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公开(公告)号:KR102139286B1
公开(公告)日:2020-07-30
申请号:KR1020180171059
申请日:2018-12-27
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 알에스오토메이션주식회사
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公开(公告)号:KR101772084B1
公开(公告)日:2017-08-28
申请号:KR1020150107555
申请日:2015-07-29
Applicant: 엘지전자 주식회사 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: A47L9/2805 , A47L9/19 , A47L9/2842 , A47L9/2852 , A47L2201/04 , G05D1/0253 , G05D2201/0215 , G06T7/579
Abstract: 본발명은자율주행을수행하는청소기와관련된것으로서, 흡입구가구비된본체, 상기본체내부에구비되어, 상기흡입구를통해청소대상물을흡입시키는청소부, 상기본체를이동시키는구동부, 상기본체에부착되어제1 영상을촬영하는카메라센서, 상기본체의이동과관련된정보를감지하는동작감지센서; 및상기촬영된영상및 상기이동과관련된정보중 적어도하나에근거하여, 장애물과관련된정보를검출하고, 상기검출된장애물과관련된정보에근거하여, 상기구동부를제어하는제어부를포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号:KR1020170051835A
公开(公告)日:2017-05-12
申请号:KR1020150153238
申请日:2015-11-02
Applicant: 에스케이텔레콤 주식회사 , 서울대학교산학협력단
IPC: B81B7/00 , B81B7/02 , B81C1/00 , H01L21/768
Abstract: 본실시예는복수의희생층을이용함으로써구조층과희생층간의상호작용을조절하고구조층이받는영향을최소화할수 있는멤스구조물및 그제조방법을제공한다.
Abstract translation: 本实施例提供了一种MEMS结构及其制造方法,其可以通过使用多个牺牲层来控制结构层和牺牲层之间的相互作用并且使结构层的影响最小化。
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公开(公告)号:KR101725793B1
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:KR1020140149552
申请日:2014-10-30
Applicant: 에스케이텔레콤 주식회사 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: H01J49/424 , G06N99/00 , G06N99/002 , H01J3/40 , H01J9/14
Abstract: 본발명의실시예는기판의상측또는하측에제1 RF 전극레일, 제2 RF 전극레일, 하나이상의제1 DC 전극및 하나이상의제2 DC 전극을포함하는이온트랩장치에있어서, 상기기판은상기이온트랩장치의폭 방향을기준으로일측과타측이일정거리이격되어분리된공간에이온트랩영역을형성하고, 상기제1 RF 전극레일및 상기제2 RF 전극레일은상기이온트랩장치의길이방향으로나란하게배치되고, 상기일측상부에상기제1 RF 전극레일이위치하고, 상기일측하부에상기하나이상의제2 DC 전극이위치하고, 상기타측상부에상기하나이상의제1 DC 전극이위치하고, 상기타측하부에상기제2 RF 전극레일이위치하고, 상기기판의일측또는타측의외측면에서상기트랩영역으로연결된레이저관통로를구비하는이온트랩장치및 그제작방법을제공한다.
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公开(公告)号:KR101725788B1
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:KR1020140150078
申请日:2014-10-31
Applicant: 에스케이텔레콤 주식회사 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G06N99/002 , H01J3/00 , H01J49/0018 , H01L49/006
Abstract: 본발명의실시예는, 반도체기판상에 DC 연결패드, 및상기 DC 연결패드에연결된 DC 레일을포함하는하나이상의중앙 DC전극; 상기 DC 레일에인접하여위치하는하나이상의 RF 레일, 및상기하나이상의 RF 레일에연결된 RF 패드를포함하는 RF 전극; 상기 RF 전극을기준으로상기 DC전극반대측에위치하는하나이상의측방전극패드를포함하는하나이상의측방전극; 및상기반도체기판상부에각 전극중에서적어도하나의전극을지지하는절연층을포함하고, 상기절연층은제1 절연층과상기제1 절연층의상부에위치하는제2 절연층을포함하고, 상기제2 절연층은폭 방향으로상기제1 절연층보다돌출된돌출부(Overhang)를갖는이온트랩장치및 그제작방법을제공한다.
