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公开(公告)号：KR200454423Y1
公开(公告)日：2011-07-04
申请号：KR2020080017033
申请日：2008-12-23
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 고안은 내시경용 카테터가 삽입되어지는 개선된 유도관 구조에 관한 것으로, 본 고안에 따르면, 내시경이 삽입되어 형성된 제1 유도관; 상기 튜브의 상측부에 형성되고, 카테터가 삽입되는 카테터 삽입구; 카테터가 삽입되어 유도되는 제2 유도관; 및 상기 카테터 삽입구 근방에 형성된 액체 투입구를 포함하고, 상기 액체 투입구로부터 투입된 액체는 상기 제2 유도관을 통해 흐르는 것을 특징으로 하는 내시경용 튜브가 제공된다.
상기 구조에 따르면, 제2 유도관에 카테터가 유지된체로 액체 투입관으로 세정액을 투입할 수 있기 때문에, 카테터를 세정하기 위해 카테터를 꺼내는 번거로움이 제거될 수 있다.
유도관, 카테터, 내시경, 산도 측정Abstract translation: 根据本发明，提供了一种改进的引导管结构，其包括：第一引导管，其中插入有内窥镜;第二引导管， 导管插入口，其形成在管的上侧并且导管插入其中; 第二导管插入并引导导管; 并且在导管插入口附近形成的液体入口和从液体入口注入的液体流过第二感应管。
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公开(公告)号：KR1020100073489A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：KR1020080132183
申请日：2008-12-23
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A capsule type diagnosis apparatus is provided to easily eliminate a foreign material attached on a sensing unit or a lens unit of an external capsule housing by transferring a vibration of a vibration element to a capsule housing. CONSTITUTION: A lighting unit(120) lights a predetermined point of internal. An image sensor(130) acquires an image of a lighted point by the lighting unit. The image sensor is a CCD or a CMOS image sensor. A controller(150) controls the image sensor. A communication unit(160) transmits a signal of the image sensor to the outside. A vibrator(140) is connected to an inner surface of the capsule housing. The vibrator generates a vibration according to an external command. A power supply unit supplies a power source to a capsule type diagnosis apparatus.
Abstract translation: 目的：提供胶囊型诊断装置，通过将振动元件的振动传递到胶囊壳体，容易地消除附着在感测单元或外部胶囊壳体的透镜单元上的异物。 构成：照明单元（120）点亮内部的预定点。 图像传感器（130）通过照明单元获取点亮图像。 图像传感器是CCD或CMOS图像传感器。 控制器（150）控制图像传感器。 通信单元（160）将图像传感器的信号发送到外部。 振动器（140）连接到胶囊壳体的内表面。 振动器根据外部命令产生振动。 电源单元向胶囊型诊断装置供给电源。
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公开(公告)号：KR100896465B1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：KR1020070113906
申请日：2007-11-08
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L5/228 , G01L1/18 , G01L1/205 , G01L1/2231
Abstract: 본 발명은 플렉서블 촉각 센서 모듈 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 촉각 센서의 전극 라인과 연결된 단자가 평면 케이블 형태로 촉각 센서와 함께 제조되기 때문에, 촉각 센서 모듈을 제작한 후에 제어부와 연결된 커넥터 소켓에 삽입하여, 쉽게 사용할 수 있는 장점이 있다.
그리고, 본 발명은 제어부와 신호처리를 위해 별도의 패키징 공정이 필요하지 않은 장점이 있다.
또한, 본 발명은 연성 평면 케이블(Flexible Flat Cable, FFC)과 같은 형태로, 신호처리 접속부가 구비된 플렉서블 촉각 센서 모듈을 구현할 수 있으므로, 다양한 지지물에서 촉각 센서 모듈을 접착시켜 외부 물체와의 접촉 압력을 감지할 수 있는 장점이 있다.
