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公开(公告)号：WO2018084377A1
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：PCT/KR2017/000326
申请日：2017-01-10
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 변형 거울 보상 장치에 관한 것이다. 본 발명의 변형 거울 보상 장치는 서로 대향된 제1 면과 제2 면을 갖는 고정 판; 상기 제1 면 상에 이격 배치되는 변형 거울; 상기 변형 거울과 상기 고정 판를 연결하고, 서로 이격된 복수의 구동 소자들; 상기 고정 판과 연결되어, 상기 고정 판을 변형시키는 고정 판 변형부를 포함하고, 상기 고정 판 변형부는: 상기 제2 면에 연결되고, 서로 이격된 복수의 지지 부재들; 및 상기 지지 부재들 중 서로 인접한 제1 및 제2 지지 부재들을 연결하는 적어도 하나의 길이 조절 유닛을 포함하고, 상기 고정 판 변형부는, 서로 인접한 상기 지지 부재들 중 적어도 어느 하나를 밀거나 당기길 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种变形的镜像补偿器。 本发明的变形镜补偿装置包括：固定板，具有彼此相对的第一表面和第二表面; 与第一表面间隔开的变形镜; 多个驱动元件，连接变形镜和固定板并彼此间隔开; 固定板和连接到所述固定板包括应变，并且固定板变换单元变换所述固定板：在耦合到所述第二表面，多个支撑构件彼此间隔开; 和至少一个长度，其包括调整单元，并且所述固定板变形部分，所述相邻的支撑构件彼此的至少一方的道路推的数目或拉连接第一和第二支承构件是彼此相邻的所述支撑部件的
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2.发明授权
公开(公告)号：KR100980329B1
公开(公告)日：2010-09-06
申请号：KR1020080037208
申请日：2008-04-22
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/027 , H01L21/66
Abstract: 본 발명의 제조 과정이 단순하며 대면적 패턴을 용이하게 할 수 있는 기판 결함 검출용 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 장치 및 그를 이용한 제조 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 기판 결함 검출용 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 장치는, 기판의 내부 결함 검출에 이용되는 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 장치에 있어서, 광차단막을 가지는 기판이 안착되는 기판스테이지와, 상기 기판 상의 광차단막에 레이저를 공급하는 레이저 광원과, 상기 레이저 광원으로부터의 광을 안정화하는 레이저 파워 컨트롤러와, 상기 레이저 파워 컨트롤러로부터 출사된 레이저를 단속하는 셔터와, 상기 셔터를 통과한 광을 전달하는 광파이버와, 상기 광파이버를 통해 전달된 광을 외부로 전달하는 가공 헤드;상기 가공 헤드를 직교 좌표 방향으로 이동시키는 X-스테이지와, 상기 가공 헤드 하단부에 구비되는 대물렌즈 및, 상기 대물렌즈와 상기 광차단막 사이의 간격 조절을 하는 자동초점조절장치를 포함한다.
또한, 이를 위한 본 발명의 기판 결함 검출용 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 방법은, 실리콘 기판의 내부 결함 검출에 이용되는 적외선 검사 장치의 보정을 위한 기준 패턴 제조 방법에 있어서, 실리콘 기판 상에 실리콘 산화막을 형성하는 단계와, 상기 실리콘 산화막 상에 광차단막을 형성하는 단계와, 상기 광차단막에 직접 레이저 묘화 방식으로 광을 조사하여 광차단막의 물성을 변화시키는 단계와, 상기 광 조사에 의해 물성 변화가 발생한 광차단막에 대한 식각 공정을 진행하여 광에 노출되지 않은 광차단막을 제거하는 단계를 포함한다.
