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公开(公告)号：KR100228398B1
公开(公告)日：1999-11-01
申请号：KR1019960067599
申请日：1996-12-18
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: B23K26/0665 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/0648
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치
2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
본 발명은 빛을 도파시킬 수 있는 광섬유를 사용하되, 이 광섬유 출구 한 끝을 원뿔형으로 가공하여 도파된 빛을 렌즈의 사용없이 레이저 어블레이션을 발생시키기 위해 필요한 에너지 밀도를 얻고, 이 집적된 에너지를 이용하여 미세 스트립 선로의 폭 및 면적을 직접 식각하므로써 박막집적소자의 표면 정전용량 및 인덕턴스의 미세조정 등을 가능하게 하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 자외선 빔을 발생하는 수단; 상기 레이저 발생수단에서 방사되는 레이저 빔의 전달경로를 제공하는 광섬유 도파관; 상기 레이저 발생수단과 광섬유 도파관 사이에 장착되어 광섬유내로 레이저 빔이 입사되도록 집중시키는 수단; 및 상기 광섬유도파관의 출구에서 출력된 빔에 의해 식각재료가 소정각도에서 식각되도록 위치조절하는 샘플 플랫포옴을 포함하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치를 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
박막위에 형성된 마이크로 스트립선로의 폭 및 면적의 미세조정을 레이저 어블레이션을 이용하여 직접적인 건식식각을 통하여 이루므로써 집적소자의 표면정전 용량 및 인덕턴스의 미세조정을 가능하게 하는 것임,-
公开(公告)号：KR100216547B1
公开(公告)日：1999-08-16
申请号：KR1019970019248
申请日：1997-05-19
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01P11/00
Abstract: 본 발명은, 마이크로파용 고온초전도 4-극 대역통과 필터 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 초고주파 특성이 우수한 고온 초전도 에피택셜 박막 위에 실제로 설계 과정이나 소자 제조공정을 고려하여 마이크로스트립 폐루프형 공진기와 마이크로스트립 결합선을 집적하는 방식으로 구현하고, 저온 마이크로파 특성에 영향을 주지 않기 위해 입출력단에 금속 패드를 증착하며, 초전도성의 열화가 유도되는 것을 방지하기 위해 습식 식각 보다 건식 식각에 치중하는 식각 방식을 포함하는 고온 초전도 대역통과 필터 및 그 제조 방법이며, 신호를 거의 손실없이 통과시키고, 통과대역 양단의 저지대역에서는 스커트(skirt) 특성이 좋아서 효과적인 신호 전송 저지 기능과 잡음 제거 기능이 있다.
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公开(公告)号：KR100199019B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019960062351
申请日：1996-12-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01P1/16
Abstract: 본 발명은 마이크로파 통신 시스템에서 사용되는 핵심부품인 다채널 멀티플랙서의 한 부분으로 마이크로스트립 분기선 방식의 3dB 하이브리드 결합기와 평행결합선 방식의 2극 대역통과필터를 집적시킨 고온초전도 서브시스템에서, 본 발명은 마이크로스트립 방식의 고온초전도 마이크로파 듀플렉서는 고온초전도 YBCO/MgO 에피택셜 박막과 미세 형상화 공정을 통하여 구현 하였으며, 출력포트에서의 필터 신호는 11GHz 중심주파수를 가졌다. 한편, 4포트형 3성분 시험치구에 제조한 고온초전도 듀풀렉서를 내장시키고 저온 마이크로파 특성의 측정을 위한 기판 앞 뒷면에는 전자선 증발기로 이중 금속 전극 및 접지 평판을 증착하였다. 따라서 고온초전도 듀플렉서는 Au/Ti/YBCO/MgO/Ti/Ag 구조를 갖게 된다. 이러한 고온초전도 듀플렉서는 사용하는 무선 및 마이크로파 통신 부품을 무손실, 무분산으로 신호처리가 가능하고 마이크로스트립선 방식의 서브시스템이므로 제조도 간단하고 경량이며, PLD와같은 장비에서 가장 적합한 설계이다. 그리고 이 설계는 고온초전도 MMIC의 발달을 촉진할 것으로 기대된다.
