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公开(公告)号:KR1020080057066A
公开(公告)日:2008-06-24
申请号:KR1020060130377
申请日:2006-12-19
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B41J2/14 , B41J2002/14419
Abstract: An inkjet head is provided to change pitch of the nozzle easily by including a common damper between nozzles and chambers. An inkjet head comprises an upper substrate(110) provided with an ink inlet and plural chambers to be filled with ink, an intermediate substrate(120) provided with a manifold(122) supplying ink to each chamber and a first damper(126) connected to the plural chambers, a lower substrate(130) provided with a second damper(136) connected to the first damper and plural nozzles(138) connected to the second damper, and an actuator(150) provided on the upper substrate to supply driving force for discharging ink, where at least one of the first and second dampers is a common flow path that is formed commonly to at least two of the nozzles.
Abstract translation: 提供喷墨头,通过在喷嘴和室之间包括公共阻尼器,容易地改变喷嘴的间距。 喷墨头包括设置有墨水入口的上部基板(110)和要填充墨水的多个室,设置有向每个室供应墨水的歧管(122)的中间基板(120)和连接到第一阻尼器(126)的第一阻尼器 设置有连接到第一阻尼器的第二阻尼器(136)和连接到第二阻尼器的多个喷嘴(138)的下基板(130),以及设置在上基板上以供应驱动的致动器(150) 用于排出油墨的力,其中第一和第二阻尼器中的至少一个是与至少两个喷嘴共同形成的公共流动路径。
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公开(公告)号:KR100662899B1
公开(公告)日:2007-01-02
申请号:KR1020040056845
申请日:2004-07-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/045
Abstract: 본 발명은, 잉크 공급원으로부터 잉크를 공급 받는 단계, 상기 단계에서 공급 받은 잉크로부터 잉크 방울(ink droplet)을 토출 시키기 위한 토출용 신호, 및 상기 잉크 방울이 토출된 이후에 발생되는 상기 공급 받은 잉크의 유동을 감쇠 시키기 위한 감쇠용 신호를 포함하는 구동신호를 생성하는 단계. 상기 구동신호에 대응하여 토출 에너지를 생성하는 단계, 상기 토출 에너지에 의해, 상기 공급 받은 잉크로부터 잉크 방울을 토출 시키는 단계를 포함하는 잉크젯 프린터용 기록 헤드 구동 방법 및 이 구동 방법을 이용하는 잉크젯 프린터용 기록 헤드의 구동 장치이다. 본 발명에 따르면, 잉크 방울 토출신호로 인하여 발생되는 잉크의 유동으로 발생된 크로스 토크를 감쇠시킬 수 있는 효과가 있다.
잉크젯, 구동, 노즐, 크로스 토크-
公开(公告)号:KR1020060123908A
公开(公告)日:2006-12-05
申请号:KR1020050045561
申请日:2005-05-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/52 , H01L21/67253
Abstract: A method for setting a PM(Preventive Maintenance) cycle for diffusion equipment is provided to prevent occurrence of process errors due to impurities or reduction of thickness of a deposition layer by setting a main PM cycle according to the thickness of the deposition layer. A deposition layer is formed on a semiconductor substrate by using diffusion equipment an inner tube, an outer tube surrounding the inner tube, and components connected with the outer tube(S10). A preliminary PM cycle is set to perform a PM operation of the inner tube(S20). A main PM cycle is set to perform PM operations of the outer tube and the components connected with the outer tube(S30). In the process for setting the preliminary PM cycle, the preliminary PM cycle is set according to the amount of impurities includes in the deposition layer.
Abstract translation: 提供了一种用于设定用于扩散设备的PM(预防性维护)循环的方法,以通过根据沉积层的厚度设置主PM循环来防止由于杂质或沉积层的厚度减小而发生工艺误差。 通过使用扩散装置,内管,围绕内管的外管和与外管连接的部件,在半导体基板上形成沉积层(S10)。 初始PM循环被设定为执行内管的PM操作(S20)。 主PM循环被设置为执行外管和与外管连接的部件的PM操作(S30)。 在设定初始PM循环的过程中,根据沉积层中的杂质量来设定初始PM循环。
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公开(公告)号:KR1020060090456A
公开(公告)日:2006-08-11
申请号:KR1020050010991
申请日:2005-02-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/175
CPC classification number: B41J2/17593
Abstract: 잉크 공급 장치와 이를 구비한 잉크젯 프린트헤드 패키지가 개시된다. 개시된 잉크 공급 장치는, 예열 플레이트와, 잉크 리저버와, 압력 조절 필름과, 평판형의 예열 히터를 구비한다. 예열 플레이트에는 제1 잉크 인렛과 제1 잉크 아웃렛을 가진 잉크 통로가 마련된다. 잉크 리저버는 잉크 수용 공간과. 제1 잉크 아웃렛으로부터 잉크 수용 공간으로 잉크를 유입하기 위한 제2 잉크 인렛과. 잉크 수용 공간으로부터 프린트헤드 칩으로 잉크를 공급하기 위한 제2 잉크 아웃렛을 포함한다. 압력 조절 필름은 잉크 수용 공간을 덮도록 잉크 리저버의 표면에 부착된다. 예열 히터는 예열 플레이트와 잉크 리저버 사이에 배치되어 이들과 각각 열적으로 접촉된다. 그리고, 개시된 프린트헤드 패키지는, 상기한 구성을 가진 잉크 공급 장치와, 제2 잉크 아웃렛과 연결되는 잉크 공급구를 가진 프레임과, 프레임의 저면에 장착된 프린트헤드 칩을 구비한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 높은 효율로 잉크를 충분히 가열할 수 있어서 고점도의 잉크에 대해서도 우수한 잉크 토출 성능을 얻을 수 있으며, 프린트헤드 칩에 공급되는 잉크의 압력이 균일하게 유지되므로 안정된 잉크 토출 성능을 얻을 수 있다.
