公开(公告)号：CN101353109A

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200810144023.4

申请日：2008-07-23

Applicant: 日本阿西斯特技术株式会社

Inventor： 深谷师康

IPC: B65G35/00 ,  B65G37/00 ,  B65G49/05 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677 ,  F16H19/04

CPC classification number: H01L21/67706 ,  B65G1/0407 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  Y10S414/14 ,  Y10T74/18088 ,  Y10T74/18104 ,  Y10T74/1812 ,  Y10T74/18976

Abstract: 一种运输设备，所述运输设备设置有：运输装置(120)，其具有：承载装置(220)，所述承载装置能沿伸长方向向轨道部的一侧伸长，以及伸长机构(600)，其用于伸长所述承载装置。所述伸长机构设置有：固定至所述主体装置(210)的第一齿条(510)和固定至所述承载装置的第二齿条(520)，所述第一齿条和所述第二齿条分别沿伸长方向延伸并通过其之间的空间彼此面对；以及啮合所述第一齿条的第一小齿轮(610)，啮合所述第二齿条的第二小齿轮(620)，以及在所述第一和所述第二小齿轮之间啮合的奇数个第三小齿轮(630)。

公开(公告)号：CN101261950A

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：CN200810082477.3

申请日：2008-03-06

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 乾吉隆

IPC: H01L21/677 ,  B65G37/00 ,  B65G35/00 ,  B65G43/00 ,  B65G1/04

CPC classification number: B61B3/02 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775

Abstract: 一种物品处理设备，具备：沿着移动路径而移动并具有物品保持部的物品搬送体；用于临时放置物品的一对的物品载置体。各物品载置体构成为在突出位置和退回位置之间变位。在想要将由物品保持部保持的搬入用的物品交给物品搬出搬入部时物品搬出搬入部中存在搬出用的物品的情况下，在将搬入用的物品临时放置在一对的物品载置体的一方上之后，将位于物品搬出搬入部中的搬出用的物品临时放置到一对的物品载置体的另一方上。

公开(公告)号：CN101181957A

公开(公告)日：2008-05-21

申请号：CN200710186921.1

申请日：2007-11-13

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 吉田充 ,  乾吉隆

IPC: B65G1/04 ,  B65G37/00 ,  B65G35/00 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/68707

Abstract: 物品输送设备，具有：移动体，沿移动路径移动，并具有物品保持部；物品保管用的物品支承体，可在物品交接位置和物品保管位置之间改变位置；操作部，设置在移动体上用于在物品保管位置与物品交接位置之间变换操作物品支承体；被操作体，被支承为可在远近方向上接近停止在物品移载部位的移动体的接近位置、和远离停止在物品移载部位处的移动体的分离位置之间自如移动，并且在接近位置处将物品支承体操作到物品保管位置并在分离位置处将物品支承体操作到上述物品交接位置；引导部，在操作机构进行上述突出动作时，在前后方向上将操作部引导到相对于被操作体的正确操作位置。

公开(公告)号：CN101151197A

公开(公告)日：2008-03-26

申请号：CN200680010374.5

申请日：2006-03-27

Applicant: 亚仕帝科技股份有限公司

Inventor： 村田正直

IPC: B65G1/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67294 ,  B65G2201/0297 ,  G06Q10/06 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/68707

Abstract: 以低成本、简单并具有高度可靠性地管理被输送物体，该被输送物体在至少一个存储单元和多个制造设备之间根据控制器的指令由多个输送设备输送。具有无线通信功能的ID卡20安装在所有载体18上，并且ID读/写单元25安装在一些输送设备10中。此外，相对于ID卡20，载体ID根据连接到ID读/写单元25的MCS4的指令被读或写，以便通过载体ID管理单元4a管理载体ID。

公开(公告)号：CN101143644A

公开(公告)日：2008-03-19

申请号：CN200710148957.0

申请日：2007-09-12

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 池畑淑照

IPC: B65G1/04 ,  B65D85/48 ,  B65D43/02 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  F24F3/16

CPC classification number: B65G1/0407 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775

Abstract: 一种基板收纳设备，包括：收纳容器，将基板以在上下方向上隔开间隔而配置的状态保持多张，收纳容器形成为整体具有四边形的截面的筒状，即具有其一端侧的第1开口、和在水平方向上与第1开口隔开间隔的另一端侧设置的第2开口，第1开口构成为用于输入输出基板的输入输出口；风扇过滤单元，装备在收纳容器的第2开口的区域，用于从第2开口朝向第1开口通风；控制机构，控制收纳容器搬运装置的动作，这里，控制机构控制收纳容器搬运装置的动作，在使收纳容器的装备有风扇过滤单元的一侧位于移动空间一侧、且使收纳容器的输入输出口的一侧位于从移动空间远离的一侧的状态下，将收纳容器收纳到收纳部中。

