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    Electron gun, lithography apparatus, method of manufacturing article, and electron beam apparatus
    44.
    发明公开
    Electron gun, lithography apparatus, method of manufacturing article, and electron beam apparatus 审中-公开
    Elektronenkanone，Lithographievorrichtung，Artikelherstellungsverfahren undElektronenstrahlgerät

    公开(公告)号：EP2390896A1

    公开(公告)日：2011-11-30

    申请号：EP11167638.3

    申请日：2011-05-26

    Applicant: CANON KABUSHIKI KAISHA

    Inventor： Imaoka, Nobuo

    IPC: H01J37/063 ,  H01J37/065 ,  H01J1/02 ,  G03F7/20

    CPC classification number: H01J37/063 ,  H01J1/02 ,  H01J37/065 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/06316

    Abstract: An electron gun includes a cathode (1), a bias electrode (4a,4b), and an anode (6) disposed along a common axis in order thereof. In the electron gun, an electron emitting surface of the cathode has such an aspherical shape that brightness of a crossover is more uniform than that in a case that both a first region including a point on the axis and a second region located outside the first region have a first radius of curvature.

    Abstract translation: 电子枪包括阴极（1），偏置电极（4a，4b）和阳极（6），其沿着公共轴依次布置。 在电子枪中，阴极的电子发射表面具有这样的非球面形状，使得交叉的亮度比在包括轴上的点的第一区域和位于第一区域之外的第二区域的情况下都更均匀 具有第一曲率半径。

    DISCHARGE ELECTRODE PLATE ARRAY FOR FILM SOLAR CELL DISPOSITION
    48.
    发明公开
    DISCHARGE ELECTRODE PLATE ARRAY FOR FILM SOLAR CELL DISPOSITION 有权
    ENTLADUNGSELEKTRODENPLATTENARRAYFÜRDIE ABSCHEIDUNG VON FOLIENSOLARZELLEN

    公开(公告)号：EP2581948A1

    公开(公告)日：2013-04-17

    申请号：EP10852664.1

    申请日：2010-10-21

    Applicant: Shenzhen Trony Science & Technology Development Co., Ltd.

    Inventor： LI, Zhijian ,  LI, Yi ,  HE, Zhubing ,  HE, Shengming ,  WANG, Chunzhu ,  ZHOU, Jianhua

    IPC: H01L31/18

    CPC classification number: H01J1/02 ,  C23C16/517 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32577 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

    Abstract: A discharge electrode array for a silicon-based thin film solar cell deposition chamber is provided, relating to solar cell technologies. The discharge electrode array includes a signal feed component having a rectangular-shaped end, a flat waist corresponding to a feed-in port located in a hallowed rectangular area on a center region of a cathode plate having a shielding cover, connecting a feed-in power supply signal by surface contact. The electrode array includes at least a set of cathode plates and an anode plate, with two cathode plates sharing or surrounding one anode plate. Uniform large area and stable discharge driven by the RF/VHF power supply signal can be achieved, and the standing wave and the skin effect can be effectively removed. The production efficiency can be improved and the cost can be reduced.

    Abstract translation: 提供了一种与太阳能电池技术相关的用于硅基薄膜太阳能电池淀积室的放电电极阵列。 放电电极阵列包括具有矩形端部的信号馈送部件，平坦的腰部对应于位于具有屏蔽罩的阴极板的中心区域上的仰卧矩形区域中的馈入端口，连接馈入 电源信号通过表面接触。 电极阵列至少包括一组阴极板和阳极板，两个阴极板共享或围绕一个阳极板。 可以实现由RF / VHF电源信号驱动的均匀的大面积和稳定的放电，并且可以有效地消除驻波和皮肤效应。 可以提高生产效率，降低成本。

    Electron beam irradiating apparatus
    49.
    发明公开
    Electron beam irradiating apparatus 审中-公开
    Elektronenstrahl-Bestrahlungsgerät

    公开(公告)号：EP1755131A2

    公开(公告)日：2007-02-21

    申请号：EP06251731.3

    申请日：2006-03-29

    Applicant: NGK INSULATORS, LTD.