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公开(公告)号：KR100171021B1
公开(公告)日：1999-03-30
申请号：KR1019950054534
申请日：1995-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H03H9/00
Abstract: 본 발명은 RF 및 마이크로파 통신시스템이나 통신기기에 사용되는 멀티플렉서, 믹서등의 핵심부품을 구성하는 핵심소자이면서도 기본소자인 특정주파수대역에서만 정보를 통과시키게 하는 X-밴드용 섭동준고리형 고온초전도 이중모드 5-극 대역통과 필터에 관한 것으로, RF 및 마이크로파 특성이 우수한 MaO 단결정 기판과 상기 단결정 기판 상부의 한쪽 모서리에 형성한 신호 전송용 입출력단(gold pad 포함)과 상기 단결정 기판 상부의 상기 입출력단과 마이크로스트립 결합선 사이에 신호의 전송에너지를 제어하거나 필터링하는 섭동준 고리형 공진기 2개와 마이크로스트립 결합선을 집적시킨 고리형 고온초전도 이중모드 5-극 대역통과 필터의 회로패턴과, 상기 단결정 기판의 하부에 증착시킨 접지평면용의 금속박막을 포함하여 구성되어 고리형 고온� �전도 이중모드 대역통과 필터의 극수를 5-극으로 하고, 회로패턴의 크기는 기판의 크기를 고려하여 15㎜×15㎜내로 하여, 마이크로파 특성은 통과대역에서의 맥류진폭도 매우 작안 평평도가 우수하고, 저지대역까지의 가파르기인 스커트 특성도 우수하다.
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公开(公告)号：KR100146556B1
公开(公告)日：1998-12-01
申请号：KR1019950017176
申请日：1995-06-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H03H7/00
Abstract: 본 발명은 마이크로스트립 평행결합선 방식의 고온초전도 6-극 대역 통과 필터에 관한 것으로서, 마이크로파 특성이 우수한 단결정기판과, 상기 단결정기판 상부의 일측에 형성된 신호 전송용 입력단과, 상기 단결정기판 상부의 상기 신호 전송용 입력단의 타측에 형성된 출력단과, 상기 단결정기판 상부에 입력단 및 출력단과 연결되도록 형성된 ㄱ자형 또는 ㄴ자형의 정합망과, 상기 단결정 기판 상부의 정합망 사이에 있는 마이크로스트립 평행결합선의 갯수에 의해 극수가 결정되는 평행결합선 방식으로 형성된 6-극 필터 패턴과, 상기 단결정 기판 하부에 형성된 Ti/Ag 접지평면을 포함한다.
따라서, 통과대역의 손실 특성을 저하시키지 않으면서 저지대역까지의 스커트 특성을 향상시킬 수 있다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019980044284A
公开(公告)日：1998-09-05
申请号：KR1019960062351
申请日：1996-12-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01P1/16
Abstract: 본 발명은 마이크로파 통신 시스템에서 사용되는 핵심부품인 다채널 멀티플렉서의 한 부분으로 마이크로스트립 분기선 방식의 3dB 하이브리드 결합기와 평행결합선 방식의 2극 대역통과필터를 집적시킨 고온초전도 서브시스템에서, 본 발명은 마이크로스트립 방식의 고온초전도 마이크로파 듀플렉서는 고온초전도 YBCO/MgO 에피택셜 박막과 미세 형상화 공정을 통하여 구현하였으며, 출력포트에서의 필터신호는 11GHz 중심주파수를 가졌다. 한편, 4포트형 3성분 시험치구에 제조한 고온초전도 듀플렉서를 내장시키고 저온 마이크로파 특성의 측정을 위한 기판 앞 뒷면에는 전자선 증발기로 이중 금속 전극 및 접지 평판을 증탁하였다. 따라서 고온초전도 듀플렉서는 Au/Ti/YBCO/MgO/Ti/Ag 구조를 갖게 된다. 이러한 고온초전도 듀플렉서는 사용하는 무선 및 마이크로파 통신부품을 무손실, 무분산으로 신호처리가 가능하고 마이크로스트립선 방식의 서브시스템이므로 제조도 간단하고 경량이며, PLD와 같은 장비에서 가장 적합한 설계이다. 그리고 이 설계는 고온초전도 MMIC의 발달을 촉진할 것으로 기대된다.
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公开(公告)号：KR1019970054313A
公开(公告)日：1997-07-31
申请号：KR1019950052640
申请日：1995-12-20
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L27/18
Abstract: 본 발명은 RF 및 마이크로파 통신시스템이나 통신기기에 사용되는 멀티플렉서, 믹서등의 핵심부품을 구성하는 핵심소자이면서도 기본소자인 특정주파수대역에서만 정보를 통과시키게 하는 마이크로파용 섭동준 원반형 고온초전도 이중모드 5－극 대역통과 필터에 관한 것으로, RF 및 마이크로파 특성이 우수한 MaO 단결정 기판과 상기 단결정 기판 상부의 한쪽 모서리에 형성한 신호 전송용 입출력단(gold pad 포함)과 상기 단결정 기판 상부의 상기 입출력단과 마치크로스트립 결합선 사이에 신호의 전송에너지를 제어하거나 필터링하는 섭동준 원반형 공진기 2개와 마이크로스트립 결합선을 집적시킨 원반형 고온초전도 이중모그 5－극 대역통과 필터의 회로패턴과, 상기 단결정 기판의 하부에 증착시킨 접지평면용의 금속박막을 포함하여 구성되어 원반 형 고온초전도 이중모드 대역통과 필터의 극수를 5－극으로 하고, 회로패턴의 크기는 기판의 크기를 고려하여 15㎜×15㎜내로 하여, 마이크로파 특성은 통과대역에서의 맥류진폭도 매우 작아 평면도가 우수하고, 저지대역까지의 가파르기인 스커트 특성도 우수하다.
