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公开(公告)号：CN119247709A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411559399.7
申请日：2024-11-04
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于负胶光刻工艺的去边胶方法，包括：(1)在衬底上旋涂负性光刻胶，衬底边缘堆积形成高于中间区域的边胶；对衬底进行第一次软烘；(2)旋涂正性光刻胶，对衬底进行第二次软烘；(3)用去边掩膜板和去边紫外光对衬底进行曝光；(4)用显影液对衬底进行显影，去除边胶；(5)用图形化掩膜板和图形化紫外光对衬底进行曝光，曝光后进行后烘；(6)用泛曝紫外光对衬底进行曝光；(7)用显影液对衬底进行显影，去除全部正性光刻胶和步骤(5)中图形化掩膜板遮光区对应的负性光刻胶，获得图形化光刻胶。本发明去除负胶边胶的方法操作简单，无需额外工艺设备，且光刻工艺兼容性高，去边区域精确可控。
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公开(公告)号：CN112670824B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202011560799.1
申请日：2020-12-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种太赫兹量子级联激光器双光梳稳频系统，包括第一太赫兹量子级联激光器光频梳源、第二太赫兹量子级联激光器光频梳源、提取模块和锁相环，所述第一太赫兹量子级联激光器光频梳源发出的梳齿信号耦合进入所述第二太赫兹量子级联激光器光频梳源，并与所述第二太赫兹量子级联激光器光频梳源的梳齿信号相互作用产生双光梳信号；所述提取模块用于提取所述双光梳信号中的一根梳齿作为待锁相梳齿；所述锁相环用于对所述待锁相梳齿进行相位锁定。本发明实现高频率稳定性的THz QCL双光梳多外差光谱探测。
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公开(公告)号：CN115046633A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210532621.9
申请日：2022-05-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J3/02
Abstract: 本发明涉及一种自参考太赫兹双光梳系统，包括：第一光频梳、第二光频梳、T型偏置器和分波器；第一光频梳发出的光信号经过自由空间耦合进入第二光频梳的谐振腔中，并与第二光频梳拍频产生双光梳信号；T型偏置器用于获取由第二光频梳的自探测机制得到的双光梳信号；分波器用于将双光梳信号分成两路双光梳信号，第一路双光梳信号通过梳齿提取装置提取出一根梳齿后进入混频器的LO端口，第二路双光梳信号直接进入混频器的RF端口；混频器用于将双光梳信号与提取出的一根梳齿进行混频，并向频谱分析仪输出混频后的自参考双光梳信号；频谱分析仪用于实时检测得到的自参考双光梳信号。本发明能够获得高稳定的双光梳光谱。
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公开(公告)号：CN114039268A
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202111208078.9
申请日：2021-10-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种太赫兹量子级联激光器双光梳完全锁相系统，包括第一太赫兹量子级联激光器光频梳、第二太赫兹量子级联激光器光频梳、环形器、滤波装置和锁相装置，所述第一太赫兹量子级联激光器光频梳与第一射频注入装置相连，所述第一射频注入装置用于锁定所述第一太赫兹量子级联激光器光频梳的重复频率，所述第二太赫兹量子级联激光器光频梳与第二射频注入装置相连，所述第二射频注入装置用于锁定所述第二太赫兹量子级联激光器光频梳的重复频率并提取所述双光梳信号；所述双光梳信号依次经过所述环形器、滤波装置和锁相装置，所述锁相装置用于对提取出的梳齿进行锁定。本发明能够大幅提高太赫兹量子级联激光器双光梳的稳定性。
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公开(公告)号：CN112146755B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202010876302.0
申请日：2020-08-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于非共振射频注入产生超宽带太赫兹双光梳装置，包括处于真空环境下的第一太赫兹量子级联激光器和第二太赫兹量子级联激光器，其中，所述第一太赫兹量子级联激光器和第二太赫兹量子级联激光器放置在同一高度上，且两者之间具有一定距离，第一太赫兹量子级联激光器的光通过抛物面镜进入第二太赫兹量子级联激光器，并在所述第二太赫兹量子级联激光器的谐振腔内进行光耦合。本发明还涉及一种基于非共振射频注入产生超宽带太赫兹双光梳方法。本发明能够使得产生的双光梳光谱更宽。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112146755A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010876302.0