촉각, 센서, 단자, 도금, 신호, 소켓-
公开(公告)号：KR1020090047845A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：KR1020070113906
申请日：2007-11-08
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L5/228 , G01L1/18 , G01L1/205 , G01L1/2231
Abstract: 본 발명은 플렉서블 촉각 센서 모듈 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 촉각 센서의 전극 라인과 연결된 단자가 평면 케이블 형태로 촉각 센서와 함께 제조되기 때문에, 촉각 센서 모듈을 제작한 후에 제어부와 연결된 커넥터 소켓에 삽입하여, 쉽게 사용할 수 있는 장점이 있다.
그리고, 본 발명은 제어부와 신호처리를 위해 별도의 패키징 공정이 필요하지 않은 장점이 있다.
또한, 본 발명은 연성 평면 케이블(Flexible Flat Cable, FFC)과 같은 형태로, 신호처리 접속부가 구비된 플렉서블 촉각 센서 모듈을 구현할 수 있으므로, 다양한 지지물에서 촉각 센서 모듈을 접착시켜 외부 물체와의 접촉 압력을 감지할 수 있는 장점이 있다.
촉각, 센서, 단자, 도금, 신호, 소켓-
公开(公告)号：KR100855603B1
公开(公告)日：2008-09-01
申请号：KR1020050022853
申请日：2005-03-18
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01L1/18
Abstract: 본 발명은 촉각 센서 및 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 압저항을 형성한 SOI 기판과 공동을 형성한 유리 기판을 마주 보게 접합하고, 공동이 형성된 유리 기판의 반대면와 연성회로 기판을 범프 본딩으로 접합하는 촉각 센서 및 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 촉각 센서는 외부 접촉력에 의하여 변형되는 다이아프램과 상기 다이아프램으로부터 발생한 응력을 감지하기 위한 압저항이 형성된 SOI기판부; 상기 SOI 기판부에 형성된 상기 다이아프램이 변형될 수 있도록 형성된 공동과 상기 압저항에서 발생한 전기신호를 하기 유연회로 기판부로 출력하기 위한 도전성 전기 배선금속이 형성된 유리 기판부; 및 상기 유리 기판부에 형성된 상기 도전성 전기 배선금속과 연결되어 상기 전기신호를 외부로 출력하기 위한 유연회로 기판부로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 촉각 센서 및 제조 방법은 하부 유리 기판과 상부 SOI 웨이퍼를 각각 독립적으로 제작하고 접합 특성이 우수한 유리-실리콘 접합 기술로 정밀하고 미세한 공동을 제작하여 다이아프램의 변형을 예방하고, 접촉력 전달기둥이 다이아프램 상부에 위치하여 X, Y, Z 축의 접촉력을 감지할 수 있는 3축 촉각 감지가 가능하며, 범프 본딩이 가능하여 와이어 본딩 공정이 필요 없으며, 촉각 감지소자부 상면에 전기배선 금속이 없으므로 촉각 감지소자들을 분리할 수 있어 연성회로 기판의 사용으로 곡면에서도 촉각을 감지할 수 있는 효과가 있다.
