压电元件和压电元件应用设备

    公开(公告)号:CN106206932B

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201610191452.1

    申请日:2016-03-30

    Abstract: 本发明的目的在于使用铌酸钾钠系压电材料的压电元件和压电元件应用设备中,实现压电体层的晶体取向性的提高、实现各种特性的提高等。压电元件(300)具备:在基板上形成的第1电极(60);在上述第1电极(60)上形成的由含有钾(K)、钠(Na)、铌(Nb)和锰(Mn)的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物构成的压电体层(70);以及在上述压电体层上形成的第2电极(80),其中,上述锰包含2价锰(Mn2+)、3价锰(Mn3+)和4价锰(Mn4+),上述2价锰相对于上述3价锰和上述4价锰之和的摩尔比(Mn2+/Mn3++Mn4+)为0.31以上。

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