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公开(公告)号:CN106206932B
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201610191452.1
申请日:2016-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187
Abstract: 本发明的目的在于使用铌酸钾钠系压电材料的压电元件和压电元件应用设备中,实现压电体层的晶体取向性的提高、实现各种特性的提高等。压电元件(300)具备:在基板上形成的第1电极(60);在上述第1电极(60)上形成的由含有钾(K)、钠(Na)、铌(Nb)和锰(Mn)的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物构成的压电体层(70);以及在上述压电体层上形成的第2电极(80),其中,上述锰包含2价锰(Mn2+)、3价锰(Mn3+)和4价锰(Mn4+),上述2价锰相对于上述3价锰和上述4价锰之和的摩尔比(Mn2+/Mn3++Mn4+)为0.31以上。
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公开(公告)号:CN108630801A
公开(公告)日:2018-10-09
申请号:CN201711448714.9
申请日:2017-12-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 北田和也
IPC: H01L41/047 , H01L41/187 , B41J2/14
CPC classification number: H01L41/1871 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , H01L41/0477 , H01L41/0805 , H01L41/09 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/318 , H01L41/332
Abstract: 本发明提供一种无异相且绝缘性优异的具有KNN系压电体层的压电元件及压电元件应用器件。压电元件(300)具备第一电极(60)、第二电极(80)以及设置于上述第一电极(60)与上述第二电极(80)之间且由含有钾、钠、铌和锰的钙钛矿型氧化物构成的压电体层(70),其中,上述压电体层(70)中的上述钙钛矿型氧化物的A位点构成元素的比例比B位点构成元素的比例少,在该压电体层的XRD测定中,在44°<2θ<48°的范围内具有两个以上的来源于上述钙钛矿型氧化物的峰值,并且上述峰值中的强度最高的峰值X与强度最低的峰值Y之间的强度比(X/Y)满足下述式子:2.0<(X/Y)。
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公开(公告)号:CN106229405A
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201610191495.X
申请日:2016-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/18 , H01L41/187 , B41J2/045
CPC classification number: H01L41/04 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , H01L41/0805 , H01L41/18 , H01L41/1873 , H01L41/318 , B41J2/0452
Abstract: 本发明提供一种实现了压电特性的提高和漏电流的抑制中的至少一方的压电元件及压电元件应用设备。压电元件(300)具备:第1电极由包含钾、钠、铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层(70);设置在上述压电体层(70)上的第2电极(80),将上述压电体层(70)以10万倍拍摄截面SEM图像并在横向的测定值成为1273nm的条件下进行评价时,在该压电体层(70)中含有2个以上的空隙(75),各空隙的在膜厚方向成为最大的直径中,最大值与最小值之差为14nm以下且上述最大值为24nm以下。(60);通过溶液法在上述第1电极(60)上形成的
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公开(公告)号:CN104250098A
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN201410119623.0
申请日:2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: C04B35/462 , C04B35/495 , H01L41/187 , B41J2/045
CPC classification number: H01L41/16 , B41J2/045 , B41J2/14233 , C04B35/475 , C04B35/495 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3208 , C04B2235/3224 , C04B2235/3227 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3251 , C04B2235/3255 , C04B2235/3298 , C04B2235/76 , C04B2235/765 , C04B2235/768 , G10K9/122 , H01L41/047 , H01L41/08 , H01L41/0973 , H01L41/187 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H02N2/001 , H02N2/181
Abstract: 本发明提供一种压电材料及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置,该压电材料降低环境负担,在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高,并且居里温度也高。其含有:第1成分,由为菱面体晶且居里温度为Tc1的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成,第2成分,由为菱面体晶以外的晶体且居里温度为Tc2的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成;上述Tc1与上述Tc2之差的绝对值|Tc1-Tc2|为50℃以下。
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公开(公告)号:CN104249561A
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN201410119238.6
申请日:2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/183 , B41J2/055 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , C04B35/4682 , C04B35/495 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3244 , C04B2235/3249 , C04B2235/3255 , C04B2235/3262 , C04B2235/3274 , C04B2235/3293 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , C04B2235/768 , C04B2237/76 , C04B2237/765 , G01H11/08 , H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H02N2/001 , H02N2/186
Abstract: 提供压电材料以及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置,其减少环境负担,在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高,居里温度也高。含有:第1成分,由为菱面体晶且居里温度Tc1的钙钛矿型结构复合氧化物构成;第2成分,由为菱面体晶以外的晶体且居里温度Tc2的钙钛矿型结构复合氧化物构成;第3成分,由为菱面体晶但与上述第1成分不同且居里温度Tc3的钙钛矿型结构复合氧化物构成,Tc2比Tc1高,Tc3为Tc2以上,(0.1×Tc1+0.9×Tc2)的值为280℃以下。
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公开(公告)号:CN102205721A
公开(公告)日:2011-10-05
申请号:CN201110061759.7
申请日:2011-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , B41J2/135 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , C04B35/2633 , C04B35/2641 , C04B2235/3215 , C04B2235/3227 , C04B2235/3236 , C04B2235/3262 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , H01L41/0973 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供具有相对介电常数高且对环境负担小的压电材料的液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。液体喷射头具备:压力发生室,其与喷嘴开口连通;和压电元件,其具备压电体层和设置于所述压电体层的电极,所述压电体层是具有含有铁锰酸铋镧和钛酸钡的钙钛矿构造的复合氧化物,所述钛酸钡相对于所述铁锰酸铋镧和所述钛酸钡的总量的摩尔比为0.09~0.29。
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