촉각 센서, 압저항Abstract translation: 本发明的触摸传感器和涉及一种制造方法，更具体地，压电电阻器上的SOI衬底和脸看起来接合的玻璃基板，以形成空腔，并且该空腔针对myeonwa FPCB玻璃形成的基片的凸点焊接，以形成一个 及其制造方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100816660B1
公开(公告)日：2008-03-27
申请号：KR1020050025703
申请日：2005-03-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01L1/18
Abstract: 본 발명은 촉각 센서 및 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 과대 접촉력에 대한 파손 예방과 X, Y, Z의 3축 접촉력을 동시에 측정할 수 있는 촉각 센서 및 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 초각 센서는 외부로부터의 촉각을 접촉하기 위하여 SOI기판상에 형성된 접촉력 전달매체; 상기 접촉력 전달매체의 접촉력을 전달하기 위한 접촉력 전달기둥; 상기 접촉력 전달기둥으로부터 소정의 거리로 이격된 곳에 형성되어 감도 손실을 최소로 하기 위한 과대 접촉력 파손방지 기둥; 상기 과대 접촉력 파손방지 기둥 하부에 위치하며 상기 접촉력 전달기둥으로부터 전달받은 접촉력의 크기에 따라 변형되어 응력을 발생하기 위한 다이아프램; 상기 다이아프램내에 형성되어 상기 응력을 저항으로 변환하기 위한 압저항; 상기 압저항에서 변환된 전기적 신호가 출력하기 위하여 상기 SOI 기판의 하부 산화막에 형성된 감지부 도전성 전기 배선 금속을 포함하는 촉각 감지 기판부; 및 상기 촉각 감지 기판부에서 출력된 전기 신호를 외부로 출력하기 위하여 연성회로 기판과 상기 감지부 도전성 배선 금속과 전기적으로 연결된 기판부 도전성 전기 배선을 포함하는 연성회로 기판부를 포함하는 촉각 센서에 의해 달성된다.
따라서, 본 발명의 촉각 센서 및 제조 방법은 정밀한 건식식각으로 다이아프램의 정의를 정확히 하여 칩의 크기를 줄이고, 촉각 감지 기판부와 연성회로 기판부와의 간격 조절을 솔더링에 의해 조절하며, 접촉력 전달기둥이 다이아프램 상부에 위치하여 X, Y, Z 축의 접촉력을 감지할 수 있는 3축 촉각 감지가 가능하며, 범프 본딩이 가능하여 와이어 본딩 공정이 필요 없으며, 촉각 감지 기판부 상면에 전기배선 금속이 없으므로 촉각 감지소자들을 분리할 수 있어 연성회로 기판의 사용으로 곡면에서도 촉각을 감지할 수 있는 효과가 있다.
촉각 센서, 압저항-
公开(公告)号：KR1020070105579A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：KR1020060037880
申请日：2006-04-27
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: A tactile sensor array and a method for manufacturing the same are provided to form a metal interconnection on a polymer layer provided with a tactile sensor so that the tactile sensor makes contact with a driving circuit without an additional printed circuit board. A polymer layer is formed on a substrate. The first metal interconnection and a deformation detector are provided at the upper portion of the polymer layer. A photoresist layer is formed on the entire surface of the polymer layer. The photoresist layer is patterned such that a contact hole is formed in the upper portion of the deformation detector. The second metal interconnection is formed on the photoresist layer. A support block is formed at the end of the upper portion of the photoresist layer. A protective block is formed on the photoresist layer except for the support block area. The polymer layer is delaminated from the substrate. A load block is formed in the lower portion of the polymer layer.
Abstract translation: 提供了触觉传感器阵列及其制造方法，以在设置有触觉传感器的聚合物层上形成金属互连，使得触觉传感器与驱动电路接触而不需要附加的印刷电路板。 在基板上形成聚合物层。 第一金属互连和变形检测器设置在聚合物层的上部。 在聚合物层的整个表面上形成光致抗蚀剂层。 图案化光致抗蚀剂层，使得在变形检测器的上部形成接触孔。 第二金属互连形成在光刻胶层上。 在光致抗蚀剂层的上部的端部形成支撑块。 除了支撑块区域之外，在光致抗蚀剂层上形成保护块。 聚合物层从基材脱层。 负载块形成在聚合物层的下部。
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公开(公告)号：KR100606496B1
公开(公告)日：2006-07-31
申请号：KR1020030086239
申请日：2003-12-01
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01T1/16
Abstract: 본 발명은 인체영상센서의 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 정렬핀을 이용하여 격벽구조물을 이미지 센서에 정렬하는 인체영상센서의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 인체영상센서의 제작 방법은 격벽구조물과 이미지 센서를 사용하는 인체영상센서의 제작 방법에 있어서, 소정 크기와 형상의 다수의 구멍이 형성된 격벽구조물에 정렬핀의 위치를 제작하는 단계; 상기 격벽구조물의 구멍에 변환물질을 채우는 단계 및 상기 격벽구조물과 이미지 센서를 정렬핀을 이용하여 정렬하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 인체영상센서의 제작 방법은 정렬핀을 이용하여 격벽구조물을 정렬함으로써, 별도의 복잡한 광학렌즈나 장치없이도 제작할 수 있기에 공정이 간단하다는 장점이 있고, 별도의 시설이 필요없기 때문에 경비 절감에 효과적이다.