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公开(公告)号:KR100590558B1
公开(公告)日:2006-06-19
申请号:KR1020040079959
申请日:2004-10-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1646 , B41J2002/14419
Abstract: 크로스토크를 감소시킬 수 있는 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드와 그 제조방법이 개시되어 있다. 개시되어 있는 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드는 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터; 상기 압전 액츄에이터가 상면에 설치되고, 잉크가 도입되는 잉크 도입구가 관통 형성되며, 토출될 잉크가 채워지는 압력 챔버와 상기 압력 챔버의 폭보다 작은 폭으로 상기 압력 챔버에서 연장되는 제 1 리스트릭터가 그 저면에 형성되는 상부 기판; 상기 잉크 도입구와 연결되어 유입된 잉크가 저장되는 매니폴드가 그 저면으로부터 소정 깊이로 형성되고, 상기 제 1 리스트릭터와 연계하여 상기 매니폴드로부터 상기 압력 챔버로 잉크가 유입되도록 하는 제 2 리스트릭터가 상기 제 1 리스트릭터와 연결 형성되며, 상기 압력 챔버의 타단부에 대응되는 위치에 댐퍼가 관통 형성된 중간 기판; 및 상기 댐퍼와 대응되는 위치에 잉크를 토출하기 위한 노즐이 관통 형성된 하부 기판;을 구비하며, 상기 하부 기판, 중간 기판 및 상부 기판은 순차적으로 적층되어 서로 접합되며, 모두 단결정 실리콘 기판으로 이루어진다. 개시되어 있는 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법에 의하면, 중간 기판의 저면을 가공하여 매니폴드를 형성하고 이를 압력 챔버의 하부에 설치함으로써 매니폴드의 폭을 용이하게 증가시킬 수 있다. 따라서, 매니폴드의 체적이 증가되어 다수 노즐에서 동시에 잉크가 토출될 때 인접한 리스트릭터 사이에 발생되는 크로스토크가 저감될 수 있는 효과가 있다. 또한, 매니폴드의 단면적이 증가되어 재충전 과정에서 잉크 공급 유량이 증 대되므로 고주파수의 토출 시에도 안정적인 작동이 가능한 장점이 있다.
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公开(公告)号:KR1020050087929A
公开(公告)日:2005-09-01
申请号:KR1020040013642
申请日:2004-02-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/045
Abstract: 잉크젯 프린트헤드의 구동 방법이 개시된다. 개시된 프린트헤드의 구동 방법에 있어서, 액츄에이터에 인가되는 구동 펄스는, 잉크 액적을 토출시킬 수 있는 정도의 주 전위(Vm)로 인가되는 주 펄스와, 주 펄스보다 소정 시간 전에 주 전위(Vm)보다 낮은 예비 전위(Vp)로 인가되는 예비 펄스를 구비한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 예비 펄스의 T1, T2 및 T3 구간과, 예비 펄스와 주 펄스 사이의 T4 구간을 적절히 조절함으로써, 노즐을 통해 토출되는 액적의 속도와 체적을 효과적으로 증가 또는 감소시킬 수 있다.
