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公开(公告)号：KR101171747B1
公开(公告)日：2012-08-07
申请号：KR1020110062103
申请日：2011-06-27
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 온도 센서를 구비한 캡슐형 진단 장치에 관한 것으로, 캡슐 헤드부에 형성되고, 체내의 소정 지점을 비추기 위한 하나 이상의 조명부; 캡슐 헤드부에 형성되고, 상기 조명부에 의해 조사된 지점의 영상을 취득하기 위한 이미지 센서부; 캡슐 바디부내에 형성되고, 상기 캡슐형 내시경 장치의 동작에 필요한 회로가 형성된 회로 기판; 상기 캡슐 바디부의 외측에 형성된 제1 및 제2 전극; 및 상기 캡슐 바디부 외측의 제1 및 제2 전극과, 상기 캡슐 바디부 내측의 회로 기판 사이에 전기적으로 연결되는 내외부 전기 접속 금속부를 포함하고, 상기 전기 접속 금속부 내에 온도 센서가 형성된 것을 특징으로 하는 캡슐형 내시경 장치를 개시한다.
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公开(公告)号：KR1020100119057A
公开(公告)日：2010-11-09
申请号：KR1020090037974
申请日：2009-04-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/12 , H01L21/203
Abstract: PURPOSE: A micro-gas sensor and a manufacturing method thereof, which directly forms various sensing materials on a narrow space for a patterning process, is provided to reduce manufacturing processes by omitting an organic removal process. CONSTITUTION: A micro-gas sensor comprises a semiconductor substrate(100), a micro heater layer, a sensing electrode layer and a sensing material layer. The micro heater layer is formed on the top part of the substrate. The sensing electrode layer is formed on the micro heater. The sensing material layer is formed on the top of the sensing electrode layer. A first insulation layer is formed between the semiconductor substrate and the micro heater layer.
Abstract translation: 目的：提供一种微气体传感器及其制造方法，其在窄空间上直接形成用于图案化工艺的各种感测材料，以通过省略有机去除工艺来减少制造工艺。 构成：微气体传感器包括半导体衬底（100），微加热器层，感测电极层和传感材料层。 微加热器层形成在基板的顶部。 感测电极层形成在微加热器上。 感测材料层形成在感测电极层的顶部。 在半导体衬底和微加热器层之间形成第一绝缘层。
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公开(公告)号：KR1020100099786A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：KR1020090018292
申请日：2009-03-04
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A capsule type diagnosing device with temperature sensor and a temperature measuring method thereof are provided to minimize the clinical test for toxicity of the material composing the temperature sensor by including a temperature sensor inside the conventional capsule type diagnosing device. CONSTITUTION: More than one lighting unit(210) is formed on a capsule head unit to light up a predetermined spot inside the human body. An image sensor unit(220) is formed on the capsule head unit in order to acquire the image of the researched spot. A circuit board(270) is formed within the capsule body unit.
Abstract translation: 目的：提供一种具有温度传感器及其温度测量方法的胶囊型诊断装置，通过在常规胶囊型诊断装置内部包括温度传感器来最小化构成温度传感器的材料的毒性的临床试验。 构成：在胶囊头单元上形成多个照明单元（210），以照亮人体内的预定点。 在胶囊头单元上形成图像传感器单元（220），以便获取研究点的图像。 电路板（270）形成在胶囊主体单元内。
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公开(公告)号：KR1020100001520A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：KR1020080061454
申请日：2008-06-27
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A steering angle detection apparatus is provided to detect a precise steering angle without a hysteresis error due to backlash by using a multi magnet disc. CONSTITUTION: A steering angle detection apparatus comprises a multi magnet disc(200) which is connected to a steering column in the center so as to rotate with the steering column and provided with magnets(210) on both sides, a hall sensor(230) which measures the magnetic field formed by the magnets and sinusoidal wave, and stator parts(510,520) which transfer the magnetic field between the magnets and the hall sensor. The steering angle detection apparatus detects a steering angle using the measured sinusoidal wave.