인체영상센서, 정렬핀, 격벽-
公开(公告)号：KR1020050113340A
公开(公告)日：2005-12-02
申请号：KR1020040037937
申请日：2004-05-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L29/00
Abstract: 본 발명은 레퍼런스 스틱을 사용하여 상하부 기판 간격이 서브미크론 정밀도로 유지되도록 하는 멤스 스위치에 관한 것이다.
본 발명의 멤스 스위치 및 그 패키징 방법은 상부에 앵커가 있으며, 상부에 앵커가 있으며 상기 앵커상에서 지지되는 압전 액튜에이터가 구비된 캔틸레버가 있는 제 1 기판; 상기 제 1 기판 상부의 양측에 각각 고정된 한 쌍의 실링 링; 하부에 시소 지지용 앵커가 있으며 상기 한 쌍의 실링 링에 부착된 제 2 기판; 상기 제 2 기판에 위치하며 도전성 물질이 코팅되어 있는 비아홀; 상기 제 2 기판 하부에 위치하며 상기 비아홀과 각각 전기적으로 연결된 한 쌍의 스위치 전극; 상기 시소 지지용 앵커의 하부의 양측에 연장되어 온/오프 동작을 수행하기 위한 시소; 상기 시소의 양선단에 형성되어 있으며 상기 스위치 전극들과 대향하는 스위치 접점; 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 위치하여 상기 스위치 전극으로부터 전압을 입력받는 압전 액튜에이터 전극 및 상기 제 1 기판과 제 2 기판의 접합 두께 확보를 위해 상기 한 쌍의 실링 링과 상기 압전 액튜에이터 전극 사이에 위치하는 레퍼런스 스틱을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 멤스 스위치로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 멤스 스위치 및 그 패키징 방법은 레퍼런스 스틱을 두 기판 접합 공정시 사용함으로써 상하부 기판 간격을 서브미크론의 정밀도로 유지할 수 있어 접합 공정시 발생하는 공정 오차를 줄여주는 효과가 있다. 또한 상하부 기판의 간격을 유지하는 부분과 접합하는 부분을 분리하여 저온 접합의 장점을 갖는 솔더 접합에 간격을 유지할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020050052712A
公开(公告)日：2005-06-07
申请号：KR1020030086246
申请日：2003-12-01
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01T1/16
Abstract: 본 발명은 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 변환 물질을 코팅한 후 격벽구조물을 형성시키도록 부분적으로 식각하는 인체영상센서의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법은 기판 상에 변환물질을 코팅하는 단계; 상기 코팅된 변환물질 상부에 패턴을 형성하는 단계; 상기 패턴을 마스크로 사용하여 변환물질을 식각하는 단계; 상기 식각된 변환물질 상에 격벽재료를 증착하는 단계; 상기 격벽재료를 평탄화하는 단계 및 상기 기판을 제거하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법은 좁고 긴 터널 형태의 격벽구조물에 변환물질을 채워넣는 것이 아닌 변환물질을 코팅한 후 격벽형태를 만들어 격벽구조물을 채우는 형태로서, 격벽구조를 만들 때 사용하는 LIGA 공정과 같이 광가속기를 이용할 필요없이 건식 식각장치만을 이용하기 때문에 제조 방법이 용이한 장점이 있고, 공정시간도 단축되는 효과가 있다.
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