 광섬유 공진기에 장착되고 상기 펌프 광을 통하여 펌핑되는 이득 매질첨가 광섬유; 상기 광섬유 공진기에 장착되고 모드 잠금(mode locking)을 유도하는 모드 잠김 수단; 상기 광섬유 공진기에 장착되고 상기 광섬유 공진기 내부에 진행하는 광을 한 방향으로 진행하도록 분리기(isolator); 상기 광섬유 공진기에서 일부의 출력을 추출하는 광 방향성 결합기; 및 상기 광섬유 공진기에 장착되고 상기 광섬유 공진기 내부에 진행하는 광의 편광 상태에 따라 서로 다른 굴절률을 제공하는 복굴절 소자를 포함한다. 상기 광섬유 공진기는 제1 편광에 대응하고 제1 반복률을 가지는 제1 펄스 열 및 제2 편광에 대응하고 제2 반복률을 가지는 제2 펄스 열을 제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种双光梳飞秒光纤激光器。 双光梳飞秒级光纤激光器包括保持偏振状态的光纤谐振器，安装在光纤谐振器上并将泵浦光提供给光纤谐振器的波分复用（WDM）耦合器，泵浦光源 输出泵浦光，附加在光纤谐振器上并由泵浦光泵浦的增益介质附加光纤，安装在光纤谐振器上并引起模式锁定的模式锁定单元，隔离器是 安装在光纤谐振器上并引导通过光纤谐振器的光沿一个方向前进，提取光纤谐振器的一部分输出的光指向性组合器和安装在光纤上的双折射装置 并且根据光纤谐振器中的光的偏振状态提供不同的折射率。 光纤谐振器提供对应于第一极化并具有第一重复率的第一脉冲串和对应于第二极化并具有第二重复率的第二脉冲串。
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公开(公告)号：KR101473402B1
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：KR1020130062299
申请日：2013-05-31
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은형상측정장치및 방법을제공한다. 이형상측정장치는제1 방향과제2 방향에의하여정의되는제1 평면에서제1 방향을따라연속적으로배열된광원, 제1 방향을따라연장되고제2 방향을중심축으로하여회전하여기울어져배치되고광원으로부터제1 평면에수직한제3 방향으로이격되어배치된빔 분할기(beam splitter), 제1 방향으로연장되어배치되고빔 분할기의하부면에서반사한기준빔과빔 분할기를투과하여샘플에반사되어다시빔 분할기를투과한물체빔 사이의간섭신호를상기제1 방향을따라감지하는광 센서어레이, 및광 센서어레이의공간간섭신호를처리하여빔 분할기의하부면과샘플의상부면사이의거리를제1 방향에따라산출하는처리부를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020140141050A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：KR1020130062299
申请日：2013-05-31
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 형상 측정 장치 및 방법을 제공한다. 이 형상 측정 장치는 제1 방향과 제2 방향에 의하여 정의되는 제1 평면에서 제1 방향을 따라 연속적으로 배열된 광원, 제1 방향을 따라 연장되고 제2 방향을 중심축으로 하여 회전하여 기울어져 배치되고 광원으로부터 제1 평면에 수직한 제3 방향으로 이격되어 배치된 빔 분할기(beam splitter), 제1 방향으로 연장되어 배치되고 빔 분할기의 하부면에서 반사한 기준 빔과 빔 분할기를 투과하여 샘플에 반사되어 다시 빔 분할기를 투과한 물체 빔 사이의 간섭 신호를 상기 제1 방향을 따라 감지하는 광 센서 어레이, 및 광 센서 어레이의 공간 간섭 신호를 처리하여 빔 분할기의 하부면과 샘플의 상부면 사이의 거리를 제1 방향에 따라 산출하는 처리부를 포함한다.
