Abstract:
본 발명에 의한 반도체 소자 제조방법은, 반도체 기판 상에 패드 산화막과 산화방지막 및 고온산화막을 순차적으로 형성하는 공정과; 비활성영역의 상기 고온산화막과 상기 산화방지막 및 상기 패드 산화막의 일부를 순차적으로 식각하여 비활성영역에 패드 산화막을 소정 두깨 잔존시키는 공정과; 상기 고온산화막과 상기 산화방지막 측벽에 산화가능막 재질의 스페이서를 형성하고, 이를 마스크로 이용하여 상기 잔존 패드 산화막을 제거하는 공정과; 상기 스페이서가 산화될 때까지 산화 공정을 실시하여 상기 기판의 표면 노출부에 열산화막을 형성하는 공정과; 상기 고온산화막과 상기 산화방지막을 마스크로 이용한 이방성 식각 공정으로 비활성영역의 상기 열산화막과 상기 고온산화막을 동시에 제거하는 공정과; 상기 산화방지막을 마스크로 이용하여 상기 기판을 소정 두께 식각하여 트랜치를 형성하는 공정과; 상기 트랜치의 내부 계면을 따라 제 1 절연막을 형성하는 공정과; 상기 트랜치 내부를 포함한 상기 산화방지막 상에 제 2 및 제 3 절연막을 순차적으로 형성하는 공정과; 에치백 공정과 CMP 공정을 이용하여 상기 산화방지막이 소정 두께 잔존되도록 상기 제 2 및 제 3 절연막을 평탄화하는 공정으로 이루어져, STI의 양 에지부를 활성영역의 기판 표면보다 높게 가져갈 수 있게 되므로, 활성영역과 비활성영역의 경계면에서 발생되는 반도체 소자의 특성 열화를 막을 수 있게 된다.
Abstract:
본 발명에 의한 반도체 소자 제조방법은, 반도체 기판의 표면이 소정 부분 노출되도록, 상기 기판 상의 활성영역에 패드 산화막과 산화방지막 및 감광막 패턴을 순차적으로 형성하는 공정과; 열처리 공정을 이용하여 상기 감광막 패턴을 상기 산화방지막과 상기 패드 산화막의 측벽에 플로우시키는 공정과; 열처리 공정에 의해 플로우된 상기 감광막 패턴을 마스크로 이용하여 상기 기판의 표면 노출부를 소정 두께 식각하여 트랜치를 형성하는 공정과; 상기 트랜치 내부의 계면을 따라 절연막을 형성하는 공정과; 상기 트랜치 내부를 포함한 상기 산화방지막 상에 제 1 및 제 2 USG를 순차적으로 형성하는 공정과; 상기 산화방지막의 표면이 노출될 때까지 상기 제 1 및 제 2 USG를 CMP 처리하는 공정; 및 활성영역의 상기 산화방지막과 상기 패드 산화막을 제거하는 공정으로 이루어져, STI의 양 에지부를 활성영역의 기판 표면보다 높게 가져가는 것이 가능하게 되므로, 활성영역과 비활성영역의 경계면에서 발생되는 반도체 소자의 특성 열화(예컨대, 강한 전계 집중으로 인한 게이트 절연막의 열화와 잔존 폴리실리콘으로 인한 반도체 소자의 원하지 않는 특성 유발)를 막을 수 있게 된다.
Abstract:
본발명의다양한실시예에따른전자장치는, 전자장치와통신가능한범위에위치하는적어도하나의주변전자장치로장치정보를요청하여수신하는통신모듈및 컨텐츠제공이벤트가발생하면컨텐츠정보를이용하여컨텐츠의속성을분석하고, 장치정보를이용하여주변전자장치의속성을분석하며, 컨텐츠의속성분석결과및 주변전자장치의속성분석결과에기초하여사용자에게컨텐츠를제공할적어도하나의장치를결정하는제어모듈을포함할수 있다. 또한, 다른실시예도가능하다.
Abstract:
PURPOSE: A test mode control circuit in semiconductor memory device and a test mode entering method thereof are provided to prevent the entrance of a test mode even if noise or user fault exists in normal usage. CONSTITUTION: In a test mode control circuit in semiconductor memory device and a test mode entering method thereof, a latch unit(120) latches a test command. A real entrance signal detection unit(130) detects the supply of a real entrance signal which secure whether a test command is normal or not. An entrance determination unit(140) generates an entrance determination signal. The entrance determination signal indicates the entrance of a test mode correspond to the test command. A mode control signal generator(150) generates a test mode control signal when the entrance determination signal is activated.
Abstract:
PURPOSE: A method and a device for decoding an image based on a skip mode are provided to easily decode the same block as a previously decoded block using a pixel value of the previously decoded block. CONSTITUTION: A skip mode decoding unit sets pixel values(1322) about color component#1 among pixel values of a current block equal to pixel values(1312) of color component#1 of a previously decoded block. The decoding unit sets pixel values(1324) about color component#2 among the pixel values of the current block equal to pixel values(1314) of color component#2 of the previously decoded block. The decoding unit sets pixel values(1326) about color component#3 among the pixel values of the current block equal to pixel values(1316) of color component#3 of a previously decoded block.