    Inventor： Nanataki, N. Legal Affairs and Intell. Pty Dept. ,  Ohwada, I. Legal Affairs and Intell. Pty Dept. ,  Bessho, Y. Legal Affairs and Intell. Pty Dept. ,  Akao, T. Legal Affairs and Intell. Pty Dept.

    IPC: G21K5/02 ,  H01J37/30 ,  H01J37/06 ,  H01J1/02

    CPC classification number: H01J37/06 ,  H01J1/02 ,  H01J2237/31774

    Abstract: An electron beam irradiating apparatus includes a chamber being kept under vacuum, and housing a planar electron emitting element and a positioning unit and an object to be irradiated is directly irradiated with an electron beam emitted from the element. The planar electron emitting element includes: an emitter portion composed of a dielectric material; and a first electrode and a second electrode applied with a driving voltage for emitting electrons, and the first electrode is formed on a first surface of the emitter portion and has a plurality of through-holes where the emitter portion is exposed, a surface of the first electrode facing to the emitter portion around the through-holes is separated from the emitter portion, and the electron beam is emitted from the first surface of the emitter portion through the through-holes.

    Abstract translation: 电子束照射装置包括保持在真空下的室，并容纳平面电子发射元件和定位单元，并且被照射物体直接用从元件发射的电子束照射。 平面电子发射元件包括：由介电材料构成的发射极部分; 以及施加有用于发射电子的驱动电压的第一电极和第二电极，并且所述第一电极形成在所述发射极部分的第一表面上并且具有多个通过所述发射极部分露出的通孔， 面向通孔周围的发射极部分的第一电极与发射极部分分离，并且电子束通过通孔从发射器部分的第一表面发射。

    絶縁層付きセラミック構造体、金属体付きセラミック構造体、荷電粒子線出射装置、および絶縁層付きセラミック構造体の製造方法
    50.
    发明申请
    絶縁層付きセラミック構造体、金属体付きセラミック構造体、荷電粒子線出射装置、および絶縁層付きセラミック構造体の製造方法 审中-公开
    具有绝缘层的陶瓷结构，具有金属层的陶瓷结构，带电粒子束发射体以及具有绝缘层的制造陶瓷结构的方法

    公开(公告)号：WO2012091062A1

    公开(公告)日：2012-07-05

    申请号：PCT/JP2011/080322

    申请日：2011-12-27

    Applicant: 京セラ株式会社 ,  岩本 晃一

    Inventor： 岩本　晃一

    IPC: H01J37/147 ,  C04B35/111 ,  H01L21/027

    CPC classification number: H01J1/02 ,  C04B35/117 ,  C04B35/478 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/6455 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3234 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/6582 ,  H01B13/06 ,  H01J37/147 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/04756

    Abstract: 【課題】　高い電圧が印加された場合であっても、リーク電流が発生し難いセラミック体を提供する。 【解決手段】　酸化アルミニウムの結晶相、およびチタン酸アルミニウムの結晶相を含有するセラミック体１２と、セラミック体１２の表面に設けられた、酸化珪素を主成分として含む絶縁層１５とを有する絶縁層付きセラミック構造体１１であって、セラミック体１２は、絶縁層１５によって被覆された第１表面部分を備える第１の領域１３ａと、第１の領域１３ａ以外に配置された、表面抵抗率が１×１０ ６ ～１×１０ ９ Ω／□である第２の領域１３ｂとを有し、第１の領域１３ａの表面抵抗率は、第２の領域１３ｂの表面抵抗率よりも高い絶縁層付きセラミック構造体を提供する。

    Abstract translation: [问题]公开了即使在施加高电压时也不易发生电流泄漏的陶瓷体。 所公开的具有绝缘层的陶瓷结构体包括：陶瓷体（12），其包含氧化铝结晶相和钛酸铝结晶相，以及绝缘层（15），其设置在陶瓷体（12）的表面上 ），以氧化硅为主要成分。 陶瓷体（12）具有设置有被绝缘层（15）覆盖的第一表面部分的第一区域（13a）和布置在第一区域（13a）的外部并具有1×10 6的表面电阻率的第二区域 -1x109O / ?. 第一区域（13a）的表面电阻率高于第二区域（13b）的表面电阻率。

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