公开(公告)号：KR102041048B1

公开(公告)日：2019-11-06

申请号：KR1020180055825

申请日：2018-05-16

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 유승협 ,  문한얼 ,  윤정후

IPC: H01L27/1157 ,  H01L27/11573 ,  H01L27/11502

公开(公告)号：KR1020170016633A

公开(公告)日：2017-02-14

申请号：KR1020150109965

申请日：2015-08-04

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 유승협 ,  최정민

IPC: H01L51/00 ,  H01L21/3105

Abstract: 본발명은슬릿형기상젯 프린팅노즐유닛과이를이용한박막증착장치및 증착방법에관한것으로, 몸체부, 상기몸체부상면에형성되어상기소스챔버부와연결되는하나이상의입력포트, 상기몸체부하면에형성된슬릿형태의토출부, 상기몸체부내에형성되어상기입력포트및 상기토출부와각각연결되는확산부를포함하는노즐유닛을이용하여박막을증착하는것을특징으로한다. 본발명에따르면균일한선형패턴또는대면적박막을용이하게증착할수 있는효과가있다.

公开(公告)号：KR101687991B1

公开(公告)日：2016-12-20

申请号：KR1020150145811

申请日：2015-10-20

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 유승협 ,  김호연 ,  하재원

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 실시형태에따른열차단형반투명태양전지는, 투명기판; 상기투명기판상에배치된제1 투명전극; 상기제1 투명전극상에배치된제1 버퍼층; 상기제1 버퍼층상에배치된광전변환층; 상기광전변환층상에배치된제2 버퍼층; 상기제2 버퍼층상에배치된제2 투명전극;을포함하고, 상기광전변환층은페로브스카이트물질을포함하고, 다층박막으로이루어진상기제2 투명전극은투명금속박막층의막질형성을위한제3 버퍼층과, 상기제3 버퍼층상에배치된투명금속박막층을포함한다.

公开(公告)号：KR101537007B1

公开(公告)日：2015-07-21

申请号：KR1020140029004

申请日：2014-03-12

Applicant: 주성엔지니어링(주) ,  한국과학기술원

Inventor： 박재우 ,  전남호 ,  유승협 ,  이형섭 ,  김철환 ,  이규환

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/336

Abstract: 본발명은박막트랜지스터및 이의제조방법에관한것으로, 화학증착법으로제작된금속산화물활성층과, 상기금속산화물활성층에적어도일부가중첩된게이트전극과, 적어도상기금속산화물활성층과게이트전극사이에마련된게이트절연막및 적어도그 일부가상기금속산화물활성층에접속된소스및 드레인전극을포함하는박막트랜지스터와이의제조방법에관한것이다. 이와같이금속산화물박막을화학증착법으로제작하여공정을단순화시킬수 있고, 생산성향상은물론생산비용을절감시킬수 있으며, 금속산화물박막상에오믹접촉층을형성하여금속산화물박막의막질변화를방지하고, 소스및 드레인전극과의접촉면저항을줄일수 있다.

公开(公告)号：KR1020140035986A

公开(公告)日：2014-03-24

申请号：KR1020140021154

申请日：2014-02-24

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 임성갑 ,  유승협 ,  성혜정 ,  문한얼 ,  김민철

IPC: H01L51/40

CPC classification number: H01L51/052 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02271

Abstract: The present invention relates to a method for forming a dielectric layer using iCVD process. According to the present invention, the method for forming a dielectric layer on an organic thin film transistor using iCVD process comprises the steps of: thermally decomposing an initiator by the heat injected on the organic thin film transistor to form free radicals; activating monomers by using the free radicals to chain polymerize the monomers to form a polymer; and depositing the polymer on the organic thin film transistor to form a polymer dielectric layer. According to the present invention, it is possible to solve a shortcoming of a narrow width of a dielectric layer prepared by PECVD or CVD process through iCVD, and conduct uniform deposition compared with a conventional process, and a very low leakage current is shown in various thickness, thereby obtaining the remarkable electrical properties of a device and improving the manufacturing yield of the device, through a high dielectric constant. In addition, it is possible to prevent damage to a deposition medium due to a solvent since a desired polymer dielectric layer can be deposited with monomers and an initiator in a vapor phase condition without a solvent, particularly, an organic solvent. [Reference numerals] (S200) Supply monomers and an initiator; (S210) Inject heat; (S220) Form free radicals; (S230) Form a polymer; (S240) Form a polymeric dielectric layer

Abstract translation: 本发明涉及使用iCVD工艺形成介电层的方法。 根据本发明，使用iCVD工艺在有机薄膜晶体管上形成电介质层的方法包括以下步骤：通过注入到有机薄膜晶体管上的热量来热分解引发剂以形成自由基; 通过使用自由基来活化单体以使单体链聚合以形成聚合物; 以及将所述聚合物沉积在所述有机薄膜晶体管上以形成聚合物介电层。 根据本发明，可以通过iCVD解决通过PECVD或CVD工艺制备的电介质层的窄宽度的缺点，并且与常规工艺相比进行均匀沉积，并且以各种方式示出非常低的漏电流 从而通过高介电常数获得器件的显着电性能并提高器件的制造成品率。 此外，可以防止由于溶剂而导致的沉积介质的损坏，因为可以在不使用溶剂，特别是有机溶剂的气相条件下，用单体和引发剂沉积所需的聚合物电介质层。 （参考号）（S200）供给单体和引发剂; （S210）注入热量; （S220）形成自由基; （S230）形成聚合物; （S240）形成聚合物介电层

公开(公告)号：KR1020130073184A

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：KR1020110140897

申请日：2011-12-23

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 유승협 ,  문한얼

IPC: H01L29/786 ,  H01L51/50

CPC classification number: H05B33/06 ,  H01L51/5203 ,  H05B33/26

Abstract: PURPOSE: A thin film electric device including a self-aligned multi layer is provided to increase electric conductivity by forming a hydrophobic pattern at one time. CONSTITUTION: A hydrophobic pattern (200) is formed on a substrate. A first thin film (300) is formed in the hydrophilic surface of the substrate. A second thin film (400) is formed on the first thin film by using a selective wetting phenomenon. A plasma etching or a printing process is performed to form the hydrophobic pattern.

