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公开(公告)号：EP0611084A1
公开(公告)日：1994-08-17
申请号：EP94300724.5
申请日：1994-02-01
Applicant: The BOC Group plc
Inventor： Lethbridge, Paul Graham, Dr.
Abstract: A magnetic structure for use in vacuum gauges, which comprises a sheath of ferromagnetic material within which are held a first and a second magnetic array, each array:
having a plurality of magnet components to form the complete array
being magnetised such that the poles of the magnet components lie substantially on lines emanating radially from the magnetic structure main axis
having a polarity opposite to the other array
being longitudinally spaced apart from the other array.Abstract translation: 一种用于真空计的磁性结构，其包括铁磁材料的护套，其中保持有第一和第二磁性阵列，每个阵列：具有多个磁体部件以形成完整的阵列 被磁化，使得磁体部件的磁极基本上位于从具有与另一阵列纵向间隔开的与另一个阵列相反的极性的磁性结构主轴径向发出的线上。
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公开(公告)号：WO2009019765A1
公开(公告)日：2009-02-12
申请号：PCT/JP2007/065503
申请日：2007-08-08
Inventor： 千葉 高洋
IPC: G01L21/34
Abstract: 放電が生じやすく、また冷陰極電離真空計に対して高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れが小さく、更に、陽極の取り付けの方向性がなく、容易に陽極を交換することができる冷陰極電離真空計を提供する。 圧力を測定するチャンバーと連通した空間に設けられた筒状の陰極２３と、前記筒状の陰極２３の内部空間に配置された棒状の陽極５と、前記陽極５と陰極２３との間の電界にほぼ直交する磁界を形成し、前記陽極５と陰極２３との間に放電を起こす磁性手段２５ａ，２５ｂとを備え、前記陽極５の先端部に螺子部５ｂが形成され、陰極２３の筒内の空間に配置されている。
Abstract translation: 冷阴极电离计易于放电，并且在施加高电压的时间与其放电时间和电流开始流动之间只有很小的时间滞后，并且没有考虑方向性 安装阳极，从而容易地更换阳极。 冷阴极电离计包括管状阴极（23），其布置在与用于测量压力的室连通的空间中，设置在管状阴极（23）的内部空间中的棒状阳极（5）和磁性 （25a，25b），其形成几乎垂直于阳极（5）和阴极（23）之间的电场的磁场，并且在阳极（5）和阴极（23）之间引起放电。 阳极（5）在端部形成有螺纹部（5b），并且设置在阴极（23）的管的空间的内部。
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公开(公告)号：WO2006094927A3
公开(公告)日：2007-05-03
申请号：PCT/EP2006060397
申请日：2006-03-02
Applicant: INFICON GMBH , WETZIG DANIEL , GERDAU LUDOLF
Inventor： WETZIG DANIEL , GERDAU LUDOLF
IPC: H01J41/06
Abstract: A cold cathode pressure sensor (10) comprises a gas-tight housing (12), a test gas inlet (18), an anode (14) and a cathode (16, 17) arranged in the housing (12), and a radiation source (20) directed towards the cathode (16, 17) in order to ignite a cold cathode discharge. The housing (12) is at least in part made of glass. The radiation source (20) is arranged outside the housing (12) and irradiates the cathode (16, 17) through the glass which makes up the housing. The wavelength of the radiation from the radiation source (20) ranges substantially from more than 350 nm to less than 1400 nm.
