公开(公告)号：CN102844857A

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201180019560.6

申请日：2011-04-14

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  小野元司 ,  村上亮太 ,  菊川信也

IPC: H01L23/15

CPC classification number: H01L23/15 ,  H01L21/4807 ,  H01L23/49827 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T428/24273 ,  Y10T428/24298 ,  H01L2924/00

Abstract: 提供与现有的半导体器件贯通电极用的玻璃基板相比具有更加良好的强度的玻璃基板。本发明涉及玻璃基板，其特征在于，其为具有第1表面和第2表面，且具有从所述第1表面延伸到所述第2表面的贯通孔的半导体器件贯通电极用的玻璃基板，其中，所述第1表面和第2表面的至少一个进行了化学强化。

公开(公告)号：CN101959818A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980107137.4

申请日：2009-02-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也

IPC: C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1461 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其在使用高EUV能量的光辐照时的线性热膨胀系数基本为零，适合作为EUVL用曝光工具的光学部件。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的卤素含量为100ppm以上；假想温度为1100℃以下；在20至100℃范围内的平均线性热膨胀系数为30ppb/℃以下；线性热膨胀系数为0±5ppb/℃时的温度宽度ΔT为5℃以上；线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于30至150℃的范围内。

公开(公告)号：CN108623149A

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201810652429.7

申请日：2013-06-04

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 德永博文 ,  小池章夫 ,  西泽学 ,  辻村知之

IPC: C03C3/093 ,  C03C3/091 ,  C03B18/02

CPC classification number: C03C3/093 ,  C03C1/02 ,  C03C3/087 ,  C03C3/091 ,  C03C3/112 ,  C03C3/118

Abstract: 本发明涉及无碱玻璃及其制造方法。本发明涉及一种无碱玻璃，其应变点为710℃以上，50～350℃下的平均热膨胀系数为30×10-7～43×10-7/℃，玻璃粘度达到102dPa·s时的温度T2为1710℃以下，玻璃粘度达到104dPa·s时的温度T4为1320℃以下，以基于氧化物的质量％计，含有SiO2 58.5～67.5、Al2O 318～24、B2O3 0～1.7、MgO 6.0～8.5、CaO 3.0～8.5、SrO 0.5～7.5、BaO 0～2.5、ZrO2 0～4.0，并且，含有0～0.35质量％的Cl、0.01～0.15质量％的F、0.01～0.3质量％的SnO2，玻璃的β-OH值为0.15～0.60mm-1，(MgO/40.3)+(CaO/56.1)+(SrO/103.6)+(BaO/153.3)为0.27～0.35，(MgO/40.3)/((MgO/40.3)+(CaO/56.1)+(SrO/103.6)+(BaO/153.3))为0.40以上，(MgO/40.3)/((MgO/40.3)+(CaO/56.1))为0.40以上，(MgO/40.3)/((MgO/40.3)+(SrO/103.6))为0.60以上。

公开(公告)号：CN108349790A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680061370.3

申请日：2016-10-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  角田纯一 ,  林英明

IPC: C03C17/32 ,  B32B17/06 ,  C03C3/087 ,  C03C17/34 ,  C03C21/00 ,  G03F1/50 ,  G03F1/60

Abstract: 一种玻璃-树脂复合体，其包含玻璃板和树脂膜，其特征在于，所述树脂膜设置于所述玻璃板的至少一个主面的整个面上，所述玻璃板为在主面和端面的全部表层具有压应力层的化学强化玻璃，所述玻璃板的板厚t1为0.05mm～0.25mm，且所述板厚t1、所述树脂膜的厚度t2和所述树脂膜的屈服应力P满足{t1(mm)×4(N/mm2)＜t2(mm)×P(N/mm2)}的关系。

公开(公告)号：CN107922258A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680047334.1

申请日：2016-07-26

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 秋叶周作 ,  小池章夫

IPC: C03C21/00 ,  C03C15/00 ,  C03C3/083

CPC classification number: C03C3/087 ,  C03C3/085 ,  C03C4/18 ,  C03C15/00 ,  C03C21/002 ,  C03C2204/00

Abstract: 本发明提供一种化学强化玻璃，其特征在于，所述化学强化玻璃的板厚小于300μm，所述化学强化玻璃的表面压应力为200MPa以上，所述化学强化玻璃的内部拉应力CT(MPa)和板厚t(μm)满足CT≤4×(t/1000+0.02)-2+90。

公开(公告)号：CN105143848B

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201480015847.5

申请日：2014-03-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 角田纯一 ,  江畑研一 ,  小池章夫 ,  小林裕介 ,  山内健

IPC: G01N3/20 ,  G02F1/1333

CPC classification number: G01N3/20 ,  G01N2203/0062 ,  G01N2203/0064 ,  G02F1/1309 ,  G02F1/133305

