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公开(公告)号：KR100160581B1
公开(公告)日：1999-02-01
申请号：KR1019950050512
申请日：1995-12-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/31
Abstract: 본 발명은 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막의 형성방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명의 레이저 어블레이션(laser ablation) 방법으로 기판 상에 다이아몬드 박막을 형성시 외부에서 기판 상에 원자 수소빔(atomic hydrogen beam)을 공급하여 양질의 다이아몬드 박막을 형성하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막 형성방법은, 엑시머 레이저(1)로부터 발생된 레이저빔을 그래파이트 타겟(2)에 조사하고, 레이저빔의 조사에 의해 튀어나온 입자들을 기판 가열기(3) 위에 위치한 기판(4) 상에 증착시켜 다이아몬드 박막을 형성하는 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막 형성방법에 있어서, 상기한 증착과정 중에 별도의 원자수소 공급수단(5)을 사용하여 기판(4) 상에 원자 수소빔을 공급하는 과정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1019980044526A
公开(公告)日：1998-09-05
申请号：KR1019960062619
申请日：1996-12-06
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
고집적 반도체 소자.
2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
소자의 초고집적화를 위해 수 나노미터 사이즈를 가지며, 초고진공하에서 모든 공정이 수행되어 초고순도를 갖도록 하는 반도체 나노세선 형성 방법을 제공하는데 있음.
3. 발명의 해결 방법의 요지
실리콘기판에 실리콘나이트라이드 박막을 형성한 후 원자력현미경으로 패턴을 만든다음, 이 표면을 산화시켜 패턴된 부분만 선택적으로 실리콘옥사이드층을 형성한다. 다시 원자력현미경으로 실리콘나이트라이드 부분만 선택적으로 패턴한 다음 분자선에피탁시 방법으로 실리콘이나 게르마늄을 적층한 후, 열처리에 의한 화학적 반응으로 산화막 및 그 상부의 실리콘이나 게르마늄을 선택적을 제거한다.
4. 발명의 중요한 용도
반도체 소자 제조 공정-
公开(公告)号：KR100138857B1
公开(公告)日：1998-06-01
申请号：KR1019940029925
申请日：1994-11-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 초고진공내에서 반도체 및 도체의 시료를 이동하고 특정한 목적으로 열처리하는 집게 및 시료대에 관한 것으로, 기존의 조작기(Manipulator)가 가지고 있는 시료의 조작의 불편이나, 두발집게가 가지고 있는 시료대의 불안정성과 전자빔 가속에 의한 열처리의 난점 등을 극복한 네발집게와 시료대로서 본 발명 네발집게를 이용하면 외부에서 어떠한 크기나 형태를 가진 물건도 초고진공내에서의 조작과 이동이 가능하고, 반도체나 도체의 세척과정에서 필수적으로 수반되는 열처리의 과정이 훨씬 용이하게 된다
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公开(公告)号：KR1019970052803A
公开(公告)日：1997-07-29
申请号：KR1019950050512
申请日：1995-12-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/31
Abstract: 본 발명은 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막의 형성방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명의 레이저 어블레이션(laser ablation) 방법으로 기판 상에 다이아몬드 박막을 형성시 외부에서 기판 상에 원자 수소빔(atomic hydrogen beam)을 공급하여 양질의 다이아몬드 박막을 형성하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막 형성방법은, 엑시머 레이저(1)로부터 발생된 레이저빔을 그래파이트 타겟(2)에 조사하고, 레이저빔의 조사에 의해 튀어나온 입자들을 기판 가열기(3) 위에 위치한 기판(4) 상에 증착시켜 다이아몬드 박막을 형성하는 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막 형성방법에 있어서, 상기한 증착과정 중에 별도의 원자수소 공급수단(5)을 사용하여 기판(4) 상에 원자 수소빔을 공급하는 과정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1019960019644A
公开(公告)日：1996-06-17
申请号：KR1019940029925
申请日：1994-11-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 초고진공내에서 반도체 및 도체의 시료를 이동하고 특정한 목적으로 열처리하는 집게 및 시료대에 관한 것으로,기존의 조작기(Manipulator)가 가지고 있는 시료의 조작의 불편이나, 두발집게가 가지고 있는 시료대의 불안정성과 전자빔 가속에 의한 열처리의 난점 등을 극복한 네발집게와 시료대로서 본 발명 네발집게를 이용하면 외부에서 어떠한 크기나 형태를 가진 물건도 초고진공내에서의 조작과 이동이 가능하고, 반도체나 도체의 세척과정에서 필수적으로 수반되는 열처리의 과정이 훨씬 용이하게 된다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101725119B1
公开(公告)日：2017-04-11
申请号：KR1020120092133
申请日：2012-08-23
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본발명은음장변화감지기반의화재감시방법및 시스템에관한것으로서, 정해진공간내에서입력전압에따라음파를출력하는음향발생장치; 상기정해진공간내에서음파를수신하고, 수신한음파로부터음압을얻는음향수신장치; 및준비모드에서상기음향발생장치의입력전압대비상기음향수신장치에의해얻어진음압의비율을나타내는음향전달함수를이용하여기준음압정보를계산하고, 감시모드에서상기음향전달함수를이용하여현재음압정보를계산한후, 상기기준음압정보와상기현재음압정보를비교하여화재발생여부를판단하는화재감시장치를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及用于监视声场变化检测器中的火灾的方法和系统，并且更具体地涉及用于根据预定空间中的输入电压输出声波的声音产生装置。 一种声音接收器，用于在预定空间内接收声波并从所接收的声波获得声压; 通过使用指示在准备模式中由声音接收设备获得的声压与发声设备的输入电压的比率的声学传递函数来计算参考声压信息， 并且将参考声压信息与当前声压信息进行比较以确定是否发生了火灾。
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公开(公告)号：KR1020130108033A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：KR1020120092133
申请日：2012-08-23
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G08B17/04 , G08B17/125 , G08B25/08 , G08B25/10 , G08B25/14
