表面处理装置及表面处理方法

    公开(公告)号:CN1531476A

    公开(公告)日:2004-09-22

    申请号:CN02808238.9

    申请日:2002-10-23

    Inventor: 松野竹己

    Abstract: 提供了对于车辆零部件之类的难粘合性基体材料能方便地实施粘合、印刷、涂饰等的表面处理装置以及对于难粘合性基体材料的表面处理方法。在此,在采用包含火焰发生部和基体材料处理部的表面处理装置以及用所述装置进行表面处理的方法中,火焰发生部具有用于喷射由含硅烷化物燃烧气体产生的火焰的燃烧罐及喷射装置;基体材料处理部具有用于使难粘合性基体材料固定、同时在表面处理的前后,使该难粘合性基体材料以规定的水平轴为中心旋轴移动的翻转工作台。

    涂覆方法、涂覆设备及涂层产品

    公开(公告)号:CN1119966A

    公开(公告)日:1996-04-10

    申请号:CN94113870.4

    申请日:1994-09-30

    Inventor: 小原敏文

    CPC classification number: B05D1/002 B05D3/0254

    Abstract: 在涂覆步骤中,将含有熔剂的涂层组合物以大于流动极限厚度的厚度施加到工件上,之后,将工件绕一基本水平轴旋转,与此同时,进行将施加到工件上的该涂层组合物中的熔剂蒸发掉的固化步骤和将该涂层组合物硬化的硬化步骤,以防止在工件垂直面上的涂层组合物发生流动或流挂。该涂层组合物被设计成在固化步骤期间或在该步骤结束时具有流动性同时熔剂的含量不超过涂层组合物重量的30%。

    液处理装置和液处理方法
    47.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108269751A

    公开(公告)日:2018-07-10

    申请号:CN201711481918.2

    申请日:2017-12-29

    Abstract: 本发明提供一种能够以简单的结构在基板的中心位置和外周位置实现与位置相应的液处理的液处理装置和液处理方法。液处理装置具备:保持机构,其保持基板;旋转机构,其使被保持机构保持的基板旋转;喷嘴,其配置为与基板的面相向;以及第一供给路和第二供给路,该第一供给路和第二供给路连接于喷嘴。喷嘴具有:共通流路,其沿从基板的中心部朝向周缘部的径向延伸;以及多个喷出口,该多个喷出口连接于共通流路,沿径向配置。第一供给路连接于共通流路中的基板周缘部侧,将第一液供给到共通流路。第二供给路连接于共通流路中的基板中心部侧,将第二液供给到共通流路。第一供给路与第二供给路经由共通流路相连通。

    涂敷方法
    48.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108067401A

    公开(公告)日:2018-05-25

    申请号:CN201711077442.6

    申请日:2017-11-06

    Inventor: 藤原直澄

    CPC classification number: B05D1/002 B08B3/08 H01L21/67023 H01L21/67051

    Abstract: 本发明提供一种涂敷方法,该涂敷方法在直径是300毫米且主面形成有直立的多个图案要素的基板上,用处理液对该主面进行处理。用该处理液进行处理后,在该主面上进行填充材料溶液的涂敷。在填充材料溶液的涂敷处理中,通过向水平状态的基板的朝向上方的该主面供给纯水并旋转所述基板,形成覆盖该主面且厚度是5微米以下的纯水的液膜。然后,以每分钟300转以上且每分钟500转以下的转速旋转所述基板,并且向该主面的中央部供给包含水溶性的填充材料的填充材料溶液。由此,能够对用处理液进行处理后的基板的主面适当地涂敷填充材料溶液。

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