公开(公告)号：KR100546397B1

公开(公告)日：2006-01-26

申请号：KR1020030083042

申请日：2003-11-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정은국 ,  김준 ,  방석철 ,  안종선 ,  이상훈 ,  장우순 ,  김영준

IPC: H01L21/8238

CPC classification number: H01L21/823842 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/31144

Abstract: 씨모스 트랜지스터의 제조 방법을 제공한다. 본 발명은 반도체 기판 상에 게이트용 폴리실리콘막을 형성한 후, 상기 폴리실리콘막 상에 n-모스 트랜지스터 영역을 노출시키는 포토레지스트 패턴을 형성한다. 상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 상기 n-모스 트랜지스터 영역의 폴리실리콘막에 불순물을 이온주입하여 상기 폴리실리콘막의 상측 부분에 손상부를 발생시킨다. 상기 포토레지스트 패턴을 제거한 후, 상기 상측 부분에 손상부를 갖는 폴리실리콘막을 어닐링하여 상기 손상부를 경화부로 변경한다. 상기 폴리실리콘막을 패터닝하여 p-모스 트랜지스터 게이트 및 n-모스 트랜지스터 게이트를 형성한다. 상기 p-모스 트랜지스터 게이트 및 n-모스 트랜지스터 게이트가 형성된 반도체 기판을 불산(HF) 용액으로 세정함함으로써, 상기 n-모스 트랜지스터 게이트의 씨닝을 방지하는 것을 특징으로 한다.
씨모스 트랜지스터, 씨닝

公开(公告)号：KR1020050049154A

公开(公告)日：2005-05-25

申请号：KR1020030083042

申请日：2003-11-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정은국 ,  김준 ,  방석철 ,  안종선 ,  이상훈 ,  장우순 ,  김영준

IPC: H01L21/8238

CPC classification number: H01L21/823842 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/31144

Abstract: 씨모스 트랜지스터의 제조 방법을 제공한다. 본 발명은 반도체 기판 상에 게이트용 폴리실리콘막을 형성한 후, 상기 폴리실리콘막 상에 n-모스 트랜지스터 영역을 노출시키는 포토레지스트 패턴을 형성한다. 상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 상기 n-모스 트랜지스터 영역의 폴리실리콘막에 불순물을 이온주입한 후, 상기 포토레지스트 패턴을 제거한다. 상기 불순물 주입에 의해 n-모스 트랜지스터 영역의 손상된 폴리실리콘막을 어닐닝한 후, 상기 폴리실리콘막을 패터닝하여 p-모스 트랜지스터 게이트 및 n-모스 트랜지스터 게이트를 형성한다. 상기 p-모스 트랜지스터 게이트 및 n-모스 트랜지스터 게이트가 형성된 반도체 기판을 산소(O
2 )나 과산화수소가 포함되지 않는 세정액으로 세정하여 상기 n-모스 게이트의 씨닝을 방지하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR200143517Y1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR2019950012264

申请日：1995-05-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안종선

IPC: F25B37/00

Abstract: 본 고안은 리튬브로마이드수용액(Lithium Bromide Solution)을 이용하여 냉난방을 출력시키는 흡수식 냉난방기의 흡수 및 증발기에 관한 것으로써, 특히 냉매액을 증발시키는 증발기와, 상기 증발기의 일측에 설치되어 상기 증발기내에 냉수로 채워져 상기 응축기로부터 응축기에서 응축되고 팽창밸브를 거치면서 증발하기 쉬운 상태로 변환된 냉매가 유입되는 증발기와, 상기 증발기내에 냉수로 채워겨 상기 냉매와 열교환을 하는 증발전열관과, 상기 증발기 본체의 하부로부터 상부로 연결되어 상기 증발기내에서 증발되지 않은 냉매액을 펌프의 동력에 의해 증발기의 하부에서 상부로 순환시키는 순환배관과, 상기 증발기의 일측에 설치되어 상기 증발기에서 증발된 냉매증기를 흡수하여 발생기에서 분리된 농용액과 희석되어 희용액을 생성시키는 흡수기 와, 상기 흡수기내에 설치되어 흡수기내의 농용액과 열교환이 이루어지도록 설치된 용액 냉각용 전열관으로 이루어진 흡수식 냉난방기의 흡수 및 증발기에 있어서, 상기 순환배관(38)을 통해 순환되는 냉매액이 증발기내의 상부로부터 분사될 때, 상기 증발전열관(37)에 골고루 접촉되면서 상기 증발전열관(37)의 관군들의 상부에 다공질의 메쉬가 형성된 냉매액 분산부재(36)와, 상기 흡수기(40)내의 상기 용액냉각용 전열관(47)의 관군들의 상부에 다공질의 메쉬가 형성되어 상기 발생기(10)로부터 분리되어 나온 용액이 상기 용액 냉각용 전열관(47)에 골고루 분산되도록 다공질의 메쉬가 형성된 용액 분산부재를 포함함을 특징으로 하는 본 고안은 흡수식 냉난방기의 냉난방 효율 및 신뢰성을 보다 향상시킬 수 있는 것이다.

