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公开(公告)号：CN118610056A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410757951.7
申请日：2017-02-01
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本申请实施例涉及用于多光束检验系统的场曲率校正。揭示多光束电子束柱及使用此些多光束电子束柱的检验系统。根据本发明配置的多光束电子束柱可包含电子源及多透镜阵列，所述多透镜阵列经配置以利用由所述电子源提供的电子产生多个细光束。所述多透镜阵列可进一步经配置以移位所述多个细光束中的至少一个特定细光束的焦点，使得所述至少一个特定细光束的所述焦点与所述多个细光束中的至少一个其它细光束的焦点不同。
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公开(公告)号：CN113675061B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202010404520.4
申请日：2020-05-13
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括：电子光学镜筒，用于产生电子束，并将电子束聚焦到样品上；第一探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的光子；其中，所述第一探测器包括反射器和光子检测器，所述反射器将由所述样品上产生的光子反射到所述光子检测器上；所述反射器至少包括第一反射面和第二反射面，所述第一反射面和所述第二反射面用于反射所述样品上产生的不同角度散射的光子。本发明反射器实现了反射样品上产生的不同角度散射的光子到光子检测器上，光子检测器收集光子的范围大，效率高。
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公开(公告)号：CN118588521A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410729914.5
申请日：2024-06-06
Applicant: 锦文测控科技(苏州)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于扫描电镜的单面温控台，属于温控台技术领域，其包括：冷热模块，用于加热制冷达到对表面样品的热传导；制冷通道，用于对冷热模块进行制冷，所述制冷通道的一端连接于所述冷热模块的外侧；制热模块，用于对冷热模块进行制热，所述制热模块包括制热线、导热板和两个电极片，所述制热线与两个电极片电性连接，且所述电极片固定安装在所述导热板的外侧；安装座，用于固定所述冷热模块，所述冷热模块设置于所述安装座的内部，且所述安装座的底部固定安装有支撑底座。本发明通过设置的制冷通道和制热模块实现对冷热模块的精准温度控制，保证了实验结构稳定性，且适用于高真空环境使用。
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公开(公告)号：CN118583592A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410234562.6
申请日：2024-03-01
Applicant: FEI 公司
IPC: G01N1/28 , H01J37/28 , H01J37/317 , G01N21/01 , G01N21/84
Abstract: 用于带电粒子显微镜中的准确层检测和分析的系统和方法。本公开的实施方案使得能够识别、标记和隔离诸如半导体存储器结构的复杂三维结构内的特定层。特别地，本文所述的系统和方法可识别诸如具有周期性或重复层的多层结构中的字线的特定层以用于随后的隔离和分析。本公开使得能够使层计数自动化并在该多层结构内进行标记，使得该多层结构内的特定的所期望的层可得以隔离和分析。
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公开(公告)号：CN118575250A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202380018419.7
申请日：2023-01-18
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/24 , H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 公开了一种降低漂移灵敏度并延长使用寿命的多束带电粒子成像系统的多束产生单元。通过结合屏蔽构件、冷却构件或改良结构中的至少一者及用于操作主动多孔元件的方法，将X射线辐射和热负荷所引起的漂移降到最低。通过形成例如电压供应单元的主动多孔元件或微电子装置的退火方法进一步提高使用寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118571732A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410221431.4
申请日：2024-02-28
Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/141 , H01J37/28
Abstract: 描述了用于带电粒子束装置的带电粒子光学器件，该带电粒子束装置具有带电粒子束以及带电粒子束装置的射束传播方向。带电粒子光学器件包括聚焦透镜。聚焦透镜包括：具有第一孔径的第一电极；具有第二孔径的第二电极，该第二电极至少在垂直于射束传播方向的第一方向上可机械地移动；以及致动器，该致动器耦合至第二电极，以至少在第一方向上移动第二电极，从而进行第二孔径相对于第一孔径的位移。带电粒子光学器件进一步包括：偏转系统，该偏转系统定位在第二电极上游，用于基于所述位移来偏转带电粒子束，从而引导带电粒子束穿过第二孔径。
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公开(公告)号：CN110189974B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN201910140445.2
申请日：2019-02-21
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种用于操作粒子辐射设备的方法。在该方法中使物镜电流摆动。在物镜电流摆动的过程中，调节偏转单元和/或孔单元的特性。特性的调节如此进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。此外，在该方法中，进行射束发生器的工作电压的摆动并且借助于样品台进行物体的定向。在工作电压摆动的过程中，样品台向定向位置中的移动如下进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。
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公开(公告)号：CN118402034A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202280082769.5
申请日：2022-11-14
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 一种带电粒子评估装置，包括：带电粒子束设备；致动样品台；热部件和热补偿器。致动样品台被配置为保持样品。热部件被配置为操作使得在操作期间热量向保持在样品保持器上的样品辐射。热部件小于样品。热补偿器被配置为加热样品以便降低其中的热梯度。
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公开(公告)号：CN115684216B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202211194182.1
申请日：2022-09-28
Applicant: 北京大学
IPC: G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/20008 , H01J37/28
Abstract: 一种利用特殊形状光阑测量原子分辨振动谱的方法，包括如下步骤：S1、将制备好的待测样品放入电镜，旋转待测样品至待测的带轴；S2、在电镜的电子束的汇聚半角为大汇聚半角下校正像散；S3、调整投影透镜参数使得所期望的收集区域位于特殊光阑的预留区域内；S4、插入所述特殊形状光阑使得所述特殊形状光阑位于所述预留区域内；S5、调整像散使得在电镜高角环形暗场像探头上能够清楚看到待测样品待测区域的原子分辨图像；S6、插入单色仪，限制通过电子束的能量，提高能量分辨率；S7、调整电子能量损失谱仪的能量分辨率至足够测到振动谱信号；S8、获得待测样品待测区域的原子分辨振动谱；所述特殊形状光阑为环形光阑或双矩形开口光阑。
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公开(公告)号：CN113555266B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202110403013.3
申请日：2021-04-13
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： E.海因德尔
Abstract: 本发明涉及一种用于对粒子束装置的真空室进行通气和抽空的方法。本发明进一步涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括以下步骤：关闭第一真空泵的进气阀，关闭该第一真空泵的出气阀，在泵送操作中操作该第一真空泵，关闭布置在该真空室与另外的真空室之间的分离阀，通过打开流动连接至该真空室的通气设备来对该真空室进行通气，打开第二真空泵的进气阀，使用该第二真空泵对该真空室进行抽空，打开该第一真空泵的出气阀，打开该第一真空泵的进气阀以及使用该第一真空泵对该真空室进行抽空。
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