Abstract:
레이저 블로잉으로 인한 손상을 방지할 수 있고, 동시에 퓨즈 사이의 크로스 토크를 줄일 수 있는 퓨즈 박스 및 그 제조방법을 개시한다. 레이저 블로잉에 의한 퓨즈 오픈이 일어나는 퓨즈 오픈 영역과 퓨즈 오픈이 일어나지 않는 퓨즈 다발 영역을 가진 퓨즈 박스에서, 퓨즈 다발 영역의 퓨즈 중 퓨즈 오픈 영역에 가장 인접한 바깥 퓨즈에만 금속막과 절연막으로 이루어진 캐핑막을 구비하도록 한다. 이에 의하여, 퓨즈 오픈 영역의 레이저 블로잉으로 인한 영향을 줄이는 한편, 퓨즈 라인과 그 사이의 절연막이 기생 커패시터를 형성하여 커패시티브 커플링이 일어나는 것을 방지할 수 있다. 따라서 커패시티브 커플링에 의한 크로스 토크를 방지함으로써 퓨즈 회로의 신뢰성을 높일 수 있다. 한편, 퓨즈 다발 영역의 하부층에 하부 퓨즈를 배치하여 퓨즈 박스를 두 층으로 구성할 수 있다. 퓨즈 박스, 퓨즈 오픈, 레이저 블로잉, 크로스 토크
Abstract:
스크라이브 라인 영역에 형성된 퓨즈 포커스 디텍터를 구비한 반도체 소자 및 그 제조 방법과 이를 이용한 레이저 리페어 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 반도체 소자의 칩 영역에는 반도체 기판으로부터 제1 높이의 레벨에 복수의 퓨즈가 형성되어 있다. 스크라이브 라인 영역에는 반도체 기판으로부터 제1 높이의 레벨에 형성된 제1 도전층과, 제1 높이와는 다른 높이의 레벨에 형성된 제2 도전층으로 이루어지는 퓨즈 포커스 디텍터가 형성되어 있다. 퓨즈 포커스 디텍터를 이용하는 레이저 리페어 방법에서는 레이저 리페어 대상 영역을 복수의 소영역으로 분할한 후, 선택된 하나의 소영역 내에서 퓨즈 포커스 디텍터를 소정 방향으로 레이저 스캔하여 레이저 반사광을 측정하여 퓨즈 포커스 디텍터의 두께 정보를 구한다. 상기 두께 정보로부터 선택된 소영역 내에 있는 퓨즈의 포커스 오프셋을 산출한다. 상기 산출된 포커스 오프셋이 허용 범위 이내일 때 선택된 소영역 내에서 퓨즈 컷팅을 행한다. 퓨즈 포커스 디텍터, 스크라이브 라인 영역, 퓨즈, 레이저 리페어
Abstract:
웨이퍼의 뒷면으로부터 소정 두께 만큼 그라인딩하는 백랩(back-lap) 공정을 거친 웨이퍼를 레이저 리페어하는 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 리페어 방법에서는 웨이퍼의 뒷면 전면이 덮일 수 있는 고정 장치 위에 상기 웨이퍼를 고정한 상태로 상기 웨이퍼를 레이저 리페어 설비 내에서 이동시킨다. EDS, 백랩, 레이저 리페어, 백 그라인딩, 고정 장치
Abstract:
PURPOSE: A lifting apparatus is provided to prevent lifting error by stably fixing a lift pin to a plate using a fixing part. CONSTITUTION: A lifting apparatus is provided with a lift pin(140) for loading and unloading a semiconductor substrate along a through hole(120) of a substrate support part(100), a plate(160) located at the lower portion of the substrate support part for vertically supporting the lift pin and moving the lift pin up and down by using a vertical driving force, and a fixing part for fixing the lift pin on the upper surface of the plate in order to prevent the lift pin from being shaken due to the vertical motion of the lift pin and the plate. Preferably, the fixing part includes a protrusion protruded from the lower lateral portion of the lift pin and a storing groove formed on the upper surface of the plate for fixing the lift pin to the plate.
Abstract:
PURPOSE: A smart media power supply controller is provided to prevent a noise generated due to a mounting/separating and a bad effect due to a static discharge. CONSTITUTION: A receiving section(22) receives a removable smart media(10). A regulator(26) supplies power to the removable smart media. A mounting/separating sensor(32) senses whether the smart media(10) is mounted or detached to or from the receiving section(22), respectively. When the mounting/separating sensor(32) senses whether the smart media(10) is mounted to the receiving section(22) or not, a control circuit(34) operates the regulator(26). When the mounting/separating sensor(32) senses whether the smart media(10) is separated from the receiving section(22) or not, the control circuit(34) stops an operation of the regulator(26).
Abstract:
PURPOSE: A keyphone system having a flash memory is provided to carry out the modification of a system program without the necessity of disassembling the system when the modification of the program is required. CONSTITUTION: A keyphone system having a flash memory(12) is composed of a single main board(10). A main control part(11) controls all the control objects in the main board(10). The flash memory(12), in which a NAND type flash memory card is embedded so that data can be preserved without power, is fixed by a socket on the main board(10) and is driven by a flash memory driver(13). A boot ROM(14), in which a program and data necessary to start up the system are stored, boots the system if the system is turned on. A RAM(15), a memory to temporarily store data, drives the driver(13) by the control of the control part(11) and starts the program according to the control of the control part(11) after storing the data of the flash memory(12).