公开(公告)号：KR100189153B1

公开(公告)日：1999-06-01

申请号：KR1019970006033

申请日：1997-02-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 윤하용 ,  안종선

IPC: F04C18/324

Abstract: 본 발명은 공기조화기용 원심압축기에 관한 것으로, 그 목적은 냉매를 이용여 회전체의 회전를 지지하도록 하여 회전을 지지하기 위한 구조를 간단히 구성하는 것이다.
본 발명은, 흡입구(11)와 토출구(12)를 갖는 밀폐용기(10)를 포함한다. 밀폐용기(10)의 내부에는 흡입구(11)의 내측에 냉매를 가속하는 임펠러(31a)와 임펠러(31a)의 외곽에 마련되어 가속된 냉매가 확산되어 감속되도록 하는 디퓨져(31b)를 구비하여 냉매를 압축하는 제1압축부(31)와 토출구(12)의 내측에 마련되며 제1압축부(31)에서 압축된 냉매를 가속하는 임펠러(32a)와 가속된 냉매가 확산되어 감속되도록 하는 디퓨져(32b)를 구비하여 냉매를 재압축하는 제2압축부(32)로 이루어진 압축부(32)가 설치된다. 그리고 제1압축부(31)와 제2압축부(32)사이에는 전자기적 상호작용에 의하여 회전력을 발생시켜 임펠러(31a)(32a)를 회전지시는 구동부(20)가 설치된다. 구동부(20)는 회전자(22)와 고정자(21)를 구비하는데, 회전자(22)에는 양측에 제1압축부(31)와 제2압축부(32)의 임펠러(31a)(32a)가 각각 결합되는 회전축(23)이 일체로 설치된다. 고정자(21)와 회전자(22)는 냉매가 유입되어 일정압을 유지하여 회전자(22)의 회전을 지지하도록 소정간격 이격되게 배치된다.

公开(公告)号：KR100189134B1

公开(公告)日：1999-06-01

申请号：KR1019960053178

申请日：1996-11-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이인배 ,  이재헌 ,  안종선 ,  이인배

IPC: F28F1/32

Abstract: 본 발명은 핀형 열교환기에 관한 것으로, 그 목적은 열교환 핀의 일부가 기류와 맞부딪히도록 형성하여 열교환핀과 직접 열교환을 하도록 하는 열전달효율을 향상시키며 공기를 분산기켜 공기가 정체되지 않도록 하는 것이다.
본 발명에 따른 핀형 열교환기는, 열교환핀(10)상에 절편(30)을 설치하고 이 절편(30)을 기류와 맞부딪히도록 적절하게 벤딩한다. 따라서 핀(10)의 일부인 절편(30)과 공기가 직접 맞부딪혀서 직접 열교환을 행하도록 함으로써 열전달효과를 높인다. 그리고 절편(30)에 의한 구멍을 통하여 공기가 핀(10)의 양측을 자유롭게 유동하도록 함으로써 핀(10) 양측 기류의 양을 동일하게 한다. 이로써 기류의 유동 소음을 저감하고 난류화된 기류의 정체현상을 없애 기류의 유동이 원활하도록 한다.

