公开(公告)号：EP1244900B1

公开(公告)日：2005-01-05

申请号：EP01900885.3

申请日：2001-01-05

Applicant: ROSEMOUNT INC.

Inventor： ROMO, Mark, G. ,  RUD, Stanley, E., Jr. ,  LUTZ, Mark, A. ,  SITTLER, Fred, C. ,  TOY, Adrian, C.

IPC: G01L9/12

CPC classification number: G01L9/0075 ,  B81B7/0006

Abstract: An isolated connection is formed by growing interconnects from the grain growth of an electrically conductive grain growth material (16) inside an MEMS device (10) after the device (10) is bonded together. The material used for grain growth of electrical contacts is deposited inside a cavity (18) formed between first (12) and second layers (12) of the device (10).

公开(公告)号：EP1244900A1

公开(公告)日：2002-10-02

申请号：EP01900885.3

申请日：2001-01-05

Applicant: ROSEMOUNT INC.

Inventor： ROMO, Mark, G. ,  RUD, Stanley, E., Jr. ,  LUTZ, Mark, A. ,  SITTLER, Fred, C. ,  TOY, Adrian, C.

IPC: G01L9/12

CPC classification number: G01L9/0075 ,  B81B7/0006

Abstract: An isolated connection is formed by growing interconnects from the grain growth of an electrically conductive grain growth material (16) inside an MEMS device (10) after the device (10) is bonded together. The material used for grain growth of electrical contacts is deposited inside a cavity (18) formed between first (12) and second layers (12) of the device (10).

公开(公告)号：EP1244899A2

公开(公告)日：2002-10-02

申请号：EP00988200.2

申请日：2000-12-20

Applicant: ROSEMOUNT INC.

Inventor： LUTZ, Mark, A. ,  FRICK, Roger, L. ,  SITTLER, Fred, C. ,  TOY, Adrian, C.

IPC: G01L9/12

CPC classification number: G01L9/0075

Abstract: A pressure sensor (100, 222) integrally formed in the shape of a beam (102) around a central channel. The beam (102) has an integral blind end (104) that is pressurized by the fluid. The beam has an opposite end (106) that is shaped to provide a stepped corner (107) with a gap (108) opening at the base of the stepped corner (107), where the gap (108) and isolated from the fluid. A sensing film (112) in the channel adjacent the blind end (104) has an electrical parameter that varies with pressure and electrical leads (110) that extend from the channel and out the gap. A seal (115) fills the gap (108) around the leads (110) and the seal (115) fills a portion of the stepped corner (107). The sensor (100) is preferably formed by direct bonding of single crystal alumina layers (114, 116). Applications include industrial pressure transmitters, aerospace and turbine engine pressure sensing.

公开(公告)号：EP1244898A1

公开(公告)日：2002-10-02

申请号：EP00988199.6

申请日：2000-12-20

Applicant: ROSEMOUNT INC.

Inventor： SITTLER, Fred, C.

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0075 ,  G01L19/0046 ,  G01L19/0681

Abstract: A pressure sensor capsule with a beam shaped sensor body, made of direct bonded layers (96, 98) of single crystal sapphire, surrounding a hollow central channel (102). A first beam end (104) receives pressure and a second beam end (106) has electrical contact pads and there is a mounting surface (108) between the ends (104, 106). The central channel (102) has a narrower width (112) passing through the mounting surface (108). An isolation plate is brazed to the mounting surface (108). Pressure sensing film is in the first end (104) with leads extending through the channel (102) to the electrical contact pads. The beam having a notch (105) at the second end (106), forming an isolated lead surface (152) on the central channel (102) where the electrical contact pads are accessible.

公开(公告)号：EP0757780A1

公开(公告)日：1997-02-12

申请号：EP95917723.0

申请日：1995-04-27

Applicant: ROSEMOUNT INC.

Inventor： SITTLER, Fred, C. ,  HOWARD, Kathryn, M.

IPC: G01B7 ,  F16K37 ,  G01D5

CPC classification number: G01D5/145 ,  F16K37/0033 ,  F16K37/0041 ,  G01D5/12 ,  Y10T137/8242

Abstract: A magnet (16) mounted on a moving stem (12) or rotary member of a valve generates magnetic flux over part of a stationary member (14) of the valve which has a uniquely patterned set of magnetoresistive sense resistors (RSIG0-RSIG4) and three reference resistors (130, 134, 148) disposed thereon. The distance between two adjacent patterns can be equally spaced, or can be compressed for valves with non-linear characteristics in order to achieve increased resolution over a specific portion of the valve travel. Other embodiments can use a light source, beta radiation or neutron radiation as the source of flux, the pattern for each embodiment's sensor having some material responsive and some unresponsive to the flux. The sensor (18) can provide feedback representative of position in a valve positioner, or functions as the position sensor in a position transmitter.