申请日：2020-08-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于非共振射频注入产生超宽带太赫兹双光梳装置，包括处于真空环境下的第一太赫兹量子级联激光器和第二太赫兹量子级联激光器，其中，所述第一太赫兹量子级联激光器和第二太赫兹量子级联激光器放置在同一高度上，且两者之间具有一定距离，第一太赫兹量子级联激光器的光通过抛物面镜进入第二太赫兹量子级联激光器，并在所述第二太赫兹量子级联激光器的谐振腔内进行光耦合。本发明还涉及一种基于非共振射频注入产生超宽带太赫兹双光梳方法。本发明能够使得产生的双光梳光谱更宽。
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公开(公告)号：CN105606534B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201510923123.7
申请日：2015-12-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/01
Abstract: 本发明提供一种太赫兹近场信号转换器，所述太赫兹近场信号转换器包括：近场耦合放大模块，适于将被测样品的太赫兹近场信号放大并转换为传输波；远场传输模块，适于将传输波收集并汇集至太赫兹探测器敏感元上进行探测。本发明太赫兹近场信号转换器具备将太赫兹近场信号转换为远场信号的功能，使太赫兹近场信号可以被普通远场探测器所探测，确保了近场信息不丢失，从而使测量结果精度和准确性得到改善；太赫兹近场信号转换器的使用无需采用相干探测技术，降低了测试系统复杂程度，提高了近场技术的可操作性。
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公开(公告)号：CN108428762A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201810384191.4
申请日：2018-04-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/101 , H01L31/0224 , H01L31/02 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种用于量子阱探测器的微腔阵列耦合结构及其制作方法，其中，所述耦合结构包括：多个呈阵列分布的微腔单元以及一位于所述微腔单元下方的衬底，其中，每个所述微腔单元包括：一上金属电极，以及一设置在所述上金属电极的下表面上的所述量子阱探测器中的外延层，该外延层的几何尺寸与所述上金属电极的几何尺寸相同；所有所述微腔单元还包括：一共用的供所述外延层设置于其上的下金属电极板，该下金属电极板设置在所述衬底的上表面上。本发明不仅可以实现光的正入射耦合，有效提高量子阱对光的吸收效率，降低量子阱探测器的暗电流，提高其工作温度，而且可以达到微腔内电场增强的效果，提高量子阱探测器的光耦合效率。
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公开(公告)号：CN102169016B
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201110001200.5
申请日：2011-01-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种连续激射型太赫兹量子级联激光器的功率测量装置及方法，该装置包括光源部分、光路部分和探测部分；光源部分包括冷头、安装于冷头内的热沉、安装于热沉上的太赫兹量子级联激光器、安装于冷头上用以使太赫兹光射出的聚乙烯窗片；光路部分包括第一离轴抛物镜和第二离轴抛物镜；第一离轴抛物镜收集经聚乙烯窗片射出的太赫兹光；第二离轴抛物镜接收经第一离轴抛物镜反射的太赫兹光；探测部分包括热探测器和示波器；热探测器接收第二离轴抛物镜反射的太赫兹光，并产生相应的电压信号；示波器对电压信号进行提取和显示获得电压信号幅度。本发明光路部分和探测部分可以在常温下进行测量，便于安装和测试。
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公开(公告)号：CN101713687B
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN200910198912.3
申请日：2009-11-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波段的无线发射接收装置及其发射接收方法，其包括：发射端(第一冷头、太赫兹量子级联激光器及第一聚乙烯窗片)、光路部分(两个离轴抛物镜和大气)和接收端(第二冷头、太赫兹量子阱探测器及第二聚乙烯窗片)。本发明的优点在于：选择了目前尚未分配使用的电磁波频段进行电磁波的发射接收，且大气对所选频点电磁波的吸收相对较弱，从而减小了太赫兹波传播过程中的衰减损耗；发射端采用了能量转换效率高、体积小、易集成且可长期工作和大规模生产的半导体量子级联激光器；接收端采用了体积小、稳定可靠且可大规模生产的半导体量子阱探测器；所采用的半导体激光器和探测器均具有高频工作特性，适于未来的太赫兹通信应用。
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