Abstract translation: 本发明涉及一种冷阴极压力传感器（10）与气密壳体（12），具有一个标定气体入口（18），阳极（14）和在壳体（12）的阴极（16,17）和一个 涉及用于点亮冷阴极放电的阴极（16,17）的辐射源（20）。 所述壳体（12）至少部分地由玻璃形成。 所述辐射源（20）布置在所述壳体（12）的外侧，并通过在阴极（16,17）的外壳玻璃辐射。 所述辐射源（20）发射辐射基本上波长大于350nm且小于1400纳米更长。
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44.发明申请
公开(公告)号：WO2004029572A1
公开(公告)日：2004-04-08
申请号：PCT/DE2003/003107
申请日：2003-09-17
Inventor： EDELMANN, Christian , WILFERT, Stefan
IPC: G01L21/34
Abstract: Kaltkatoden-lonisationsmanometer zur Druckmessung im Vakuum, das nach dem inversen Magnetron-Prinzip arbeitet und zur Erfassung von Drücken im Fein-, Hoch- und Ultrahochvakuumbereich (vorzugsweise zwischen 10 Pa und 1 Pa) eingesetzt wird. Die Kontaminationsneigung soll verringert und dadurch die Standzeit dieser Messröhren verlängert werden. Dies wird durch eine Messröhre erreicht, die mit zwei separat angesteuerten Katoden (K1, K2) und einer gemeinsamen Anode (A) augestattet ist und wodurch in deren Inneren zwei voneinander unabhängige Entladungen gezündet werden können. Während eine direkt am Messröhreneingang lokalisierte Entladung (K1) die Funktion einer Gasreinigungsvorrichtung übernimmt, in der über plasma-chemische Dissoziationsreaktionen in die Messröhre eintretende Kohlenwasserstoff- oder andere kontaminierende Dämpfe gekrackt bzw. polymerisiert werden, fungiert eine zweite (K2) im Messröhrengehäuse (MRG) untergebrachte und durch diese Gasentladungsstrecke (K1) abgeschirmte Entladungskammer als eigentliche Messkammer. Nur der aus dieser Entladungszone (K2) abfliessende Entladungsstrom wird ausgewertet und zur Druckmessung herangezogen. Durch diese spezielle Doppelkammer-Messröhrengeometrie wird erreicht, dass das Plasma in der eigentlichen Messkammer (K2) unter weitestgehend sauberen Bedingungen brennt, weshalb die eine höhere Standzeiten der Messröhre erzielt wird.
Abstract translation: 在真空，这对逆磁控管原理工作压力测量和用于在介质中检测的压力的冷阴极电离压力计，高和超高真空范围（优选为10Pa和1帕之间），采用。 污染倾向降低，从而延长这些测量器的使用寿命。 这是通过测量管具有两个单独驱动的阴极（K1，K2）和公共阳极（A）实现的配备眼睛并且由此两个独立的放电可在其内部被点燃。 虽然直接在测量管入口放电（K1）局部接管在其中裂化过等离子体化学离解反应在测量管进入烃或其它污染蒸气或聚合的气体净化装置的功能在测量管壳体作用的第二（K2）（MRG） 容纳，并通过该气体排出路径（K1）屏蔽放电室作为实际测量室。 只有从这一放电区（K2）流出的放电电流被评估并用于压力测量。 这种特殊的双室测量管的几何形状，实现了在实际的测量室（K2）的等离子体基本上清洁的条件下燃烧，并且因此获得的测量管的使用寿命更长。
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45.发明申请
公开(公告)号：WO1997005645A1
公开(公告)日：1997-02-13
申请号：PCT/EP1996003185
申请日：1996-07-19
Applicant: LEYBOLD VAKUUM GMBH , GERDAU, Ludolf
Inventor： LEYBOLD VAKUUM GMBH
IPC: H01J41/06
Abstract: The invention concerns a vacuum-technology device (1) with a housing (3) and, inside the housing, electrodes between which a gas discharge is maintained while the device is operating, the device also having at least one magnet (4) whose field extends the path of the ionizing electrons. In order to simplify the design of a device of this kind, the invention proposes that the magnet (4) is located inside the housing (3) and forms one of the electrodes.
Abstract translation: 本发明涉及在真空技术装置，包括一个外壳（3）的可插入（1），具有位于壳体电极的装置的操作期间，气体放电被保持在它们之间内，以及与所述至少一个磁体（4），其磁场具有 离子化电子的路径的作用延伸; 为了简化这种类型的装置的结构，提出的是，壳体（3）内的磁铁（4）位于与形成所述电极中的一个。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO1996019720A1
公开(公告)日：1996-06-27
申请号：PCT/EP1995003553
申请日：1995-09-09
Applicant: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT , KÜSTER, Gerhard
Inventor： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
IPC: G01L21/34
Abstract: The invention pertains to a Penning measuring cell (1) with an electrode system that comprises an anode (5) and a cathode (2), which are situated in the magnetic field of a permanent magnet (8, 9), and with an ignition aid (11) for the electrode system (2, 5). To ensure rapid and reliable ignition the invention proposes attaching to the anode (5) as ignition aid (11) at least one metal strip (11) the free end of which extends towards the cathode (2).