公开(公告)号：CN1495850A

公开(公告)日：2004-05-12

申请号：CN03132696.X

申请日：2003-08-29

Applicant: 应用材料有限公司

Inventor： 迈克尔·R·赖斯 ,  杰弗里·C·赫金斯 ,  埃里克·A·恩格尔哈德 ,  罗伯特·B·劳伦斯 ,  马丁·R·埃里奥特

IPC: H01L21/00 ,  B65G49/07

CPC classification number: B65G37/02 ,  B65G47/61 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778

Abstract: 在本发明的第一方面中，一基片加载站用于连续传送基片载体的运输装置。一个基片载体搬运器作为该基片加载站的一部分，对其进行操作从而和运输装置交换基片载体同时基片载体在运动中。载体交换过程可以包括使基片载体搬运器的端部操作装置以与运输装置的速度大体上相匹配的速度来运动。本发明还提供了许多其它的方面。

公开(公告)号：CN108369919A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201580084838.6

申请日：2015-11-27

Applicant: 株式会社日立国际电气

Inventor： 林昭成

IPC: H01L21/677 ,  B65G1/00 ,  H01L21/673

CPC classification number: B65G1/137 ,  B65G1/00 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775

Abstract: 本发明提供下述构成，该构成具备：供衬底收容器载置的多个载置部；驱动上述载置部的驱动部；搬送机构，其进行上述衬底收容器向上述载置部的搬入和上述衬底收容器从上述载置部的搬出；以及控制部，其控制上述驱动部和上述搬送机构，以使得在不使上述搬送机构的支承部从初始位置动作的情况下使上述搬送机构的支承部升降，从而将上述衬底收容器从上述载置部交接至上述搬送机构的支承部、或者将上述衬底收容器从上述搬送机构的支承部交接至上述载置部。

公开(公告)号：CN103928377B

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201410018105.X

申请日：2014-01-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 松本昭博 ,  松下道明 ,  进藤悟 ,  仓富一纪

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67775 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67778

Abstract: 本发明提供一种具有收纳处理后的基板之后的盖的锁定的确认功能来实现处理后的基板的搬送的安全性的基板收纳处理装置和基板收纳处理方法以及基板收纳处理用存储介质。基于来自控制单元的控制信号，处理后的晶片W收纳在盒（10）内，并且在盒的开口部（10b）盖（10c）被关闭后，在未保持盖的状态下使盖装卸机构（30）从闭盖位置后退至开盖位置后，由盖装卸机构开放传感器（38b）检测盖装卸机构的开盖位置，并且由盖异常检测传感器（39a、39b）判断盖（10c）的闭盖状态的异常。在将从闭盖位置后退的盖装卸机构（30）再次移动至闭盖位置的状态下，将盖（10c）的锁孔（10d）与盖装卸机构（30）的锁（31）卡合。

公开(公告)号：CN107039321A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201611039907.4

申请日：2016-11-11

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 黎辅宪 ,  董启峰 ,  沈香吟

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67766 ,  B25J11/0095 ,  B61B13/04 ,  B65G1/0464 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733

Abstract: 本发明涉及用于半导体工件的搬运系统。具体的，本发明提供一种用于搬运半导体工件的具有多层轨条的高架式搬运OHT系统。第一载具经配置以在第一轨条上行进且沿着所述第一轨条移动半导体工件。第二载具经配置以在上覆于所述第一轨条的第二轨条上行进且沿着所述第二轨条移动所述半导体工件。控制器经配置以控制所述第一载具及所述第二载具以沿着所述第一轨条及所述第二轨条在处理或检验工具之间转移所述半导体工件。本发明还提供一种用于跨多层轨条转移半导体工件的方法。

公开(公告)号：CN102923427B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201210283918.2

申请日：2012-08-10

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 森本雄一 ,  中马健志

IPC: B65G1/00

CPC classification number: B65G1/0457 ,  B65G1/0407 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67769

Abstract: 提供一种物品运送设备，物品保管部的结构简单且其设置部位不会受到限制，在连续进行入库作业和出库作业的情况下能够谋求该作业所花费的时间的缩短。装备有第1运送输送机（37）和第2运送输送机（38），物品运送车（2）以停止在行驶轨道（1）的路径上的交接用停止位置的状态进行把持部（4）的升降，在与第1交接用停止位置（J1）以及第2交接用停止位置（J2）的一方之间自如地移载物品（3），并且进行把持部（4）的滑动移动，在与第1交接位置（J1）以及第2交接位置（J2）的另一方之间自如地移载物品（3），第1运送输送机（37）和第2运送输送机（38）的一方作为入库部（7）构成，另一方作为出库部（8）构成。