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    Cassette for supplying conveyed body
    51.
    发明专利
    Cassette for supplying conveyed body 有权
    供应输送体的CASSETTE

    公开(公告)号：JP2005154060A

    公开(公告)日：2005-06-16

    申请号：JP2003394017

    申请日：2003-11-25

    Applicant: Watanabe Shoko:Kk ,  株式会社渡辺商行

    Inventor： UEHARA AKIRA ,  TSUDA MASAYUKI ,  KANEKO KAZUHISA

    IPC: B65D85/86 ,  B65G1/00 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  B65G51/03 ,  B65H1/28 ,  H01L21/673 ,  H01L21/68

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cassette for supplying a conveyed body capable of dispensing with a protective sheet and effectively supplying a conveyed body. SOLUTION: The plate-like conveyed body 7 is stored in a tray 41c divided into a plurality of stages, and the conveyed body 7 stored in a tray 41c is pressed by a pressing pin 41d as a pressing member. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于供给能够分配保护片的输送体的盒，并有效地供给被输送的物体。 解决方案：板状输送体7被储存在分成多级的托盘41c中，存储在托盘41c中的输送体7被作为按压部件的按压销41d按压。 版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

    Floating conveying system, floating conveying handling system of conveyed body using floating conveying system
    52.
    发明专利
    Floating conveying system, floating conveying handling system of conveyed body using floating conveying system 有权
    浮动输送系统，使用浮动输送系统输送输送体的输送处理系统

    公开(公告)号：JP2005154058A

    公开(公告)日：2005-06-16

    申请号：JP2003394015

    申请日：2003-11-25

    Applicant: Watanabe Shoko:Kk ,  株式会社渡辺商行

    Inventor： UEHARA AKIRA ,  TSUDA MASAYUKI ,  KANEKO KAZUHISA

    IPC: B65G51/03 ,  B65G47/64

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a floating conveying system capable of realizing space saving of an installation space of a conveyed body and securing degree of designing freedom of a conveyance route.
    SOLUTION: A plate-like conveyed body is stored in every tray having a plurality of stages of a conveyed body supplying cassette 41. A plurality of lower-stage conveying units 43 for floating and conveying the conveyed body in a predetermined direction with pressure gas injected from each tip of the nozzles 22d formed in a plurality of nozzle members are arranged adjacently in the same plane. A plurality of upper-stage conveying units 44 for floating and conveying the conveyed body in the predetermined direction with the pressure gas injected from each tip of the nozzles formed in the plurality of nozzle members 22d are arranged adjacently in the same plane over the lower-stage conveying units. The conveyed body is delivered between the lower-stage conveying units 43 and the upper-stage conveying units 44 by a lift conveying unit 45 for floating and lifting the conveyed body with the pressure gas injected from each tip of the nozzles 22d formed in the plurality of nozzle members, and the conveyed body is handled by a handling unit 42.
    COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种浮动输送系统，其能够实现输送体的安装空间的节省空间并确保输送路径的设计自由度。

    解决方案：板状输送体存储在具有输送体供给盒41的多个台阶的每个托盘中。多个下级输送单元43，用于沿预定方向浮动并输送输送体， 从形成在多个喷嘴构件中的喷嘴22d的每个末端喷射的高压气体被相邻布置在同一平面中。 多个用于在从多个喷嘴构件22d中形成的喷嘴的每个尖端喷射的压力气体沿预定方向浮动和传送输送体的上部输送单元44相邻布置在相同的平面中， 舞台输送单元。 被输送的主体通过升降输送单元45在下级输送单元43和上段输送单元44之间输送，用于使从多个喷嘴22d中形成的多个喷嘴22d喷射的压力气体浮起并提升输送体 的喷嘴构件，并且输送体由处理单元42处理。版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

    Vaporizer
    53.
    发明专利
    Vaporizer 审中-公开
    喷雾器

    公开(公告)号：JP2005101454A

    公开(公告)日：2005-04-14

    申请号：JP2003335605

    申请日：2003-09-26

    Applicant: Masayuki Tsuda ,  Watanabe Shoko:Kk ,  株式会社渡辺商行 ,  昌之 都田

    Inventor： KUSUHARA MASAKI ,  TSUDA MASAYUKI

    IPC: C23C16/448 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31

    CPC classification number: C23C16/4481

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vaporizer securing a long route of a reaction tube and further stirring carrier gases resulting from diffusing a raw material solution in a direction crossing a passing direction with a centrifugal force that is generated when passing the inside, to promote uniform vaporization using radiation heat from a heater.
    SOLUTION: The carrier gases resulting from diffusing the raw material solution composed of a liquid or powder are supplied from the upstream side to a helical reaction tube 103, and the carrier gases resulting from diffusing the raw material solution passing inside the reaction tube 103 are vaporized by the radiation heat of a heater 104.
    COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种确保反应管的长路径的蒸发器，并且进一步搅拌通过使原料溶液在与通过方向交叉的方向上扩散的载气与通过内部时产生的离心力 ，以促进使用来自加热器的辐射热的均匀蒸发。 解决方案：将由液体或粉末组成的原料溶液扩散所产生的载气从上游侧供应至螺旋反应管103，并将通过反应管内部的原料溶液扩散的载气 103由加热器104的辐射热量蒸发。版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

