公开(公告)号：KR1020000061886A

公开(公告)日：2000-10-25

申请号：KR1019990011267

申请日：1999-03-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송기무 ,  김정우 ,  송인상 ,  권영우 ,  천창율

IPC: H01P7/06 ,  H01P11/00

CPC classification number: H01P7/065 ,  H01P5/107

Abstract: PURPOSE: A cavity resonator is provided to reduce a phase noise of an electromagnetic wave radiated MMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuit) VCO(Voltage Controlled Oscillator) for accepting a silicone micromachined cavity in a pressure control oscillator of a reflection type. CONSTITUTION: A cavity resonator includes a cavity(500), a microstrip line(400) and a slot(210). The cavity(500) is made by a fine processing of a silicone and a micro electro mechanical system instead of a metal cavity and a lower thin film of the cavity with a rectangular parallelepiped type is made of a gold thin film and the thin film(200) of a ground plane covers the top of the lower thin film of the cavity. A film as the micro electro mechanical system is inserted between microstrip line(400) and the thin film(200) of top ground plane to maintain a direct way. And in an 1-slot cavity resonator, a signal from VCO is sent through the gold strip line(400) an electromagnetic wave mode in the cavity is made by an electromagnetic wave coupling of the strip line(400) and the cavity(500). In this coupling a slot(210) is used and the stable electromagnetic mode is sent to the strip line through the slot and is radiated through the antenna.

Abstract translation: 目的：提供一种空腔谐振器，以减少电磁波辐射MMIC（单片微波集成电路）VCO（压控振荡器）的相位噪声，用于接收反射型压力控制振荡器中的硅树脂微加工腔。 构成：空腔谐振器包括空腔（500），微带线（400）和狭槽（210）。 空腔（500）通过硅树脂和微机电系统的精细加工而不是金属空腔制成，并且具有长方体形状的空腔的下薄膜由金薄膜和薄膜（ 接地平面的200）覆盖空腔的下薄膜的顶部。 将微电子机械系统的薄膜插入到微带线（400）和顶部接地平面的薄膜（200）之间以保持直接的方式。 并且在1槽空腔谐振器中，来自VCO的信号通过金带线（400）发送，空腔中的电磁波模式由带状线（400）和空腔（500）的电磁波耦合构成， 。 在该耦合中，使用槽（210），并且通过该槽将稳定的电磁模式发送到带状线并通过天线辐射。

公开(公告)号：KR1019980031961A

公开(公告)日：1998-07-25

申请号：KR1019960051833

申请日：1996-10-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 백석순 ,  이승섭 ,  송기무

IPC: G01C19/00

Abstract: 본 발명은 주파수 특성 및 응답의 선형성이 향상된 새로운 튜닝 구조물을 이용한 마이크로자이로스코프에 관한 것이다. 본 발명에 따른 새로운 튜닝 구조의 마이크로자이로스코프는 관성 질량체을 지지하는 지지빔을 일자형의 단일빔 형태로 제작함으로써, 관성 질량체의 제작 오차가 발생하더라도 진동 모드가 변하지 않는 새로운 튜닝 구조를 이룬다. 따라서, 자이로스코프의 성능이 제작오차 등에 영향을 받지 않을 뿐 만 아니라 제작 오차에 의해서 생긴 에러를 보정하기 위하여 가진 및 감지회로가 복잡해지는 것을 막을수 있다. 또한 관성 질량체의 감지 진동이 감지 전극에 평행하므로 각속도 측정시 비선형성을 줄일 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019980031902A

公开(公告)日：1998-07-25

申请号：KR1019960051467

申请日：1996-10-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이승섭 ,  안승도 ,  송기무

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 실리콘 웨이퍼 새도우 마스크 및 이를 이용한 가속도 센서 구조물의 질량 증가 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 가속도 센서 구조물의 질량 증가 방법은 센서 구조물의 질량이 작으면 가속도에 대한 변위가 작아져서 가속도 감지 능력이 감소되는 것을 실리콘 웨이퍼 새도우 마스크를 이용하여 비중이 높은 금속을 증착하여 센서 구조물의 질량을 증가시킴으로써, 가속도에 대한 센서 구조물의 변위를 증가시켜 감도를 향상시킨다. 또한, 실리콘 웨이퍼 새도우 마스크 제작 방법은 실리콘 웨이퍼를 이방성 식각법으로 식각하여 정렬 패턴 및 금속을 증착할 패턴을 만들어 타겟 웨이퍼의 가속도 센서 구조물에 비중이 높은 금속을 용이하게 증착할 수 있는 잇점이 있다. 이와 같이, 본 발명은 마이크로머시닝 기술을 이용하여 저가격으로 대량 생산될 수 있다.

公开(公告)号：KR1019960042023A

公开(公告)日：1996-12-19

申请号：KR1019950013256

申请日：1995-05-25

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 이기방 ,  조영호 ,  송기무

IPC: G01H13/00

Abstract: 본 발명은 진동 구조물의 고유 진동수 조정 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 정전력이 가해지는 제1축방향에 길이 방향이 일치하는 스프링 부재(3), 상기 제1축 방향에 평면상 직교하는 제2축 방향에 길이 방향이 일치하며 상기 스프링 부재(3)의 폭보다 좁은 폭을 지니는 제2축 방향의 스프링 부재(2,3) 및, 질량체(5)를 구비하는 진동 구조물(24)의 고유 진동수 조정 방법에 있어서, 상기 진동 구조물(24)의 제1축 및 이에 수직으로 직교하는 제3축 방향에 대한 고유 진동수를 측정하는 측정 단계, 상기 제1축 방향의 고유 진동수를 고정시킨 상태에서 상기 제3축 방향의 고유 진동수를 조정할 수 있도록, 상기 제1축 방향의 스프링 부재(3)의 두께를 변화시키는 두께 증감 단계 및, 상기 측정 단계에서 측정된 제1축 및 제3축 방향의 고유 진동수가 허용 오차 범위내에 들어올때까지 상기의 측정 단계 및 두께 증감 단계를 반 복하는 반복 단계를 포함하는 진동 구조물(24)의 고유 진동수 조정 방법이 제공된다. 본 발명에 따른 2축 진동 구조물의 고유 진동수 조정 방법은 진동 구조물의 고유 진동수를 설계치에 일치되게 조정할 수 있도록 함으로써 센서의 감도 향상, 직선성 향상, 작동대역 폭의 증가를 가져오는 효과가 있다.