Abstract translation: 目的：提供一种转向角检测装置，用于检测精确的转向角，而不会由于使用多磁盘而产生反向间隙而产生滞后误差。 构成：转向角检测装置包括：多磁盘（200），其连接到中心的转向柱，以便与转向柱一起旋转，并且在两侧设置有磁体（210），霍尔传感器（230） 其测量由磁体和正弦波形成的磁场以及在磁体和霍尔传感器之间传递磁场的定子部分（510,520）。 转向角检测装置使用测得的正弦波检测转向角。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100809284B1
公开(公告)日：2008-03-04
申请号：KR1020060037880
申请日：2006-04-27
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명에 따른 촉각센서 어레이 제조방법은 기판의 상부에 고분자층을 형성하는 단계(S1), 상기 고분자층의 상부에 변형 검출기 및 제1금속배선을 형성하는 단계(S2), 상기 고분자층의 전면에 감광막을 형성하는 단계(S3), 상기 감광막을 패터닝하여 상기 변형 검출기의 상부에 콘택홀을 형성하는 단계(S4), 상기 감광막의 상부에 제2금속배선을 형성하는 단계(S5), 상기 감광막 상부의 끝단에 지지블록을 형성하는 단계(S6), 상기 지지블록이 형성된 영역을 제외한 상기 감광막 상부에 보호블록을 형성하는 단계(S7), 상기 기판으로부터 상기 고분자층을 분리하는 단계(S8) 및 상기 고분자층의 하부에 하중블록을 형성하는 단계(S9)를 포함한다.
따라서, 본 발명은 고분자층의 상부에 촉각센서 어레이 및 금속배선을 동시에 형성함으로써, 공정 수율의 향상 및 공정 비용의 절감 효과가 있으며, 각종 산업분야에 적용이 용이하여 가상환경 구현 기술에 중요한 촉각제시 기술에 유효하게 적용 및 채택할 수 있는 이점이 있다.
촉각센서 어레이, 고분자층-
公开(公告)号：KR100634822B1
公开(公告)日：2006-10-16
申请号：KR1020050027859
申请日：2005-04-04
Applicant: 두온 시스템 (주) , 전자부품연구원
IPC: H01L29/84
Abstract: 본 발명은 멤스(MEMS)를 이용한 반도체 공정을 통해 제조된 비대칭 차압 센서 및 이를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 상세하게는 다이아프램이 상부전극 또는 하부전극 방향으로 편중되게 형성되어 비대칭 구조로 이루어지는 센싱 플레이트를 갖는 비대칭 차압 센서에 관한 것이다. 본 발명은 이러한 구조적 특징으로 인해 다이아프램의 과대변위로 인한 파손을 방지하고, 식각 기울기가 없는 다이아프램을 형성하기 위한 식각 방법을 제공하여 칩의 초소형화를 실현하는 효과를 제공한다.
차압센서, 다이아프램, 비대칭, 멤스(MEMS)-
公开(公告)号：KR1020060103793A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：KR1020050025703
申请日：2005-03-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01L1/18
Abstract: 본 발명은 촉각 센서 및 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 과대 접촉력에 대한 파손 예방과 X, Y, Z의 3축 접촉력을 동시에 측정할 수 있는 촉각 센서 및 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 촉각 센서는 외부 촉각과 최외각에서 접촉하여 접촉력 전달기둥에 촉각의 힘을 전달하는 접촉력 전달매체; 상기 접촉력 전달매체로부터 접촉력을 1차로 전달받는 접촉력 전달기둥; 상기 접촉력 전달매체로부터 외부의 과대한 접촉력을 전달받아 감도 손실을 최소로 하는 스토퍼 기능의 과대 접촉력 파손방지 기둥; 상기 접촉력 전달기둥을 지지하고 접촉력의 크기에 따라 변형되어 응력이 발생되는 다이아프램; 상기 다이아프램의 응력변화를 저항변화로 감지 및 변환하는 압저항; 상기 다이아프램을 형성하는 실리콘; 상기 실리콘의 상부에 형성되어 전기적 절연 및 식각정지층으로 작용하는 산화막; 상기 산화막 하부에 촉각 감지소자의 전기적 신호를 연결시켜 주는 감지부 도전성 전기 배선 금속을 포함하여 구성된 촉각 감지 기판부 및 상기 촉각 감지 기판부와 접합되는 연성회로 기판부로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 촉각 센서 및 제조 방법은 정밀한 건식식각으로 다이아프램의 정의를 정확히 하여 칩의 크기를 줄이고, 촉각 감지 기판부와 연성회로 기판부와의 간격 조절을 솔더링에 의해 조절하며, 접촉력 전달기둥이 다이아프램 상부에 위치하여 X, Y, Z 축의 접촉력을 감지할 수 있는 3축 촉각 감지가 가능하며, 범 프 본딩이 가능하여 와이어 본딩 공정이 필요 없으며, 촉각 감지 기판부 상면에 전기배선 금속이 없으므로 촉각 감지소자들을 분리할 수 있어 연성회로 기판의 사용으로 곡면에서도 촉각을 감지할 수 있는 효과가 있다.