Abstract: PURPOSE: A fire monitoring method based on detection of sound field variations and a system thereof are provided to early detect a fire although a flame or smoke is not visible. CONSTITUTION: A fire monitoring system includes a sound generation device (210), a sound reception device (220) and a fire monitoring device (230). The sound generation device outputs a sound wave according to an input voltage within a given space. The sound reception device receives a sound wave within a given space and obtains a sound pressure from the received sound wave. The fire monitoring system calculates reference sound pressure information by using an acoustic transfer function representing the ratio of the input voltage of the sound generation device to the sound pressure obtained by the reception device in a standby mode. The fire monitoring device calculates current sound pressure information by using the acoustic transfer function in a monitoring mode and determines whether a fire occurs by comparing the reference sound pressure information and the current sound pressure information. [Reference numerals] (AA) Received sound signal; (BB) Generated sound signal; (CC) Fire; (DD) Normal situation; (EE) Fire
Abstract translation: 目的：提供一种基于声场变化检测的火灾监测方法及其系统，以尽早发现火焰，但火焰或烟雾不可见。 构成：消防监视系统包括声音产生装置（210），声音接收装置（220）和消防监视装置（230）。 声音产生装置根据给定空间内的输入电压输出声波。 声音接收装置在给定的空间内接收声波并从接收到的声波获得声压。 消防监视系统通过使用表示在待机模式下由声音产生装置的输入电压与由接收装置获得的声压的比率的声学传递函数来计算参考声压信息。 火灾监测装置通过在监视模式中使用声音传递函数来计算当前声压信息，并且通过比较参考声压信息和当前声压信息来确定是否发生火灾。 （附图标记）（AA）接收到的声音信号; （BB）生成的声音信号; （CC）火; （DD）正常情况; （EE）火
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公开(公告)号：KR1020130074437A
公开(公告)日：2013-07-04
申请号：KR1020110142499
申请日：2011-12-26
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G08B13/16 , G08B13/196 , H04R29/00 , G08B25/08
CPC classification number: H04R29/007 , G08B13/1609 , G08B13/1672 , G08B13/19695 , G08B13/19697 , G08B13/16 , G08B25/08
Abstract: PURPOSE: A security system and a method thereof are provided to enhance reliability while preventing non-working and malfunction and to offer a security monitoring system technology of low cost / low power / high reliability by sensing whether something breaks in a security space or not and by sensing information through pattern measurement of sound delivery characteristic change using an integrated module. CONSTITUTION: A security system through sound field change pattern analysis comprises a sound field change sensing device (100) and an operating device (200). The sound field change sensing device is installed within a fixed monitoring space and measures a sound field change pattern by receiving sound waves which is received after generating sound sources. The sound field change sensing device senses an abnormal situation by reading the sound field change pattern. The operating device notifies a dangerous situation to an external device by receiving the sound field change pattern when sensing the abnormal situation. The security system measures a signal to noise ratio (SNR) value which is a rate with an initial acoustic transfer function deviation (Noise) for a change value of an acoustic transfer function during a regular time period and obtains it. [Reference numerals] (100) Sound field change sensing device; (130) Control unit; (140) Memory; (150) Communications module; (200) Operating device; (300) Response device; (AA) Sound generating unit; (BB) Sound receiving unit; (CC) Image obtaining unit
Abstract translation: 目的：提供一种安全系统及其方法，以提高可靠性，同时防止非工作和故障，并通过检测安全空间中是否发生故障，提供低成本/低功率/高可靠性的安全监控系统技术; 通过使用集成模块通过对声音传送特性变化的模式测量来感测信息。 构成：通过声场变化模式分析的安全系统包括声场变化感测装置（100）和操作装置（200）。 声场变化检测装置安装在固定的监视空间内，通过接收声源产生的声波来测量声场变化模式。 声场变化检测装置通过读取声场变化模式来感测异常情况。 操作装置在感测异常情况时通过接收声场变化模式向外部装置通知危险情况。 安全系统测量信噪比（SNR）值，其是在正常时间段内对声传递函数的变化值具有初始声传递函数偏差（Noise）的速率并获得的。 （附图标记）（100）声场变化检测装置; （130）控制单元; （140）内存; （150）通讯模块; （200）操作装置; （300）响应装置; （AA）发声单元; （BB）声音接收单元; （CC）图像获取单元
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公开(公告)号：KR101271517B1
公开(公告)日：2013-06-07
申请号：KR1020090076993
申请日：2009-08-20
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H04R1/40 , G10K11/178 , H04R3/00
Abstract: 본 발명은 음향 다중 극자 어레이를 구성하는 제1, 2 음향 소자를 서로 다른 음향 특성을 갖도록 또는 서로 동일한 음향 특성을 갖도록 각각 패키징하고, 전방과 후방에 상기 제1, 2 음향 소자를 서로 나란히 배열한 후, 상기 제1, 2 음향 소자에 동일한 크기를 가지면서 서로 다른 위상을 갖는 음원을 각각 입력하여 전방으로의 지향 특성이 향상되도록 하면서 후방으로의 방사 특성이 저감되도록 한 것을 특징으로 한다.
음향 다중 극자, 쌍극자, 단극자, 지향
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