Abstract translation: 提供了轮廓测量装置和轮廓测量方法。 轮廓测量装置包括：在由第一方向和第二方向限定的第一平面上沿第一方向连续布置的光源; 沿第一方向延伸的分束器，围绕第二方向旋转，布置成倾斜，并且布置成在垂直于第一平面的第三方向上与光源分离; 布置成沿第一方向延伸的光传感器阵列，并且在第一方向上检测参考光束和物体光束之间的干涉信号; 以及处理部分，通过处理光传感器阵列的空间干涉信号来计算分束器的底表面与样品的第一方向的顶表面之间的距离，其中参考光束从第一方向的底表面反射 分束器，并且物体光束穿透分束器，从样品反射，并再次穿透分束器。
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公开(公告)号：KR1020140133992A
公开(公告)日：2014-11-21
申请号：KR1020130053536
申请日：2013-05-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 박막 두께 및 형상의 신호 처리 방법을 제공한다. 이 신호 처리 방법은 주어진 박막의 굴절률과 주어진 입사각에서 박막 두께 정보 및 표면 형상 정보를 포함하는 간섭 신호를 처리하여 측정 위상 신호를 추출하는 단계, 박막 두께 및 파수에 따른 이론적 박막 위상과 측정 위상 신호를 이용하여 박막 두께 정보에 대응하는 박막 두께를 산출하는 단계, 및 측정 위상 신호와 이론적 박막 위상의 차이를 이용하여 표면 형상 정보에 대응하는 상부면 높이를 추출하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种薄膜厚度和形状的信号处理方法。 信号处理方法包括：通过处理包含薄膜厚度和表面形状的信息的干涉信号，提供所提供的薄膜折射率和所提供的入射角度的步骤; 根据薄膜的厚度和波数以及测量相位信号，使用薄膜的理论相位计算与薄膜厚度相关的信息的薄膜厚度的步骤; 以及使用测量相位信号和薄膜的理论相位之间的差来提取与表面形状信息相对应的顶表面的高度的步骤。
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公开(公告)号：KR101344028B1
公开(公告)日：2013-12-24
申请号：KR1020110107131
申请日：2011-10-19
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: B29C59/16 , G03F7/70383 , G03F7/70408 , G03F7/70566
Abstract: 본발명은레이저주사방식에서높이방향분해능을향상시킬수 있는간섭을이용한미세패턴제조장치및 그제조장치를이용한미세패턴제조방법에대한것이다. 보다상세하게는,미세패턴제조장치에있어서, 제1특정폭을갖는레이저빔을발생시키는레이저발생부; 발생된레이저빔이입사되어일부를반사시켜제1레이저빔을출사시키고, 나머지는투과시켜제2레이저빔을출사시키는빔스플리터; 빔스플리터에서출사된제1레이저빔을반사시켜빔스플리터로다시입사시키는평면미러; 빔스플리터에서출사된제2레이저빔을반사시켜제1특정폭보다작은제2특정폭을갖는제2레이저빔을빔스플리터로다시입사시키는구면미러; 제1특정폭을갖는제1레이저빔과제2특정폭을갖는제2레이저빔이입사되는검광기; 및검광기를투과한제1레이저빔과제2레이저빔을투과시켜기판에코팅된감광막에제1레이저빔과제2레이저빔이간섭된간섭레이저빔을주사시키는노광렌즈를포함하여, 노광렌즈의초점부근에서제1레이저빔과제2레이저빔이높이방향의간섭무늬방향을갖도록간섭되는것을특징으로하는레이저주사방식에서높이방향분해능을향상시킬수 있는간섭을이용한미세패턴제조장치에관한것이다.
Abstract translation: 精细图案制造装置，其可以改善激光照射方法中的高度方向分辨率。 更具体地，本发明涉及使用干涉的精细图案制造装置和使用该制造装置的精细图案制造方法，其中包括高度方向干涉产生单元以干扰分别具有不同的平面方向宽度的激光束和高度方向 可以通过在感光膜上照射具有高度方向的干涉条纹方向的干涉激光束来提高线宽。
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