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公开(公告)号:KR1020170004405A
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:KR1020150094708
申请日:2015-07-02
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 알에스오토메이션주식회사
IPC: H02P29/00
Abstract: 본발명의일 실시예는전류명령을발생시키는서보제어기에서발생된전류명령으로부터공진및 공진억제를감지하는공진감지기, 상기전류명령의주파수를추정하는주파수추정기및 상기주파수추정기에의해추정된주파수를노치주파수로하여상기전류명령을필터링하는적응노치필터를포함하는적응노치필터를이용한서보시스템의자동공진억제장치를개시한다. 또한다른일 실시예는서보제어기에서발생된전류명령으로부터공진을감지하는단계, 상기전류명령의주파수를추정하는단계및 상기주파수추정기에의해추정된주파수를적응노치필터의노치주파수로하여상기전류명령을필터링하는단계를포함하는적응노치필터를이용한서보시스템의자동공진억제방법을개시한다.
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公开(公告)号:KR2020160002097U
公开(公告)日:2016-06-17
申请号:KR2020160002498
申请日:2016-05-10
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: B01L3/00
CPC classification number: B01L3/502761 , B01L2200/027 , B01L2200/06 , B01L2300/0819 , B01L2300/0861
Abstract: 본발명은미세유체장치인액적발생기를이용하여일종이상의액적원료물질로부터질량, 크기및 조성비별로다양한액적을균일하게생성하고, 액적분류기를이용하여생성된액적을질량, 크기및 조성비별로자동으로실시간분류하는액적생성및 자동분류통합장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른액적생성및 자동분류통합장치는, 하나이상의액적원료물질을결합하여액적을생성하는액적발생기; 및상기액적발생기에서생성된상기액적을액적제어유체의흐름또는유로구조를이용하여, 질량, 크기또는조성비별로분류하는액적분류기를포함하며, 상기액적발생기와상기액적분류기는공간적으로서로연결된다.
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60.이온 트랩 구조를 관통하는 레이저 사용을 위한 MEMS 기반 3차원 이온트랩 장치 및 그 제작 방법 有权
Title translation: 使用激光穿透芯片结构的基于MEMS的离子阱装置及其制造方法公开(公告)号:KR1020160053099A
公开(公告)日:2016-05-13
申请号:KR1020140149552
申请日:2014-10-30
Applicant: 에스케이텔레콤 주식회사 , 서울대학교산학협력단
CPC classification number: H01J49/424 , G06N99/00 , G06N99/002 , H01J3/40 , H01J9/14 , H01J3/00 , H01J49/0018 , H01J49/422 , H04B10/70 , H04L9/12
Abstract: 본발명의실시예는기판의상측또는하측에제1 RF 전극레일, 제2 RF 전극레일, 하나이상의제1 DC 전극및 하나이상의제2 DC 전극을포함하는이온트랩장치에있어서, 상기기판은상기이온트랩장치의폭 방향을기준으로일측과타측이일정거리이격되어분리된공간에이온트랩영역을형성하고, 상기제1 RF 전극레일및 상기제2 RF 전극레일은상기이온트랩장치의길이방향으로나란하게배치되고, 상기일측상부에상기제1 RF 전극레일이위치하고, 상기일측하부에상기하나이상의제2 DC 전극이위치하고, 상기타측상부에상기하나이상의제1 DC 전극이위치하고, 상기타측하부에상기제2 RF 전극레일이위치하고, 상기기판의일측또는타측의외측면에서상기트랩영역으로연결된레이저관통로를구비하는이온트랩장치및 그제작방법을제공한다.
Abstract translation: 本发明的实施例提供一种离子阱装置及其制造方法。 离子阱装置包括第一RF电极轨,第二RF电极轨,至少一个第一DC电极和至少一个第二DC电极,位于衬底之上或之下。 离子阱区域形成在由离子阱装置的宽度方向彼此隔开一定距离的衬底的一侧和另一侧限定的分离空间中。 第一RF电极轨道和第二RF电极轨道在离子阱装置的长度方向上彼此平行地设置。 第一RF电极轨设置在衬底的一侧之上。 所述至少一个第二直流电极设置在所述基板的一侧的下方。 所述至少一个第一DC电极设置在所述衬底的另一侧之上,并且所述第二RF电极轨设置在所述衬底的另一侧下方。 激光穿透路径从衬底的一侧或另一侧的外表面延伸到离子阱区域。
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