볼로미터용 산화물 저항 박막 및 그 제조방법
    54.
    发明授权
    볼로미터용 산화물 저항 박막 및 그 제조방법 有权
    用于测辐射热计的氧化物抗蚀剂薄膜及其制造方法

    公开(公告)号:KR101832408B1

    公开(公告)日:2018-02-26

    申请号:KR1020170091508

    申请日:2017-07-19

    CPC classification number: Y02P70/521 H01L31/08 H01L31/032 H01L31/186

    Abstract: 본발명에따른볼로미터용산화물저항박막은기판상에제공되는입방정스피넬(Cubic spinel) 결정구조의산화물층을포함하고, 상기산화물층은, 니켈, 망간및 구리를함유하는 (Ni,Mn,Cu)O계모체; 및상기모체에첨가되며, 온도가변하는경우에도원자가상태를유지하는원소인첨가제를포함할수 있다.

    Abstract translation: 本发明提供一种测辐射热计电阻薄膜的薄膜,其包括设置在衬底上的立方尖晶石晶体结构的氧化物层,并且氧化物层由含镍的(Ni,Mn,Cu) 基于O的矩阵; 并且添加剂被添加到基质中并且是即使当温度改变时也维持价态的元素。

    볼로미터용 저항 박막 제조방법, 이에 의해서 제조된 볼로미터용 저항 박막 및 볼로미터 제조방법
    56.
    发明公开
    볼로미터용 저항 박막 제조방법, 이에 의해서 제조된 볼로미터용 저항 박막 및 볼로미터 제조방법 审中-实审
    制造测辐射热计电阻薄膜的方法,电阻薄膜制造方法和测辐射热计辐射热测量计

    公开(公告)号:KR1020170128947A

    公开(公告)日:2017-11-24

    申请号:KR1020160059673

    申请日:2016-05-16

    Abstract: 본발명에따른볼로미터용저항박막제조방법은니켈, 망간, 구리중 적어도어느하나의금속을포함하는유기금속화합물전구체용액을유기용매에혼합하여혼합용액을준비하는단계; 기판상에상기금속중 적어도어느하나의금속을포함하는금속층을형성하는단계; 상기혼합용액을이용하여액상공정으로상기금속층상에유기금속화합물층을형성하는단계; 상기유기금속화합물층을산화분위기에서후속열처리하여산화물저항박막으로변화하는단계를포함할수 있다. 또한본 발명에따른볼로미터용저항박막제조방법에의하면낮은비저항과높은온도계수를갖는볼로미터용저항박막과서미스터볼로미터가가능하게된다.

    Abstract translation: 电阻测辐射热计根据本发明薄膜的制造方法是通过将有机金属化合物前体溶液包括镍,锰,铜的金属中的至少一个,在有机溶剂中制备的混合溶液的步骤; 在衬底上形成包括至少一种金属的金属层; 使用混合溶液通过液相法在金属层上形成有机金属化合物层; 然后在氧化气氛中进行随后的热处理,以将有机金属化合物层变为氧化物电阻薄膜。 此外,根据测辐射热计电阻薄膜的制造方法根据本发明,一个低电阻率和热辐射计薄膜电阻器和具有高的温度系数是可能的热敏电阻测辐射热计。

    압전 재료 시트 적층 구조체, 이를 이용한 스피커 및 이의 구동 방법

    公开(公告)号:KR101764986B1

    公开(公告)日:2017-08-10

    申请号:KR1020150189316

    申请日:2015-12-30

    Abstract: 본발명은압전재료시트적층구조체에관한것이고, 또한이를이용한압전스피커에관한것이며, 이러한압전스피커를구동하기위한방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른압전재료시트적층구조체를이용한스피커는두 개의압전재료시트가서로위아래로겹쳐있고, 상기두 개의압전재료시트의윗면, 아랫면, 그리고사이면에전극패턴들이배치되며, 상기두 개의압전재료시트의윗면또는아랫면에진동판이배치되고, 상기전극패턴들은제 1 전극패턴및 제 2 전극패턴으로이루어져있으며, 상기제 1 전극패턴및 제 2 전극패턴은전기적으로절연되어있고, 각각서로맞물리는(interdigitated) 전극패턴을형성하는복수의전극을포함하고, 상기전극패턴들은상하방향으로서로동일한형태로투영되도록배치되며, 상기두 압전재료시트의압전활성영역의분극방향은서로반대이다. 특히, 본발명에따른압전재료시트적층구조체및 이를이용한압전스피커는웨어러블장치나자동차, 액츄에이터(actuator) 등에적용될수 있다.

    압전 에너지 하베스터
    59.
    发明授权

    公开(公告)号:KR101751131B1

    公开(公告)日:2017-06-27

    申请号:KR1020150150641

    申请日:2015-10-29

    CPC classification number: H01L41/047 H01L41/053 H02N2/18

    Abstract: 본발명은압전에너지하베스터에관한것으로서, 특히외부프레임에연결된진동판상에배치된압전소자를이용해대형장치등의진동으로부터에너지를하베스팅하는압전에너지하베스터에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른압전에너지하베스터는, 외부프레임; 상기외부프레임에연결된진동판; 및상기진동판의상면및 하면중 어느하나이상에배치된압전소자를포함하고, 상기압전소자는피에조파이버컴포지트구조체; 및상기피에조파이버컴포지트구조체의상면및 하면중 어느하나이상에배치된전극부를포함하며, 상기피에조파이버컴포지트구조체는복수의압전세라믹로드가서로옆으로나란히배치되고, 나란히배치된상기복수의압전세라믹로드사이에는접착제가배치되어복수의압전세라믹로드가서로연결된형태이며, 상기전극부는한 쌍의전극패턴들로이루어져있으며, 한쌍의전극패턴들은서로전기적으로절연되어있고, 각각서로맞물리는(interdigitated) 구조로배치된다. 한편, 본발명은압전전력발생장치를청구하고있으나, 실시예에따라액츄에이터(actuator)로도이용가능할수 있다.

    무연 압전 세라믹을 이용한 나노섬유 복합 필름 제조 방법

    公开(公告)号:KR101748858B1

    公开(公告)日:2017-06-20

    申请号:KR1020160018381

    申请日:2016-02-17

    Abstract: 환경유해규제물질인납이첨가되지않는 BNT계무연압전세라믹분말을적용하는것을통해인체에무해하면서도저전압에서높은압전성능을가짐으로써, 액츄에이터(actuator), 주파수출력형센서(frequency output sensor), 에너지하베스터(energy harvester), 압전트랜스듀서(piezoelectric transducer) 등의여러전자소자로활용할수 있는무연압전세라믹을이용한나노섬유복합필름제조방법에대하여개시한다. 본발명에따른무연압전세라믹을이용한나노섬유복합필름제조방법은 (a) PVDF 를용매에첨가하여교반한후, 무연압전세라믹분말을첨가하여세라믹-고분자복합용액을형성하는단계; (b) 상기세라믹-고분자복합용액을토출시켜기재상에전기방사한후, 건조하여세라믹-고분자나노섬유필름을형성하는단계; 및 (c) 상기세라믹-고분자나노섬유필름에전극필름을부착하여세라믹-고분자나노섬유복합필름을형성하는단계;를포함하는것을특징으로한다.

Patent Agency Ranking