公开(公告)号：KR101299133B1

公开(公告)日：2013-08-22

申请号：KR1020110128939

申请日：2011-12-05

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김진석 ,  서준교 ,  강성철 ,  이정훈

IPC: G01L9/00

CPC classification number: H01L29/84 ,  A61B5/031 ,  A61B2562/0247 ,  A61B2562/046 ,  B81B3/0078 ,  B81B2201/0264 ,  B81C1/00206 ,  B82Y15/00 ,  B82Y99/00 ,  G01L1/16 ,  G01L1/165 ,  G01L7/08 ,  G01L9/0047 ,  G01L9/0098 ,  H01L29/66007 ,  Y10S977/90 ,  Y10S977/936 ,  Y10S977/956

Abstract: 본 발명은 나노 구조물을 갖는 압력 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는, 압력 센서의 표면에 나노 구조물을 접착하여, 센서의 응답 속도와 감도를 개선할 수 있는 압력 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 구조물을 갖는 압력 센서는, 기판; 상기 기판 상에 소정 간격으로 이격되어 배열되는 소스 전극과 드레인 전극; 상기 소스 전극과 드레인 전극 상에 배치되는 플렉시블 센서 레이어; 및 상기 플렉시블 센서 레이어의 표면에 접착되며, 나노 크기의 주름을 갖는 나노 구조물을 포함한다.

公开(公告)号：KR101202878B1

公开(公告)日：2012-11-19

申请号：KR1020100092034

申请日：2010-09-17

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 양상식 ,  박익모 ,  김영길 ,  이기근 ,  권익진 ,  오해관

IPC: H03H9/64 ,  G01N29/00 ,  G01L11/04 ,  G01B17/00

CPC classification number: G01H17/00 ,  G01D21/00 ,  G01L1/165 ,  G01L9/0025 ,  G01N29/022 ,  G01N29/2481 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0423 ,  G06K19/0675 ,  G06K19/0717

Abstract: 표면 탄성파 기반 마이크로 센서를 이용한 무선측정장치 및 그 방법이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 표면 탄성파 기반 마이크로 센서를 이용한 무선측정장치는, 무선으로 수신되는 펄스 신호를 표면 탄성파(SAW : Surface Acoustic Wave)로 변환하고 환경 요소의 변화를 측정하기 위해서 변환된 표면 탄성파를 반사시켜 복수의 펄스 신호들을 발생해서 무선으로 송신하는 SAW 기반 마이크로 센서; 와 환경 요소의 변화를 측정하기 펄스 신호를 발생하여 무선으로 상기 SAW 기반 마이크로 센서로 송신하고, 송신된 펄스 신호가 SAW 마이크로 센서에서 반사되어 수신되는 복수의 펄스 신호들간의 간격이, 설정된 환경 요소의 펄스 신호들간의 간격에 해당될 때마다 펄스 신호를 발생해서 무선으로 SAW 기반 마이크로 센서로 송신하고 일정 시간 동안 펄스 신호의 발생횟수를 카운트하여, 환경 요소의 변화를 측정하는 리더기를 포함한다.

公开(公告)号：JP2018072121A

公开(公告)日：2018-05-10

申请号：JP2016211178

申请日：2016-10-28

Applicant: セイコーエプソン株式会社

Inventor： 神谷 俊幸

IPC: G01L1/00

CPC classification number: G01L5/167 ,  G01L1/16 ,  G01L1/165 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/18

Abstract: 【課題】高い力検出特性を有する力検出センサー、力覚センサーおよびロボットを提供する。 【解決手段】力検出センサーは、外部から力を受ける第1面と、前記第1面とは法線方向が異なる第2面と、を備える基体と、前記第2面上に配置されている櫛歯電極と、を有する。また、前記第2面は、前記第1面が前記力を受けることで変形する。また、前記第2面は、圧電体の表面で構成されている部分を有し、前記部分に前記櫛歯電極が形成されている。また、前記圧電体は、水晶である。また、前記第2面は、前記水晶の電気軸と平行である。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP2017049237A