직접 레이저 묘화, 기판, 실리콘, 광차단막, 식각액-
公开(公告)号：KR101078197B1
公开(公告)日：2011-11-01
申请号：KR1020100067664
申请日：2010-07-14
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G02B27/42 , G01B9/0201 , G01B9/02074 , G02B21/0068 , G02B27/283 , G02B2006/12159
Abstract: PURPOSE: A polarized light point diffraction interferometer is provided to being easily arranged in an image forming target object by performing measurement even though a target object vibrates. CONSTITUTION: A polarizer(104) is arranged to be parallel with a polarizing beam splitter(103) to the front of a first direction. A pinhole(104a) is formed on the central part of the polarizer. Polarized light, which is reflected in the polarizing beam splitter, enters the polarizer. Half of incident light is transmitted. The remaining half of the incident light is diffracted with the pinhole and is changed into a spherical wave. A quarter wavelength plate(105) is arranged to be parallel with the polarizer to the front of the first direction. A reference beam and a measurement beam are changed into a circular polarization. An imaging optical system(106) is arranged to be parallel with a quarter wavelength plate to the front of the first direction The reference beam and measurement beam , which pass through the quarter wavelength plate, are entered and reflected in an image formation optical system.
Abstract translation: 目的：提供偏振光点衍射干涉仪，以便即使目标物体振动，也可以通过进行测量而容易地布置在图像形成目标物体中。 构造：偏振器（104）布置成与偏振分束器（103）平行于第一方向的前方。 在偏振片的中央部形成有针孔（104a）。 偏振分束器中反射的偏振光进入偏振器。 一半的入射光被传输。 入射光的剩余一半被针孔衍射并变为球面波。 四分之一波长板（105）被布置成与偏振器平行于第一方向的前方。 参考光束和测量光束变成圆偏振。 成像光学系统（106）被布置成与四分之一波长板平行于第一方向的前方。穿过四分之一波长板的参考光束和测量光束被输入并在图像形成光学系统中反射。
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公开(公告)号：KR100876154B1
公开(公告)日：2008-12-26
申请号：KR1020070093804
申请日：2007-09-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B27/10
CPC classification number: G02B27/1093 , G01B11/26 , G01M11/0228 , G02B26/105
Abstract: An exit angle measurement system for lens chief ray and its measurement method are provided to evaluate performance of the lens objectively. An exit angle measurement system for lens chief ray comprises as follows. The lens support is for fixing the measurement target lens. The laser light source(10) irradiates the laser light to the lens and is mounted in the first rotary stage. The plane mirror reflects the laser light passing through the lens(50) and is mounted in the second rotary stage. The beam splitter(30) converts the progressive direction of the laser light reflected from the plane mirror and is positioned between the laser light source and lens support. The screen device is for indicating the phase of the laser light turned from the beam splitter(20).