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公开(公告)号：KR1019970008636A
公开(公告)日：1997-02-24
申请号：KR1019950020207
申请日：1995-07-10
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 마이크로파 통신시스템에 사용되는 핵심부품인 멀티플렉서나 믹서등을 구성하는 핵심소자인 3-dB 하이브리드 결합기(copler) 일종으로, 마이크로스트립 분기선 방식의 矩形(사각형) 構造를 갖는 마이크로 파용 4-포트 수동소자이다.
본 발명인 직각 하이브리드 결합기는 3-dB 이상의 우수한 결합특성이 10GHz 근방에서 발휘되게끔 설계하였고, 고온초전도 YBCO/MgO 에피택셜 박막을 미세형상화(패터닝)함으로서 제조하였다.
이어서 기판 뒷면에는 집저평면용 Ti(10nm)/Ag(2㎛)을 증착하여 YBCO/MgO/Ti/Ag구조를 갖게 하였다.
그리고 4개의 K-커넥트(4-포트)를 가지는 3-성분 시험치구에 내장시켜 저온 마이크로파 특성을 측정하였다.
이러한 고온초전도 커플러를 핵심소자로 사용하는 무선 및 마이크로파 통신부품은 무손실, 무분산으로 신호처리가 가능하고 마이크로스 트립선 방식의 서브시스템이므로 제조가 간단하고 경량이다.
그리고 고운초전도체의 우수한 마이크로파 특성을 이용한 하이브리드 결합기이므로 結合度가 뛰어나고, 마이크로파 손실특성도 매우 양호하였다.-
公开(公告)号：KR101416442B1
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：KR1020100080602
申请日：2010-08-20
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/205 , H01L21/02
Abstract: 본 발명은 온도 균일화 장치 및 이를 구비한 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 반도체 제조 장치는 진공의 내부 환경을 제공하는 챔버와, 상기 챔버 내에 설비된 히터와; 상기 히터와 마주보는 위치에 웨이퍼를 지지할 수 있는 홀더와, 그리고 상기 히터와 웨이퍼 사이에 제공된 열 스프레더를 포함할 수 있다. 본 발명에 의하면, 상기 히터에서 발생된 열이 상기 열 스프레더를 거쳐 상기 웨이퍼로 제공되어 상기 웨이퍼의 온도가 균일화될 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020140003711A
公开(公告)日：2014-01-10
申请号：KR1020120067893
申请日：2012-06-25
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/042 , B01D53/14
CPC classification number: H02J1/00 , B01D53/02 , B01D53/0407 , B01D53/62 , B01D2257/504 , H02J7/00 , Y02C10/04 , Y02C10/06 , Y02C10/08
Abstract: The present invention relates to a solar cell having a fan structure for providing convenience, stability and pleasant life and an application system using the same. A flexible color solar cell coated with a CO2 absorption material is formed with the fan structure. The flexible color solar cell is integrated with information and communication. An application system using the solar cell includes a double side supporter fixed to the ground, a transmitter including an antenna for power and data, an application body part providing a specific service by using a data screen, a solar cell producing solar power by using the light of the other wavelength, displaying color by using light of a specific wavelength, and formed in the upper part of the application body part.
Abstract translation: 本发明涉及具有用于提供便利性，稳定性和愉快寿命的风扇结构的太阳能电池以及使用该太阳能电池的应用系统。 利用风扇结构形成涂覆有CO 2吸收材料的柔性彩色太阳能电池。 灵活的彩色太阳能电池与信息和通信相结合。 使用太阳能电池的应用系统包括固定在地面上的双面支撑体，包括用于电力和数据的天线的发射器，通过使用数据屏幕提供特定服务的应用主体部分，通过使用数据屏幕产生太阳能发电的太阳能电池 另一波长的光，通过使用特定波长的光显示颜色，并且形成在应用主体部分的上部。
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