Abstract translation: 目的：提供包括自对准多层的薄膜电气装置，以通过一次形成疏水图案来提高导电性。 构成：在衬底上形成疏水性图案（200）。 在基板的亲水表面上形成第一薄膜（300）。 通过使用选择性润湿现象，在第一薄膜上形成第二薄膜（400）。 执行等离子体蚀刻或印刷工艺以形成疏水图案。

公开(公告)号：KR1020130006044A

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：KR1020110067847

申请日：2011-07-08

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 유승협 ,  조현수 ,  최정민

IPC: H01L51/50 ,  H05B33/22

CPC classification number: H01L51/5234 ,  H01L51/5218 ,  H05B33/26

Abstract: PURPOSE: An organic light emitting device and a display device including the same are provided to improve the transmittance and electric conductivity of a wire by forming a thin film forming active layer between a planarization layer and a metal thin film. CONSTITUTION: A planarization layer(120) is formed on a substrate(110). A thin film forming active layer(130) is formed on the planarization layer. A metal thin film(140) that is a first electrode is formed on the thin film forming active layer. An organic light emitting layer(150) is formed on the metal thin film. A second electrode(160) is formed on the organic light emitting layer.

Abstract translation: 目的：提供一种有机发光装置及包括该发光装置的显示装置，以通过在平坦化层与金属薄膜之间形成薄膜形成有源层来提高导线的透射率和导电性。 构成：在衬底（110）上形成平坦化层（120）。 在平坦化层上形成薄膜形成有源层（130）。 在薄膜形成活性层上形成作为第一电极的金属薄膜（140）。 在金属薄膜上形成有机发光层（150）。 第二电极（160）形成在有机发光层上。

公开(公告)号：KR101187630B1

公开(公告)日：2012-10-05

申请号：KR1020100109378

申请日：2010-11-04

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 김상욱 ,  유승협 ,  이주민 ,  박지선 ,  이선화

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/072 ,  H01L51/42

CPC classification number: Y02E10/549 ,  Y02P70/521

Abstract: 나노구조체 함유 광전자 소자, 유기태양전지 및 그 제조방법이 제공된다.
본 발명에 따른 나노구조체 함유 광전자 소자는 일차원 나노구조체를 함유하는 것을 특징으로 하며, 광전자 소자의 활성층에 일차원 나노구조체, 특히 3가 또는 5가의 원소로 도핑된 탄소 나노구조체를 함유시킴으로써 광전자 소자의 캐리어 수송특성이 향상된다.

公开(公告)号：KR101160984B1

公开(公告)日：2012-07-03

申请号：KR1020100126638

申请日：2010-12-13

Applicant: 한국철강 주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 유승협 ,  김호연 ,  한동근

IPC: H01L51/42

CPC classification number: Y02E10/549 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명의 유기 태양전지 모듈은 기판; 및 상기 기판 상에 복수의 단위셀을 포함하며, 상기 복수의 단위셀 각각은: 금속 박막층을 포함하는 제1전극; 상기 제1전극 상에 빛을 전기로 변환하는 광전변환층; 및 상기 광전변환층 상에 제2전극을 포함하며, 상기 복수의 단위셀 중 제1단위셀의 제1전극과 상기 제1단위셀과 인접한 제2단위셀의 제2전극은 전기적으로 연결된다. 또한, 본 발명의 유기 태양전지 모듈의 제1전극은 제1투명 박막층 및 제2투명 박막층을 더 포함하며, 상기 금속 박막층은 상기 제1투명 박막층과 상기 제2투명 박막층 사이에 위치한다.

公开(公告)号：KR1020120039983A

公开(公告)日：2012-04-26

申请号：KR1020100101466

申请日：2010-10-18

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 유승협 ,  고태욱 ,  최정민

IPC: H01L51/52 ,  G02B5/04

CPC classification number: H01L51/50 ,  G02B5/045 ,  H01L51/5008 ,  H01L51/5234 ,  H01L51/5275

Abstract: PURPOSE: An organic light emitting device, a lighting apparatus including the same, and a display apparatus inducing an organic light emitting apparatus are provided to improve light extraction efficiency by inserting a micro lens array between a transparent electrode and a transparent substrate. CONSTITUTION: A substrate includes a transmissive material. A first electrode(130) is located on the substrate. An organic light emitting layer(140) is placed on the first electrode. A second electrode(150) is placed on the organic light emitting layer. A first micro lens array is included between the substrate and the first electrode and has a refractive index larger than that of the substrate.

Abstract translation: 目的：提供一种有机发光装置，包括该发光装置的照明装置和引导有机发光装置的显示装置，以通过在透明电极和透明基板之间插入微透镜阵列来提高光提取效率。 构成：衬底包括透射材料。 第一电极（130）位于衬底上。 有机发光层（140）被放置在第一电极上。 第二电极（150）被放置在有机发光层上。 第一微透镜阵列包括在基板和第一电极之间并且具有比基板的折射率大的折射率。