Abstract translation: 提供了一种用于镜头主射线的出射角测量系统及其测量方法，以客观评估镜头的性能。 用于镜片主射线的出射角测量系统包括如下。 透镜支架用于固定测量目标透镜。 激光光源（10）将激光照射到透镜并安装在第一旋转台中。 平面镜反射穿过透镜（50）的激光，并安装在第二旋转台中。 分束器（30）将从平面镜反射的激光的逐行方向转换并位于激光光源和透镜支架之间。 屏幕装置用于指示从分束器（20）转动的激光的相位。
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公开(公告)号：KR101829684B1
公开(公告)日：2018-02-20
申请号：KR1020160147740
申请日：2016-11-07
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은변형거울보상장치에관한것이다. 본발명의변형거울보상장치는서로대향된제1 면과제2 면을갖는고정판; 상기제1 면상에이격배치되는변형거울; 상기변형거울과상기고정판를연결하고, 서로이격된복수의구동소자들; 상기고정판과연결되어, 상기고정판을변형시키는고정판 변형부를포함하고, 상기고정판 변형부는: 상기제2 면에연결되고, 서로이격된복수의지지부재들; 및상기지지부재들중 서로인접한제1 및제2 지지부재들을연결하는적어도하나의길이조절유닛을포함하고, 상기고정판 변형부는, 서로인접한상기지지부재들중 적어도어느하나를밀거나당기길수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090054137A
公开(公告)日：2009-05-29
申请号：KR1020070120862
申请日：2007-11-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/958 , G01N21/88
Abstract: 본 발명은 CIS 센서 모듈을 이용한 광학필름의 결함 검사장치에 관한 것으로서, 측정대상 광학필름의 일측에 배치되고, 일차원 배열구조로 이루어진 다수개의 발광소자로 상기 측정대상 광학필름의 일측면에 빛을 조사하는 제1 광원부와, 상기 측정대상 광학필름의 타측에 배치되고, 일차원 배열구조로 이루어진 다수개의 발광소자로 상기 측정대상 광학필름의 타측면에 빛을 조사하는 제2 광원부와, 상기 측정대상 광학필름의 일측에 상기 제1 광원부와 평행하게 배치되고, 일차원 배열구조로 이루어진 다수개의 광센서를 포함하며, 상기 제1 광원부 및 상기 제2 광원부로부터 조사된 빛이 상기 측정대상 광학필름에 의하여 각각 반사 및 투과되어 각 광센서에 의하여 감지된 감지신호를 출력하는 수광부와, 상기 제1 및 제2 광원부와 상기 수광부의 동작� � 제어하며, 상기 수광부로부터 감지신호를 입력받고, 상기 감지신호를 분석하여 상기 측정대상 광학필름의 결함여부를 판단하여 판단결과 정보를 출력하는 제어부를 포함하여, 실시간으로 생산되는 라인에 측정대상 광학필름의 일측에 제1 광원부와 수광부를 장착하고, 제2 광원부를 측정대상 광학필름의 타측에 장착하여 줌으로써, 빠르고 안정적으로 광학필름의 결함여부를 판별할 수 있는 효과가 있다.
광학필름, CIS 센서, 명암비, 인터페이스-
公开(公告)号：KR1020160075978A
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：KR1020140184806
申请日：2014-12-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B5/08
CPC classification number: G02B5/08 , G02B5/0808 , G02B5/0816 , G02B7/198
Abstract: 본발명은변형거울모듈을제공한다. 변형거울모듈은내부에냉각수로가배치된변형거울및 상기변형거울의후면에접착되어상기변형거울을변형시키는복수개의구동소자들을포함하고, 상기구동소자들의각각은상기변형거울의상기후면에접착되고, 상기변형거울을지지하는지지부및 상기지지부와연결되고, 상기변형거울을변형시키는구동부를가진다.
Abstract translation: 提供了可变形反射镜模块。 可变形反射镜模块包括：可变形反射镜，其中具有冷却水道; 以及附接到可变形反射镜的后表面并使可变形反射镜变形的多个操作元件。 每个操作元件包括：支撑单元，其附接到可变形反射镜的后表面并支撑可变形反射镜; 以及耦合到支撑单元并使可变形反射镜变形的操作单元。 因此，可变形反射镜模块可以冷却可变形反射镜，而无需额外的冷却装置。
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公开(公告)号：KR1020160063769A
公开(公告)日：2016-06-07
申请号：KR1020140167473
申请日：2014-11-27
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B24B5/06
CPC classification number: B24B5/06 , B24B5/00 , B24B5/065 , B24B5/40 , Y02P10/253
Abstract: 인가되는전원의크기에따라반경방향으로부피팽창이이루어지는유연성압전소자에연마용브러시를설치한다음피가공물에대한천공작업후유연성압전소자에대한반경방향의크기조절을통해연마용브러시의반경방향위치를가변적으로변위시킴으로써천공된직경의크기를달리하는구멍의내경부위를자유롭게표면처리할수 있는가변내경의표면마감처리를위한공구를개시한다. 전술한가변내경의표면마감처리를위한공구는외부동력에의해회전하는회전축(100), 상기회전축(100)에고정되고인가되는전원의크기에따라반경방향부피를가변적으로조절하는유연성압전소자(120), 상기유연성압전소자(120)에고정되어피가공물의구멍내경부위를표면처리하는연마용브러시(140), 및상기유연성압전소자(120)의반경방향팽창에따른상기연마용브러시(140)의위치변화를검출하는위치감지부(160)를구비한다.