Abstract translation: 安装在阀的活动杆（12）或旋转构件上的磁体（16）在阀的固定构件（14）的一部分上产生磁通量，该构件具有唯一图案化的一组磁阻感测电阻器（RSIG0-RSIG4）和 布置在其上的三个参考电阻器（130,134,148）。 两个相邻图案之间的距离可以是等间距的，或者可以对具有非线性特征的阀进行压缩，以便在阀行程的特定部分上实现更高的分辨率。 其他实施例可以使用光源，β辐射或中子辐射作为通量源，每个实施例的传感器的图案具有一些材料响应并且一些对通量不响应。 传感器（18）可以提供表示阀定位器中的位置的反馈，或者用作位置传感器中的位置传感器。

公开(公告)号：EP0400063A1

公开(公告)日：1990-12-05

申请号：EP89902875.0

申请日：1989-02-07

Applicant: ROSEMOUNT INC.

Inventor： SITTLER, Fred, C. ,  NETI, Radhakrishna, M. ,  TOY, Adrian, C.

IPC: G01N27

CPC classification number: G01N27/423

Abstract: La présente invention décrit un élément à l'état solide (12) de détection de l'humidité, constitué par une fine pellicule. L'élément de détection (12) est fabriqué par le dépôt en fines péllicules d'au moins une paire de deux électrodes en couche (32 et 34) sur une surface isolante (27). La surface active de l'élément (12) est ensuite recouverte par une couche de matière hygroscopique (30) et placée dans un logement (14) de limitation de la diffusion pour compléter l'unité à élément de détection (10).

Abstract translation: 本发明公开了一种由薄膜组成的用于水分检测的固态元件（12）。 感测元件（12）通过在绝缘表面（27）上沉积至少一对两层电极（32和34）而形成。 然后元件（12）的有效表面被一层吸湿材料（30）覆盖并放置在扩散限制壳体（14）中以完成检测元件单元（10）。

公开(公告)号：EP0380581A1

公开(公告)日：1990-08-08

申请号：EP88909490.0

申请日：1988-09-28

Applicant: ROSEMOUNT INC.

Inventor： SITTLER, Fred, C. ,  CRABTREE, James, H.

IPC: G01F1 ,  G01N27 ,  G01P5 ,  G01N30

CPC classification number: G01F1/6845 ,  G01F1/684 ,  G01N27/18 ,  G01N2030/025

Abstract: Un dispositif (10) de détection d'effets thermiques comprend un substrat semiconducteur (15) supportant une couche isolante (14) sur laquelle est déposée une fine pellicule de platine (12, 13, 16, 21). Des trous (17, 20) sont pratiqués par attaque dans le substrat semiconducteur et dans la couche isolante. La pellicule de platine est façonnée de façon à former un serpentin à résistance (16) suspendu au-dessus de l'un des trous (17). Le serpentin est suspendu au bord du trou mais ne comporte aucun autre point de support. Le serpentin à résistance présente une masse thermique faible et la résistance thermique est faible entre l'élément et le fluide contenu dans le détecteur. Le détecteur détecte les propriétés thermiques du fluide contenu dans le détecteur, telles que le débit-masse ou la conductivité thermique. Une seconde pellicule conductrice est déposée isolante sur la première pellicule pour former un détecteur à résistance (23) électriquement isolé d'un élément chauffant à résistance (16').

公开(公告)号：EP0327535A1

公开(公告)日：1989-08-16

申请号：EP87901835.0

申请日：1987-02-06

Applicant: ROSEMOUNT INC.

Inventor： SITTLER, Fred, C. ,  TOY, Adrian, C.

IPC: G01K7 ,  H01C1 ,  H01C7 ,  H01C17

CPC classification number: G01K7/183 ,  H01C1/028 ,  H01C7/021

Abstract: Le thermomètre à résistance en platine en pellicule mince pouvant fonctionner à des températures élevées comprend une fine couche diélectrique (24) recouvrant l'élément de détection (14) de température à résistance en platine en pellicule mince et une couche-barrière (26) recouvrant la couche diélectrique (24). La couche-barrière (26), qui est de préférence en bioxyde de titane, résiste à la diffusion de contaminants qui pourraient altérer les caractéristiques électriques de l'élément de détection (14) tout en permettant la diffusion d'oxygène à travers la couche-barrière (26).

Abstract translation: 能够在高温下操作的薄膜铂电阻温度计包括一薄介电层（24）覆盖所述感测元件（14）铂电阻温度薄膜和覆盖的阻挡层（26） 介电层（24）。 阻挡层（26），其优选为二氧化钛，抗污染物的扩散，可以改变感测元件（14）的电气特性，同时通过允许层氧扩散 屏障（26）。