Abstract: 一种弯曲试验方法，将含有脆性材料的片状件分别支承于第1支承盘和第2支承盘，在维持彼此平行的所述第1支承盘的支承面与所述第2支承盘的支承面之间的间隔的状态下，使所述第2支承盘的位置相对于所述第1支承盘移动，检查在所述第1支承盘与所述第2支承盘之间弯曲的所述片状件是否形成有裂纹。

公开(公告)号：CN107663012A

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201710970906.X

申请日：2014-12-12

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 秋叶周作 ,  小池章夫 ,  加濑准一郎 ,  山崎秀司

IPC: C03C3/087 ,  C03C21/00

CPC classification number: C03C3/087 ,  C03C21/002

Abstract: 本发明涉及化学强化用玻璃和进行了化学强化处理的玻璃。本发明提供一种进行了化学强化处理的玻璃，其是进行了化学强化处理的玻璃，其特征在于，以氧化物基准的质量百分率表示，所述进行了化学强化处理的玻璃含有：60％～75％的SiO2、3％～9％的Al2O3、2％～10％的MgO、3％～10％的CaO、10％～18％的Na2O、最多4％的K2O、0％～3％的ZrO2、0％～0.3％的TiO2和0.02％～0.4％的SO3，玻璃熔液的粘性达到100dPa·秒时的温度T2为1530℃以下，并且在进行了化学强化处理的主表面中，压应力层深度为8μm以上，且表面压应力为500MPa以上。本发明的进行了化学强化处理的玻璃具有高强度，并且在玻璃制造时能够使熔化温度较低。

公开(公告)号：CN107614454A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201680031038.2

申请日：2016-05-26

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  石本晴彦 ,  岩崎达弥 ,  角田纯一

IPC: C03C21/00 ,  B82Y5/00

CPC classification number: G03F1/60 ,  C03C3/087 ,  C03C4/18 ,  C03C21/002 ,  C03C2204/00 ,  G01N3/20 ,  G01N2203/0003 ,  G01N2203/0023 ,  G01N2203/0064

Abstract: 本发明涉及一种化学强化玻璃，其具有第一主面、与上述第一主面相反的第二主面以及连接上述第一主面与上述第二主面的端面，并且在上述第一主面和上述第二主面设置有压应力层，其中，上述化学强化玻璃的平均板厚t为0.06mm～0.25mm，并且在进行特定的弯曲试验方法的情况下，没有形成以上述第一主面和上述第二主面中的至少一个主面作为起点的裂纹。本发明的化学强化玻璃是柔性(挠性)且高强度的玻璃。

公开(公告)号：CN105121370B

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：CN201480022660.8

申请日：2014-04-21

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 德永博文 ,  小池章夫 ,  榉田昌也

IPC: C03C3/085 ,  C03C3/087 ,  C03C3/091 ,  C03C3/093

CPC classification number: C03C4/0085 ,  C03C3/085 ,  C03C3/087 ,  C03C3/091 ,  C03C3/11 ,  C03C3/118

Abstract: 本发明涉及一种无碱玻璃基板，其应变点为680℃以上，杨氏模量为78GPa以上，波长300nm的紫外线透射率以0.5mm的厚度换算为40％～85％，在G6尺寸的基板中波长300nm的紫外线透射率的面内分布以0.5mm的厚度换算为1％以下，通过恒速冷却法求出的玻璃化转变温度附近的平均冷却速度为400℃/分钟以下，该平均冷却速度的面内分布为40℃/分钟以下，并且，以基于氧化物的质量百分率表示，所述无碱玻璃基板含有SiO250～73、Al2O310.5～24、B2O30～5、MgO 0～10、CaO 0～14.5、SrO 0～24、BaO 0～20、ZrO20～5、SnO20.01～1、Fe2O30.005～0.1、且MgO+CaO+SrO+BaO为8～29.5。

公开(公告)号：CN106966586A

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201710290175.4

申请日：2014-12-12

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 山崎秀司 ,  小池章夫 ,  加濑准一郎 ,  秋叶周作 ,  宫坂顺子 ,  大原盛辉

IPC: C03C3/091 ,  C03C21/00

CPC classification number: C03C3/087 ,  C03C4/18 ,  C03C21/002 ,  C03C2204/00

Abstract: 本发明涉及化学强化用玻璃和化学强化玻璃以及化学强化玻璃的制造方法。本发明涉及一种化学强化用玻璃，其为以氧化物基准的质量百分率表示含有63～75％的SiO2、3～12％的Al2O3、3～10％的MgO、0.5～10％的CaO、0～3％的SrO、0～3％的BaO、10～18％的Na2O、0～8％的K2O、0～3％的ZrO2和0.005～0.25％的Fe2O3的玻璃板，其中，粘度达到102dPa·s时的温度(T2)为1525℃以下，并且，R2O/Al2O3(式中，R2O为Na2O+K2O)为2.0以上且4.6以下。根据本发明的化学强化用玻璃，解决现有的铝硅酸盐玻璃难以熔融的问题点和CTE升高的问题点，并且可以进一步提高CS和DOL。