    HfN膜の製造方法およびHfN膜
    55.
    发明专利
    HfN膜の製造方法およびHfN膜 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020191463A

    公开(公告)日：2020-11-26

    申请号：JP2020126879

    申请日：2020-07-27

    Applicant: 株式会社渡辺商行

    Inventor： 都田 昌之 ,  佐々木 善和 ,  梅田 優 ,  楠原 昌樹

    IPC: H01L21/31 ,  C23C16/34 ,  H01L21/318

    Abstract: 【課題】原料ガスと薄膜生成原料が反応チャンバーとで反応し、安定的な原料供給が可能であり、長期使用が可能であるHfN膜の製造方法及びHfN膜を提供する。 【解決手段】気化された原料ガスを、配管14を経由して供給されノズル表面に対向配置された被成膜基板Pへと噴射するシャワーノズル15を備える。シャワーノズルは、配管の導入口14aを中心として拡開する外壁15aと、外壁の拡開端部から立ち上がる周壁15cと、周壁の端部を覆うノズル表面15bとで構成した成膜装置を用いるHfN膜の製造方法であって、反応ガスを直接、反応チャンバーに供給するようにガス供給口16を設け、サセプタの上にウエハが搭載される。原料ガスTEMAHの流量が、0.2CCM、反応チャンバーの圧力4Torr、サセプタの温度が、250℃以上、270℃以下の範囲であり、反応ガスNH 3 の流量を、9.0CCM以上、15.0CCM以下の範囲とする。 【選択図】図8

    気化器
    60.
    发明专利
    気化器 审中-公开
    蒸气器

    公开(公告)号：JP2015039001A

    公开(公告)日：2015-02-26

    申请号：JP2014190289

    申请日：2014-09-18

    Applicant: 株式会社渡辺商行 ,  M Watanabe & Co Ltd ,  都田 昌之 ,  Masayuki Toda ,  昌之 都田

    Inventor： TODA MASAYUKI ,  KUSUHARA MASAKI ,  DOI MIKIO ,  UMEDA MASARU ,  FUKAGAWA MITSURU ,  KANNO YOICHI ,  UCHIZAWA OSAMU ,  YAMAMOTO KOHEI ,  MEGURO TOSHIKATSU

    IPC: H01L21/31 ,  C23C16/448 ,  H01L21/316

    Abstract: 【課題】原料溶液が均一に分散した気化ガスを得ることができるMOCVD用気化器及び原料溶液の気化方法を提供すること。【解決手段】(1)ガス通路に加圧されたキャリアガス3を導入するためのガス導入口4と、ガス通路に原料溶液5aを供給する手段と、原料溶液含有キャリアガスを気化部22に送るためのガス出口7と、を有する分散部8と、(2)一端がMOCVD装置の反応管に接続され、他端が前ガス出口7に接続された気化管20と、気化管20を加熱するための加熱手段と、を有し、分散部8から送られてきた、原料溶液を含むキャリアガスを加熱して気化させるための気化部22と、を有し、(3)分散部8は、円筒状中空部を有する分散部本体1と、円筒状中空部の内径より小さな外径を有するロッド10とを有し、ロッド10の外周の気化器22側に螺旋状の溝60を有し、ロッド10は該円筒状中空部に挿入されている。【選択図】図8

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够获得材料溶液均匀分散的汽化气体的MOCVD蒸发器，并进一步提供材料溶液的蒸发方法。解决方案：用于MOCVD的蒸发器包括：（1 ）分散部分8，其包括用于将加压载气3引入气体通道的气体入口4，用于将原料溶液5a供给到气体通道的装置和用于将含有原料的载气送出的气体出口7 蒸发部分22的材料溶液; 和（2）蒸发部分22，其包括一端与MOCVD装置的反应管连接的蒸发管20a和另一端连接到气体出口7和加热蒸发管20a的加热装置， 蒸发部22对从分散部8供给的原料溶液的载气进行加热蒸发。在MOCVD蒸发器中，（3）分散部8包括：分散部主体1，其包括圆筒状的中空部; 以及具有比圆筒形中空部分的内径小的外径的杆10，并且在杆10的外周的蒸发器22侧上包括螺旋槽70.杆10穿过圆柱形中空部分插入。

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