用于影响至少一条光射束的射束方向的光学布置系统和方法

    公开(公告)号:CN110100204A

    公开(公告)日:2019-08-06

    申请号:CN201780079908.8

    申请日:2017-12-22

    Abstract: 为了实现被引导通过体积光栅(1)的光射束在不同的照射布置系统之间的灵活转换,提供一种包括用于影响至少一条光射束(2)的射束方向的体积光栅(1)的光学布置系统,其特征在于,在体积光栅(1)之前的光路中设置有转换装置(4)用于使至少一条光射束(2)的射束方向和/或射束位置从第一射束方向和/或射束位置向第二射束方向和/或射束位置转换,和/或反之亦然,在所述第一射束方向和/或射束位置时所述至少一条光射束(2)不是以体积光栅(1)的接收角入射到体积光栅(1)上,在所述第二射束方向和/或射束位置时所述至少一条光射束(2)以接收角入射到体积光栅(1)上。此外给出一种用于尤其是在使用前述光学布置系统的情况下影响至少一条光射束(2)的射束方向的方法。

    用于利用结构化的光片照射检查试样的方法和设备

    公开(公告)号:CN108292034A

    公开(公告)日:2018-07-17

    申请号:CN201680067588.X

    申请日:2016-10-10

    CPC classification number: G02B21/16 G02B21/10 G02B21/367 G02B27/58

    Abstract: 本发明涉及一种用于用显微镜检查试样(24)的方法和设备。所述方法包括:利用光源产生照射光束(2)的步骤、利用分裂器件(1)将照射光束(2)在空间上分裂成至少两个子照射光束(3、4)的步骤、通过一个对于两子照射光束(3、4)共用的照射透镜(7)引导子照射光束(3、4)的步骤、在子照射光束(3、4)已经穿过照射透镜(7)之后利用至少一个转向机构(27)使所述子照射光束之中的至少一个子照射光束转向,使得子照射光束(3、4)在一个照射平面(11)中相互干涉,从而在照射平面(11)产生一个照射图案(12)的步骤,和产生由照射图案(12)照射的试样区域的图像的步骤,其中,从试样区域出来的检测光通过检测透镜(8)到达位置分辨的检测器。

    SRS成像的动态锁定检测带宽

    公开(公告)号:CN108139267A

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201680058139.9

    申请日:2016-10-10

    Abstract: 本发明涉及一种包括锁定放大器(300)的用于显微镜(20)的电路,其中,所述锁定放大器(300)包括输入信号(s)的输入端、参考信号(r)的输入端、输出信号(o)的输出端、和带宽滤波器设备(302),其中,所述带宽滤波器设备(302)被适配为使得能够可变地设置低带宽频率值和/或高带宽频率值,其中,所述电路包括动态带宽控制器单元(500),其中,所述显微镜(20)的当前设置的至少一个参数(P)被输入所述动态带宽控制器单元(500),其中,所述动态带宽控制器单元(500)被适配为以所述显微镜(20)的当前设置的至少一个参数(P)的函数来控制所述锁定放大器(300)的低带宽频率值和/或高带宽频率值。

    用于光线的可变偏转的装置

    公开(公告)号:CN103033926B

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201210270369.5

    申请日:2012-07-31

    Inventor: F·施莱柏

    CPC classification number: G02B21/0076 G01J1/0414 G01J3/021 G02B26/0833

    Abstract: 描述了一种用于光线的可变偏转的装置(100),其包括微机械镜排列(14),该微机械镜排列(14)具有多个反光镜致动器(18、20、22、24、26);以及控制单元(32),通过该控制单元可控制镜致动器(18、20、22、24、26)至不同反射位置以改变光偏转。该装置(100)具有背反射结构(60),其系统性地适于镜排列(14),用于以目标形式将反射至背反射结构(60)的光从一部分镜致动器(18、20、22、24、26)反射返回至另一部分镜致动器(18、20、22、24、26)。

    具有分束器组件的显微镜
    56.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106575030A

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201580041119.6

    申请日:2015-07-28

    Abstract: 本发明涉及显微镜(10),包括一个或多个光源(30),该光源单独或共同产生包括在多个波长范围内的光线的照明光路;具有二向色镜面(54)的二向色分束器组件(52),二向色镜面在包括多个波长范围的光路部分(72)中布置在物镜透镜(12)和镜筒透镜(24)之间,二向色镜面通过反射在反射光路(66)方向上产生反射部分光束(32)且通过透射在透射光路(70)方向上产生透射部分光束(68),透射部分光束的透射波长范围与反射部分光束(32)的反射波长范围不同,二向色分束器组件(52)以预定偏转角度(α)改变反射部分光束(32)相对于照明光路的传播方向。二向色镜面(54)以22.5°±7.5°角度布置在光路部分(72)中,二向色分束器组件(52)具有布置在反射光路(66)中的至少一个另外反光镜(56),通过在二向色镜面(54)和至少一个另外发光镜(56)上的所有反射的总和,以预定偏转角度(α)改变反射部分光束(32)的传播方向。

    用于使显微镜物镜对焦于样品的装置

    公开(公告)号:CN102540440B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201110376424.4

    申请日:2011-11-23

    Inventor: M·甘瑟

    CPC classification number: G02B21/26 G02B21/241

    Abstract: 公开了一种用于使显微镜物镜(26)对焦于样品(18)的装置。该装置包括一个定位单元(22)并适于保持该显微镜物镜(26)的物镜保持器(24)、以及用于使物镜保持器(24)沿着显微镜物镜(26)的光轴(O)运动的执行机构(27)。该物镜保持器(24)保持该显微镜物镜(26)的面对着该样品(18)的前部。(20),其具有主体(22)、可移动地支撑于该主体

    用于扫描显微成像样本的方法和装置

    公开(公告)号:CN102621111B

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201210006360.3

    申请日:2012-01-10

    CPC classification number: G02B21/008 G01N21/6458 G02B21/0076

    Abstract: 一种用于扫描显微成像样本(28)的方法和装置。采取下述措施,在相继的扫描时间间隔中通过扫描光束(14)扫描多个样本点,在相关扫描时间间隔内,反复感测相应扫描样本点发射的辐射强度,依据相应扫描样本点上感测的强度,确定出强度平均值,作为平均值图像点信号,并将该平均值图像点信号组合成平均值光栅图像信号。进一步采取措施,以依据相应扫描样本点上感测的强度,另外确定出强度方差值,作为方差图像点信号,并将该方差图像点信号组合成方差光栅图像信号。

Patent Agency Ranking