Abstract translation: 公开了一种具有可变内径的孔的表面处理工具，其可以通过将抛光刷安装在沿径向膨胀体积的柔性压电元件中来自由地进行直径尺寸改变的孔的表面处理， 施加的功率大小，对待处理物体进行穿孔加工，以及通过相对于柔性压电元件的径向尺寸的调整来改变抛光刷的径向位置。 用于具有可变内径的孔的表面处理工具包括：通过外部动力旋转的旋转轴（100）; 所述柔性压电元件（120）固定在所述旋转轴（100）处，并且根据所施加的功率的大小可变地调节径向的体积; 所述抛光刷（140）固定在所述柔性压电元件（120）处以对所述待处理物体的孔的内径位置执行表面处理; 以及根据柔性压电元件（120）的径向膨胀来检测抛光刷（140）的位置变化的位置检测单元（160）。
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公开(公告)号：KR1020160063766A
公开(公告)日：2016-06-07
申请号：KR1020140167469
申请日：2014-11-27
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B23B51/00
CPC classification number: B23B51/0009 , B23B51/0018 , B23B51/0045 , B23B2270/00
Abstract: 인가되는전원의크기에따라반경방향으로부피팽창이이루어지는유연성압전소자에절삭용팁을설치한다음피가공물에대한천공작업시유연성압전소자에대한반경방향의크기조절을통해절삭용팁의반경방향위치를가변적으로변위시킴으로써천공되는구멍의내경을조절할수 있는가변내경가공을위한공구를개시한다. 전술한가변내경가공을위한공구는외부동력에의해회전하는회전축(100), 상기회전축(100)에고정되고인가되는전원의크기에따라반경방향부피를가변적으로조절하는유연성압전소자(120), 상기유연성압전소자(120)에고정되어피가공물의구멍을가공하는절삭용팁(140), 및상기유연성압전소자(120)의반경방향팽창에따른상기절삭용팁(140)의위치변화를검출하는위치감지부(160)를구비한다.
Abstract translation: 公开了一种处理可变内径的工具，其能够通过在切割尖端之后的物体的钻孔加工期间调节柔性压电元件的径向尺寸来可变地移位切割尖端的径向位置来控制孔的内径 安装在柔性压电元件中，其体积根据所施加的功率的大小在径向方向上扩展。 用于处理可变内径的工具包括：通过外部动力旋转的旋转轴（100）; 固定到所述旋转轴（100）的柔性压电元件（120），并根据所施加的功率的大小可变地控制径向体积; 固定到柔性压电元件（120）以处理物体的孔的切割尖端（140）; 以及检测由柔性压电元件（120）的径向膨胀引起的切削刀片（140）的位置变化的位置检测部（160）。
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公开(公告)号：KR1020110067251A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：KR1020090123762
申请日：2009-12-14
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: An optical performance evaluation system and a method thereof are provided to let a user easily arrange an optic device by making the precise arrangement of a performance evaluation system possible. CONSTITUTION: An optical performance evaluation system comprises: a first stage(100) provided with a conveyor and a fixture to regulate the horizontal position; a black body(400) fixed to the first stage and fixed with a target; a second stage(200) provided to one side of the black body and fixed to the conveyor of the first stage; an interferometer installed to the second stage; a plane mirror(700) provided to reflect the light radiated from a light source of the interferometer to the front; and an off-axis paraboloidal mirror(800) reflecting the light reflected from the plane mirror.
Abstract translation: 目的：提供光学性能评估系统及其方法，以使用户能够通过使性能评估系统的精确布置成为可能地轻松地布置光学设备。 构成：光学性能评估系统包括：第一级（100），其设置有传送器和固定装置，用于调节水平位置; 固定到第一阶段并用目标固定的黑体（400）; 第二级（200），设置在黑体的一侧并固定到第一级的输送机; 安装在第二阶段的干涉仪; 设置为将从干涉仪的光源辐射的光反射到前面的平面镜（700） 以及反射从平面镜反射的光的离轴抛物面反射镜（800）。
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