Abstract translation: 本发明涉及一种潘宁测量单元（1）具有电极系统包括阳极（5），并且布置在永久磁铁的磁场（8，9），和（具有启动辅助阴极（2） 11），用于所述电极系统（2，5）; 为了确保快速和安全的点火，所以建议作为点火助剂（11）在所述阳极（5），其自由端在阴极（2）的方向延伸的固定的至少一个金属带（11）。
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公开(公告)号：EP3196622A4
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：EP15828187
申请日：2015-07-29
Applicant: AIST
Inventor： YOSHIDA HAJIME
CPC classification number: G01L27/00 , G01L21/32 , G01L21/34 , G01L27/007 , G01N27/62 , H01J27/02 , H01J37/08 , H01J41/06
Abstract: Provided are: a vacuum gauge that, with a simple configuration, can accurately diagnose the degree of contamination of the vacuum gauge; and a contamination diagnosis method that, with a simple process, can accurately diagnose the degree of contamination of a vacuum gauge. Provided is a cold cathode ionization vacuum gauge that has a normal operation mode and a contamination diagnosis mode, the cold cathode ionization vacuum gauge comprising: an anode 1 and a cathode 3 that are for measuring vacuum pressure in the normal operation mode; an anode 7 and the cathode 3 that are for measuring the vacuum pressure in the contamination diagnosis mode; and a controller 10 that compares the size of a current measured between the anode 7 and the cathode 3 and the size of a current measured between the anode 1 and the cathode 3.
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公开(公告)号：EP1700093A4
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：EP04816049
申请日：2004-12-17
Applicant: FEI CO
Inventor： LIU KUN
Abstract: A cold cathode ion gauge is provided that is suitable for use in a high vacuum and in the presence of contaminating gases. By decreasing the discharge current and, more precisely, decreasing the charge current density received by the gauge electrodes, and using certain type of materials for the gauge electrodes, the mechanism by which insulating films are deposited on surface of the electrodes is attenuated and the life of the gauge is significantly prolonged. The gauge discharge current can be decreased by providing a large resistor in series with the anode, while the charge current density can be decreased by using an electrode with larger surface area, which can be achieved by fabricating grooves or fans on electrodes and by using low electron backscattering and low secondary emission materials, like carbon. Another concept of constant current mode is also proposed in this invention for extending the lifetime of CCIGs that are used for vacuum containing unfriendly gases.
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公开(公告)号：EP1519401A1
公开(公告)日：2005-03-30
申请号：EP04014545.0
申请日：2004-06-22
Applicant: VARIAN S.p.A.
Inventor： Correale, Raffaele
Abstract: The present invention relates to an ionisation vacuum gauge for measuring the residual pressure of a gaseous material remaining in a container (10), more particularly after operation of a vacuum pump. The gauge comprises an electron-emitting cathode (31) made by exploiting the nanotube technology, a grid (13; 33; 133; 133') for accelerating the electrons emitted by the cathode, and a plate (15; 35) collecting the ions and/or the ionised positive molecules of the gas. Measuring the plate current by a galvanometer allows determining the value of the residual pressure inside the container.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量残留在容器（10）中的气态物质的残留压力的电离真空计，更具体地说是在真空泵操作之后。 该仪表包括通过利用纳米管技术制造的电子发射阴极（31），用于加速由阴极发射的电子的栅极（13; 33; 133; 133'）和收集离子的板（15; 35） 和/或气体的电离的正分子。 通过电流计测量板电流允许确定容器内的残余压力的值。
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50.发明公开IN DER VAKUUMTECHNIK EINSETZBARES GERÄT MIT ELEKTRODEN FÜR EINE GASENTLADUNG 失效均与电极用于气体放VAKUUMTECHNIK适用的设备
公开(公告)号：EP0842527A1
公开(公告)日：1998-05-20
申请号：EP96927550.0
申请日：1996-07-19
Applicant: Leybold Vakuum GmbH
Inventor： GERDAU, Ludolf
Abstract: The invention concerns a vacuum-technology device (1) with a housing (3) and, inside the housing, electrodes between which a gas discharge is maintained while the device is operating, the device also having at least one magnet (4) whose field extends the path of the ionizing electrons. In order to simplify the design of a device of this kind, the invention proposes that the magnet (4) is located inside the housing (3) and forms one of the electrodes.
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