公开(公告)日：2017-03-09

申请号：JP2016160272

申请日：2016-08-18

Applicant: ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ

Inventor： クリストファー・ジェイムズ・カプスタ ,  マルコ・フランチェスコ・アイミ

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08 ,  G01L1/00

CPC classification number: H03H9/02535 ,  G01L1/165 ,  G01L3/10 ,  H03H3/08 ,  H03H9/058 ,  H03H9/0595 ,  H03H9/10 ,  H03H9/1064 ,  H03H9/19 ,  H03H2003/0478

Abstract: 【課題】石英ウエハの接合のためのシステム及び方法を提供する。 【解決手段】一実施形態では、接合型石英ウエハパッケージは、1以上の石英系デバイスを備える第1の石英ウエハと、第1の石英ウエハの上方に配置された第2の石英ウエハと、第1及び第2の石英ウエハを互いに接合する第1及び第2の石英ウエハの間に配置された液晶ポリマー(LCP)接合層とを備える。 【選択図】図1A

公开(公告)号：JP5387919B2

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：JP2010511713

申请日：2008-03-19

Applicant: トランセンス テクノロジーズ ピーエルシー

Inventor： ヴィクトール アレクサンドルヴィッチ カリニン

IPC: G01L3/10 ,  G01D21/02 ,  G01K7/32 ,  G01L1/00 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18

CPC classification number: G01L3/10 ,  G01L1/165

公开(公告)号：JP2010530959A

公开(公告)日：2010-09-16

申请号：JP2010511713

申请日：2008-03-19

Applicant: トランセンス テクノロジーズ ピーエルシー

Inventor： ヴィクトール アレクサンドルヴィッチ カリニン

IPC: G01L3/10 ,  G01D21/02 ,  G01K7/32 ,  G01L1/00 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18

CPC classification number: G01L3/10 ,  G01L1/165

Abstract: 非接触型のＳＡＷに基づくトルク・温度センサは、Ｙ＋３４°カットの水晶からなる基板上に設けられた第１（２）および第２（３）のＳＡＷ共振器を備える。 第１のＳＡＷ共振器（２）は、使用時に、トルク測定対象となる装置の長手方向軸に揃う向きないし垂直な向きに配置される前記基板のＸ軸に対して、その主軸が＋４５°傾いており、第２のＳＡＷ共振器（３）は、前記基板のＸ軸に対して、その主軸が−４５°傾いている。 第３のＳＡＷ共振器（４）は、前記基板のＸ軸に対して、３０°の角度で傾いている。 前記各ＳＡＷ共振器（２、３、４）は、前記基板上に、厚み（ｈ）のアルミニウム膜を配置することにより形成され、ＳＡＷ共振器は、平均動作波長λを有し、ｈ／λが０．０２１〜０．０３２の範囲にある。

公开(公告)号：US11965794B2

公开(公告)日：2024-04-23

申请号：US17434123

申请日：2019-02-27

Applicant: THE PROVOST, FELLOWS, FOUNDATION SCHOLARS, & THE OTHER MEMBERS OF BOARD, OF THE COLLEGE OF THE HOLY & UNDIV. TRINITY OF QUEEN ELIZABETH NEAR DUBLIN

Inventor： Garrett O'Donnell ,  Sean Patrick Nolan

IPC: G01L5/00 ,  B23Q17/09 ,  G01L1/16

CPC classification number: G01L5/0076 ,  B23Q17/0966 ,  G01L1/165

Abstract: Provided is a sensing system for wireless and passive monitoring of strain during a manufacturing process that depends on force to apply the energy into the manufacturing process, the sensing system comprising: at least one surface acoustic wave (SAW) sensor for detecting strain, the at least one SAW sensor being positioned in a force path located on or in the structure of one or more objects under test; and at least one transceiving antenna arrangement being connectable to the at least one SAW sensor, wherein the at least one SAW sensor and the at least one transceiving antenna arrangement are arranged to receive energy from an interrogation signal and output a strain response signal detected by the at least one SAW sensor in response to the interrogation signal.