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公开(公告)号:KR1020050087642A
公开(公告)日:2005-08-31
申请号:KR1020040013567
申请日:2004-02-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/14137 , B41J2/14233 , B41J2/162 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646
Abstract: 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드와 그 노즐 플레이트의 제조 방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 토출될 잉크가 채워지는 다수의 압력 챔버를 포함하는 잉크 유로가 형성된 유로 플레이트와, 유로 플레이트의 상부에 형성되어 다수의 압력 챔버 각각에 잉크 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터와, 유로 플레이트에 접합되며 다수의 압력 챔버로부터 잉크를 토출하기 위한 다수의 노즐이 관통 형성된 노즐 플레이트와, 노즐 플레이트의 저면에 형성되어 잉크 유로 내부의 잉크를 가열하는 히터를 구비한다. 그리고, 노즐 플레이트의 저면 또는 유로 플레이트의 상부에는 잉크의 온도를 검출하기 위한 온도 검출부가 형성될 수 있다. 또한, 노즐 플레이트의 저면에는 노즐의 출구 둘레에 노즐금속층과 소수성 도금막이 형성될 수 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 잉크를 가열하기 위한 히터가 노즐 플레이트에 일체로 형성된 구조를 가지므로, 그 제조가 비교적 간단할 뿐만 아니라 프린트헤드 내부의 잉크를 균일한 온도로 가열할 수 있게 된다.
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公开(公告)号:KR1020040073120A
公开(公告)日:2004-08-19
申请号:KR1020030009098
申请日:2003-02-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/295
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a piezoelectric ink-jet print head is provided to simplify a process, improve a union between substrates, and exactly arrange an ink passage by forming the ink passage through a micro processing technique. CONSTITUTION: An upper substrate(100), a middle substrate(200), and a lower substrate(300) including a single crystal silicon substrate are prepared. The middle substrate(200) is coupled with the lower substrate through SDB. The structure of the middle substrate and the lower substrate is processed finely. The middle substrate(200) has a restrictor, a reservoir, and a damper. The lower substrate(300) has a nozzle connected to a nozzle. The upper substrate(100) is coupled with the middle substrate through SDB. A piezoelectric actuator is formed on the upper substrate(100).
Abstract translation: 目的:提供一种压电喷墨打印头的制造方法,以简化工艺,改善基板之间的联接,并通过微加工技术形成油墨通道来精确地布置油墨通道。 构成:制备包括单晶硅衬底的上基板(100),中间基板(200)和下基板(300)。 中间基板(200)通过SDB与下基板连接。 中间基板和下基板的结构被精细加工。 中间基板(200)具有限流器,储存器和阻尼器。 下基板(300)具有连接到喷嘴的喷嘴。 上衬底(100)通过SDB与中间衬底耦合。 在上基板(100)上形成压电致动器。
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公开(公告)号:KR100359103B1
公开(公告)日:2002-11-04
申请号:KR1019990021342
申请日:1999-06-09
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 정재우
IPC: B41J2/16
Abstract: 본발명은잉크젯프린터헤드용노즐의발수처리방법에있어서, 진공증착을통해상기노즐의표면에만선택적으로발수층을형성하되, 상기발수층으로다이아몬드유사탄소(Diamond-like carbon)막을형성하여전처리공정이필요하지않아공정이간단하고균일성및 내마모성이우수한것을특징으로하는잉크젯프린터헤드용노즐의발수처리방법에관한것으로, 노즐의후면에발수층이형성되는것을방지하기위한전처리공정이필요하지않아공정이간단하여생산성및 양산성이우수하고, 전처리공정에서야기되는노즐구멍크기의불균일성, 노즐구멍의막힘및 변형등을배제하여수율이향상되며, 우수한직진성에의하여노즐내부에균일한코팅층이형성되므로잉크의분사성능이향상되고, 발수층의우수한내마모성으로인하여잉크젯프린터헤드의신뢰성이향상된다.
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公开(公告)号:KR100335436B1
公开(公告)日:2002-06-20
申请号:KR1019980063153
申请日:1998-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 정재우
IPC: H04N19/147
Abstract: 본 발명은 영상 압축 방법에 있어서 레이트-왜곡(rate-distortion) 개념에 근거하여 제한된 비트 레이트(bit-rate)에서 효과적으로 양자화 스텝 사이즈를 결정하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 양자화 스텝 사이즈 결정 방법은 프레임 혹은 피일드 화면을 복수의 블록화된 화면들로 분할하고, 블록화된 화면들을 각각에 주어진 화면 양자화 스텝 사이즈에 따라 압축 양자화하는 방법에 있어서, (a) 블록화된 화면들에 동일하게 적용하여 상기 화면을 압축 양자화한 결과로 산출되는 비트레이트가 양자화기에 주어진 최대 허용 비트 레이트보다 적게 되는 초기 양자화 스텝 사이즈를 결정하는 과정; 및 (b) 상기 양자화기에 주어진 최대 허용 비트레이트를 만족하는 범위에서 높은 복잡도를 가지는 블록화된 화면들로부터 낮은 복잡도를 가지는 블록화된 화면의 순서로 각 블록화된 화면들의 양자화 스텝 사이즈를 변경하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 양자화 스텝 사이즈 결정 방법에 따르면 제한된 비트 레이트에서 최적의 비트 할당을 수행할 수 있으며 또한 계산량 및 시간을 최소화할 수 있다.
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