Abstract:
1. 청구 범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 : 팩시밀리장치에 관한 것이다. 2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 : 하나의 프로세서를 사용하여 문서전송종료신호를 고속으로 체크할 수 있는 팩시밀리장치를 제공함에 있다. 3.발명의 해결방법의 요지 : 전반적인 문서전송기능을 제어하는 프로세서를 구비하여 문서전송종료신호를 검출하기 위한 팩시밀리장치에 있어서, 상기 프로세서와 접속되어 상기 프로세서로부터 출력되는 인에이블신호와 데이터신호를 인가받는 모뎀과, 상기 모뎀으로부터 출력되는 신호들중 상기 문서전송종료신호의 패턴이 입력되었는지를 체크하여 인터럽트신호를 출력하는 문서전송종료 감지회로와, 상기 인터럽트신호에 응답하여 상기 프로세스에 미리 설정된 인터럽트 서비스를 수행하기 위해 인터럽트제어신호를 상기 프로세스에 인가하는 인터럽트 제어기를 구비함을 특징으로 한다. 4. 발명의 중요한 용도 : 팩시밀리장치에 적합하게 사용된다.
Abstract:
가. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 교환 시스템을 구성하는 각종 유니트들을 전반적으로 제어하는 주 제어장치에 관한 것이다. 나. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제 시스템을 용이하게 업그레이드 및 확장시킬 수 있으며 다양한 시스템 기능을 구현할 수 있는 주 제어장치를 제공한다. 다. 발명의 해결방법의 요지 교환 시스템에 내장되고 교환 시스템의 각 유니트들과 시스템버스를 통해 접속되며 유니트들로부터 각종 이벤트 발생에 따른 메시지를 통신 버스를 통해 전송하며 그에 따라 수신되는 메시지에 대응되게 해당 유니트를 구동하는 메인 프로세싱 유니트와, 교환 시스템의 외부에서 통신 버스를 통해 메인 프로세싱 유니트와 연결되는 시스템 제어보드를 구비하며 메인 프로세싱 유니트로부터 전송되어오는 메시지를 처리하고 처리 결과에 따른 메시지를 메인 프로세싱 유니트로 전송하는 퍼스널 컴퓨터를 구비한다. 라. 발명의 중요한 용도 교환 시스템에서 주 제어장치로 이용한다.
Abstract:
1. 청구 범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 교환장치에 관한 것이다. 2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 일반적인 엔코더와 버퍼 및 플립플롭을 사용하는 다수의 인터럽트 백터값을 발생할 수 있는 방법을 제공함에 있다. 3. 발명의 해결방법의 요지 프로세서와, 상기 프로세서와 접속되고 상기 프로세스와의 데이터 전송을위해 캐스케이트방식으로 접속된 두 개의 엔코더와, 상기 두 개의 엔코더의 출력 신호에 대해래치 및 버퍼기능을 수행하기 위한 래치 및 버퍼를 적어도 구비하여 다수의 인터럽트 백터를 발생하는 방법에 있어서, 시스템 클럭중의 하나인 인터럽트 소오스의 발생에 의해 상기 프로세스의 인터럽트 리퀘스트가 인에이블 되는 과정과, 상기 래치 및 버퍼에서 상기 인터럽트 소오스를 인가받아 래치한 뒤 이를 상기 인터럽트 백터값으로 변환하는 과정과, 상기 인터럽트 백터값이 상기 프로세스에 인가됨에 따라 상기 두 개의 엔코더가 초기상태인 상기 인터럽트 소오스 발생에 대한 대기과정으로 이루어짐을 특징으로 한다. 4. 발명의 중요한 용도 교환장치에 적합하게 사용된다.
Abstract:
1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야: 팩시밀리장치에 관한 것이다. 2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제: 하나의 프로세서를 사용하여 문서전송종료신호를 고속으로 체크할 수 있는 팩시밀리장치를 제공함에 있다. 3. 발명의 해결방법의 요지: 전반적인 문서전송기능을 제어하는 프로세서를 구비하여 문서전송종료신호를 검출하기 위한 팩시밀리장치에 있어서: 상기 프로세서와 접속되어 상기 프로세서로 부터 출력되는 인에이블신호와 데이타신호를 인가받는 모뎀과, 상기 모뎀으로부터 출력되는 신호들중 상기 문서전송종료신호의 패턴이 입력되었는지를 체크하여 인터럽트신호를 출력하는 문서전송종료 감지회로와, 상기 인터럽트신호에 응답하여 상기 프로세스에 미리 설정된 인터럽트 서비스를 수행하기 위해 인터럽트제어신호를 상기 프로세스에 인가하는 인터럽트 제어기를 구비함을 특징으로 한다. 4. 발명의 중요한 용도: 팩시밀리장치에 적합하게 사용된다.