촉각 센서, 압저항Abstract translation: 本发明涉及一种触摸传感器，并且涉及一种制造方法，更具体地涉及测量损害的预防和对过大的接触力，同时在X，Y，Z的3轴力，触摸传感器和其制造方法。
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公开(公告)号：KR100520891B1
公开(公告)日：2005-10-11
申请号：KR1020030034923
申请日：2003-05-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01H59/00
Abstract: 본 발명은 잔류응력 및 압전구동력을 이용한 초소형 전기 기계 시스템 고주파 스위치에 관한 것이다.
본 발명의 잔류응력 및 압전구동력을 이용한 초소형 전기 기계 시스템 고주파 스위치는 적층되는 여러 박막들을 지지하는 탄성지지보, 상기 탄성지지보위에 하부 전극, 상기 하부 전극 위에 구동력을 유발하는 압전 박막, 상기 압전 박막 위에 상부 전극 그리고 탄성지지보의 끝단 아래에 RF 입출력 전극부의 전기적 이음과 끊음을 조절하는 접극자, 이 접극자 일정 거리 아래 떨어진 바닥 부분에 RF 입력 전극부와 출력 전극부를 갖는 것을 특징으로 하는 고주파수 스위치로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 잔류응력 및 압전구동력을 이용한 초소형 전기 기계 시스템 고주파 스위치는 전압을 인가하는 것 없이, 반도체 박막 제조 공정 조건을 조절함으로써 나타나는 잔류응력을 이용하여 스위치 동작 상태를 유지할 수 있는 단순하고 신뢰성 있는 고주파 스위치를 구현할 수 있고, 여러 층의 복잡한 적층 제조 공정을 거치지 않고, 전압 차이에 의한 압전 박막의 수축 구동력을 이용하여 스위치 비작동 상태를 능동적으로 일으키고 유지할 수 있어 종래의 접점이 붙어서 떨어지지 않아 문제점을 극복한 내구 신뢰성을 획기적으로 개선할 수 있고, 종래의 정전인력형 구조에서는 접극자와 입출력 전극 사이의 거리가 멀어지면 정전인력의 기본적인 물리법칙에 의해 인력이 거리의 역수에 비례하므로 접극자와 입출력 전극 사이의 거리를 1~2 마� ��크로미터 정도의 근접 거리만이 가능하였었는데 압전체를 이용한 본 발명에서는 이러한 접극자 사이의 거리를 멀게 할 수 있어 비작동시 접극자와 입출력 전극 사이의 절연성 및 고주파 특성을 높일 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020040103054A
公开(公告)日：2004-12-08
申请号：KR1020030034938
申请日：2003-05-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01H59/00
Abstract: PURPOSE: A seesaw type RF MEMS switch is provided to turn the switch on/off by operating, with a low voltage, a piezo-actuator arranged on a cantilever. CONSTITUTION: A seesaw type RF MEMS switch comprises a first substrate(100); a pair of spacers(251,252) fixed on both sides of the first substrate; and a second substrate(200) attached on the spacers. The first substrate has an upper surface on which an anchor(101) is arranged. A cantilever(102) having a piezo-actuator is extended sideways from an upper surface of the anchor. A pair of via holes(201,211) are formed on the second substrate and coated with conductive materials(202,212). Switch electrodes(203,223) electrically connected to the conductive materials are arranged on an outer bottom surface of the second substrate opposed to the first substrate. An anchor(220) is arranged at a center of the outer bottom surface of the second substrate, between the switch electrodes. A seesaw plate(221) is extended sideways from a bottom surface of the anchor. Switch contacts(231,232) are arranged on both sides of the seesaw plate such that the switch contacts are opposed to the respective switch electrodes.
Abstract translation: 目的：提供跷跷板型RF MEMS开关，通过低电压操作布置在悬臂上的压电致动器来打开/关闭开关。 构成：跷跷板型RF MEMS开关包括第一基板（100）; 固定在所述第一基板的两侧的一对间隔件（251,252） 以及附接在间隔件上的第二基板（200）。 第一基板具有布置有锚（101）的上表面。 具有压电致动器的悬臂（102）从锚的上表面侧向延伸。 一对通孔（201,211）形成在第二基板上并涂覆有导电材料（202,212）。 电连接到导电材料的开关电极（203,223）布置在与第一基板相对的第二基板的外底表面上。 锚定体（220）布置在第二基板的外底表面的中心处，位于开关电极之间。 跷跷板（221）从锚的底表面侧向延伸。 开关触点（231,232）布置在跷跷板的两侧，使得开关触点与相应的开关电极相对。
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