公开(公告)号：KR200114909Y1

公开(公告)日：1998-04-18

申请号：KR2019940018126

申请日：1994-07-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이승갑 ,  안종선

IPC: F25B15/00

Abstract: 본 고안은 리튬브로마이드수용액(Lithium Bromide Solution)을 이용하여 냉난방을 출력시키는 흡수식 냉난방시스템에 관한 것으로써, 특히 희용액을 생성시키는 흡수기(40)와, 상기 흡수기(40)에서 생성된 희용액을 냉매증기와 농용액으로 분리시키는 발생기(10)와, 상기 발생기(10)에서 분리된 냉매증기를 냉매액으로 응축시키는 응축기(20)와, 상기 응축기(20)에서 응축된 냉매액을 증발시키는 증발기(30)로 이루어진 흡수식 냉난방시스템의 용액열교환장치에 있어서, 고온의 농용액과 저온의 희용액이 상호 열전달되도록 가열증발부(61)와 응결부(62)를 갖는 다수의 열전달수단(60)과, 상기 열전달수단(60)을 수용하며 상기 열전달수단(60)에 의해 농용액과 희용액이 열교환되도록 공간을 형성시키는 밀폐수단(70)과, 상기 밀폐수단(70)의 내부를 농용액공간부(71)와 희용 액 공간부(72)로 구획시키는 구획수단(80)으로 이루어져 냉난방효율을 보다 향상시킬 수 있고 시스템을 소형화할 수 있는 흡수식 냉난방시스템의 용액열교환장치에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR200114907Y1

公开(公告)日：1998-04-18

申请号：KR2019940024296

申请日：1994-09-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안종선

IPC: F25B15/00

Abstract: 본 고안은 리튬브로마이드수용액(Lithium Bromide Solution)을 이용하여 냉난방을 출력시키는 흡수식 냉난방기의 흡수기에 관한 것으로서, 흡수기 내부의 온도를 낮추도록 상기 흡수기의 내부를 관통하여 배설된 다수의 냉각파이프와, 발생기에서 발생된 농용액이 흡수기 내부를 지나가는 냉각파이프의 표면으로 흐르도록 상기 흡수기에 연통된 안내파이프를 구비한 흡수식 냉난방기의 흡수기에 있어서, 상기 안내파이프는 상기 흡수기의 내부 다수곳에서 상기 농용액이 상기 냉각파이프(43)를 향하여 분출되도록 다수개로 이루어지고, 상기 안내파이프(431)(432)(433)의 흡수기 측단부에는 상기 냉각파이프(43)의 표면으로 농용액의 액막두께가 얇게 흐르도록 상기 농용액을 분산시키는 용액분산부재(421)(422)(423)가 결합되어 있는 것을 특징으로 하며, 이와같이 구� ��되어 있으므로 흡수기에 다수의 용액분산부재가 배설되어서 냉각파이프의 표면을 흐르는 농용액의 액막두깨룰 얇게 하므로써 흡수기의 흡수효율을 향상시킬 수 있음과 동시에 냉난방효율을 보다 향상시킬 수 있다는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR2019950033927U

公开(公告)日：1995-12-18

申请号：KR2019940011021

申请日：1994-05-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안종선 ,  이승갑

IPC: F25B15/00

Abstract: 본고안은리튬브로마이드수용액(Lithium Bromide Solution)을이용하여냉방을출력시키는흡수식냉방기에관한것으로써, 특히회용액을생성시키는흡수기(70)와, 상기흡수기(70)에서생성된회용액을냉매증기와농용액으로분리시키는발생기(10)와, 상기발생기(10)에서분리된냉매증기를냉매액으로응축시키는응축기(20)와, 상기응축기(20)에서응축된냉매액이증발되는증발기(30)와, 상기증발기(30)와접속되어냉방을출력시키는냉방출력수단(60)으로이루어진흡수식냉방기에이어서, 상기응축기(20)에서응축된냉매액및 상기증발기(30)에서증발되지못한냉매액을예냉시킨후예냉된냉매액이상기증발기(30)로공급되도록상기증발기(30)와상기냉방출력수단(60) 사이에냉매예냉수단(50)이배설된것을특징으로하는흡수식냉방기에관한것으로증발기의증발효율이보다향상됨과동시에냉방효율을보다향상시킬수 있다는매우뛰어난효과가있는흡수식냉방기관한것이다.