公开(公告)号：US20180335350A1

公开(公告)日：2018-11-22

申请号：US15983966

申请日：2018-05-18

Applicant: SENSEOR

Inventor： Manuel MONEDERO MIRANDA ,  Luc CHOMMELOUX

IPC: G01K11/26 ,  G01L1/16 ,  G01K1/02 ,  G01K7/32 ,  G08C17/02 ,  H01Q1/22

CPC classification number: G01K11/265 ,  G01D5/48 ,  G01K1/024 ,  G01K7/32 ,  G01L1/165 ,  G08C17/02 ,  H01Q1/2216

Abstract: A method for optimizing the design of a device includes interrogation means and a differential passive sensor, including a generator connected directly or indirectly to a reader antenna, a passive sensor including at least two resonators, a sensor antenna connected to the sensor. The method includes determining a set of curves PSAW as a function of the frequency of interrogation of the sensor, each curve being defined for a given impedance ZT representing the impedance of the Thevenin equivalent generator dependent on the impedance of the reader antenna, on the impedance of the sensor antenna and on the coupling between the two antennas, for a given sensor impedance ZSAW; selecting at least one curve PSAW from the set of predefined curves meeting two criteria: exhibiting two frequency peaks representative of a coherent differential sensor behavior; having a width at mid-height of the two the peaks below a threshold value; and determining the sensor antenna exhibiting the sensor antenna impedance correlated to the curve PSAW selected for the predefined SAW sensor.

公开(公告)号：US20170265760A1

公开(公告)日：2017-09-21

申请号：US15073003

申请日：2016-03-17

Applicant: Intel Corporation

Inventor： Cagri Tanriover ,  Cliodhna Ni Scanaill

IPC: A61B5/024 ,  G01S3/86 ,  G10K11/178 ,  G01H1/00

CPC classification number: A61B5/02444 ,  A61B5/6804 ,  A61B7/04 ,  A61B2562/0204 ,  G01H11/06 ,  G01L1/165 ,  G01L5/00 ,  G01N21/8983 ,  G01S5/18 ,  G10K2210/3226

Abstract: Technologies for a fabric acoustic sensor are disclosed. The fabric acoustic sensor includes a conductive thread and a non-conductive thread, which form a diaphragm that vibrates in response to a sound wave. As a result of the vibration, the conductive thread stretches, and a resistance of the conductive thread varies. The change in resistance is measured by a compute device, and the compute device may determine the sound wave based on the change in resistance. In some embodiments, the fabric acoustic sensor may be used to monitor a heart rate, locate an object, and/or provide an input for noise cancellation.

公开(公告)号：US20170063326A1

公开(公告)日：2017-03-02

申请号：US14841314

申请日：2015-08-31

Applicant: GENERAL ELECTRIC COMPANY

Inventor： Christopher James Kapusta ,  Marco Francesco Aimi

IPC: H03H9/02 ,  G01L3/10 ,  H03H9/10 ,  H03H3/08 ,  H03H9/19

CPC classification number: H03H9/02535 ,  G01L1/165 ,  G01L3/10 ,  H03H3/08 ,  H03H9/058 ,  H03H9/0595 ,  H03H9/10 ,  H03H9/1064 ,  H03H9/19 ,  H03H2003/0478

Abstract: In one embodiment, a bonded quartz wafer package includes a first quartz wafer including at least one quartz-based device, a second quartz wafer disposed above the first quartz wafer, and a liquid crystal polymer (LCP) bonding layer disposed in between the first and second quartz wafers that bonds the first and second quartz wafers together.

Abstract translation: 在一个实施例中，键合石英晶片封装包括第一石英晶片，其包括至少一个基于石英的器件，设置在第一石英晶片上方的第二石英晶片，以及液晶聚合物（LCP）接合层，其设置在第一和 将第一和第二石英晶片结合在一起的第二石英晶片。