公开(公告)号：CN102583974A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201110372600.7

申请日：2011-09-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  关泽修 ,  柳泽直树

IPC: C03B20/00 ,  G03F1/22

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/62 ,  C03B2207/64 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/42

Abstract: 本发明涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。通过以下方法制备适合作为EUV光刻部件的所述掺杂二氧化钛的石英玻璃：通过燃烧器喷嘴供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体以及氢气和氧气，使反应气体氧化或火焰水解以形成合成氧化硅-二氧化钛精细颗粒，在旋转靶上沉积二氧化硅-二氧化钛精细颗粒，及同时熔化和玻璃化该沉积的颗粒以生长掺杂二氧化钛的石英玻璃锭。缩回靶以保证锭生长前沿距离燃烧器喷嘴至少250mm。

公开(公告)号：CN102436136A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201110218545.6

申请日：2011-05-24

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 松井晴信 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC: G03F1/64 ,  B24B29/02

CPC classification number: C03C3/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03C19/00 ,  C03C2201/42 ,  C03C2204/08 ,  G03F1/24 ,  G03F1/60 ,  G03F7/0002 ,  Y10T428/24355

Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底及其制备方法。该衬底具有包括132mm2中央表面区域的6平方英寸的表面。132mm2的中央表面区域具有最多50nm的平整度。通过从148mm2中央表面区域减去132mm2中央表面区域得到的框架区域具有最多150nm的平整度。

公开(公告)号：CN100519454C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200410038506.8

申请日：2004-04-26

Applicant: 肖特公开股份有限公司

Inventor： 赫拉巴努什·哈克 ,  约尔格·舒马赫尔 ,  马蒂亚斯·施米特 ,  安德烈亚斯·门策尔

IPC: C03B8/04 ,  C03B19/06 ,  C03B5/24 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03C4/0085 ,  C03B19/1407 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1469 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/06 ,  C03C2201/42 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明公开了一种制造掺杂石英玻璃的玻璃体的方法。该方法涉及火焰水解，其中用于形成掺杂玻璃的前体与燃料气体一起加入到单燃烧炉(14)中。第一成形体(24)在靶(28)上形成。用此方法制得的掺杂石英玻璃具有很低的缺陷密度和宽度很小的条痕。优选地，随后将第一成形体成形为比所述第一成形体具有较大宽度和较小长度的第二成形体。从而使得掺杂石英玻璃中的条痕宽度和缺陷密度进一步降低。

公开(公告)号：CN1220075C

公开(公告)日：2005-09-21

申请号：CN00807274.4

申请日：2000-05-08

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： A·J·埃利森 ,  K·罗斯季斯拉夫

IPC: G02B6/00 ,  G02B6/16

CPC classification number: G02B6/02114 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/0183 ,  C03B2201/58 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/58 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/44 ,  G02B6/021 ,  G02B6/02138 ,  G02B6/0219

Abstract: 本发明涉及用作光纤(1)的玻璃制品，其纤芯(4)掺杂了一种可以明显增加折射率的硫族元素。本发明的主题是新颖的、掺杂的二氧化硅纤芯成份，采用等离子体增强化学汽相沉积法(PECVD)将二氧化硅中一部分氧用硫、硒或碲来置换。设计这些组份，使具有高于二氧化硅的折射率、低膨胀系数、高透光性以及适当的粘度和软化点，从而使之成为用作光纤的理想候选品。

公开(公告)号：CN1051062C

公开(公告)日：2000-04-05

申请号：CN96191236.7

申请日：1996-10-10

Applicant: 皇家菲利浦电子有限公司

Inventor： R·J·帕特 ,  J·J·添马曼斯

IPC: C03C3/06 ,  H01K1/28

CPC classification number: H01K1/32 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/42

Abstract: 带有一石英玻璃灯容器(1)或围绕灯容器的封皮(4′)的电白炽灯在发光体(3)的侧面区域带有红色掺杂物。带有红色掺杂物的石英玻璃含有一氧化钐，氧化铝、二氧化钛和二氧化硅。分析玻璃的组成，以氧化物形式的含有1-3%重量的Sm2O3，不到3%重量的Al2O3，TiO2，其余为SiO2，Al/Sn的摩尔比至少约为2，并且Sm/Ti的摩尔比为2-8。

公开(公告)号：CN109195716A

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201780032689.8

申请日：2017-03-31

Applicant: PPG工业俄亥俄公司

Inventor： P·里格斯特拉 ,  李洪

IPC: B05D3/02 ,  B32B5/02

CPC classification number: C08J5/08 ,  B29C70/00 ,  B32B5/02 ,  C03C3/087 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54 ,  C03C2201/60 ,  C08J2377/00 ,  C08K5/544 ,  C08K7/14 ,  C08L23/26 ,  C08L53/00 ,  C08L75/06 ,  C08L77/06

Abstract: 包含玻璃组合物(和在特别的实施方式中玻璃纤维)的复合材料。本发明的实施方式涉及包含再循环材料和玻璃纤维的复合材料。本发明另外的实施方式涉及改善复合材料性能的方法。

公开(公告)号：CN105271649B

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201510427428.9

申请日：2015-07-20

Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司

Inventor： 马尔特·斯威林 ,  马丁·特罗姆尔 ,  斯特芬·兹瓦格

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03B19/066 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B23/045 ,  C03B23/095 ,  C03B23/099 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01453 ,  C03B37/0146 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/46

Abstract: 本发明涉及生产掺杂石英玻璃的方法。此外，本发明涉及根据所述方法能够获得的石英玻璃及其在光学领域中的应用，例如用作光学组件。

公开(公告)号：CN107922235A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680048713.2

申请日：2016-08-18

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： D·L·巴特勒 ,  M·J·德内卡 ,  D·W·霍托夫 ,  D·R·鲍尔斯 ,  P·坦登

IPC: C03B19/14 ,  C03C17/02 ,  C03C23/00 ,  C03C13/04 ,  G02B6/132 ,  C03C27/10 ,  C03C17/34

CPC classification number: C03B19/1492 ,  B32B17/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01466 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/42 ,  C03B2203/12 ,  C03B2207/20 ,  C03C13/045 ,  C03C17/02 ,  C03C17/3417 ,  C03C23/0025 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/08 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  G02B6/00 ,  G02B6/132

Abstract: 本文公开了分层玻璃结构和制造方法。所述方法包括使烟炱沉积在致密玻璃基材上以形成复合结构，并且烧结该复合结构以形成分层玻璃结构。致密玻璃基材可由已改性成包含平面表面的光纤预制件来得到。复合结构可包含一个或更多个烟炱层。分层玻璃结构可通过结合多个复合结构以形成堆叠、随后对该堆叠进行烧结和熔合来形成。可将分层玻璃结构进一步加热至软化，并且进行拉制以控制线性尺寸。分层玻璃结构或拉制的分层玻璃结构可配置成平面波导。

公开(公告)号：CN105189377B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201480008373.1

申请日：2014-02-07

Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司

Inventor： 海因茨·费边 ,  斯蒂芬·托马斯

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1415 ,  C03B19/14 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/34 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40

Abstract: 用于制造钛掺杂合成石英玻璃的已知方法，包括以下工序步骤：(A)提供液态SiO2原材料(105)，其包含大于60重量％的聚烷基硅氧烷D4；(B)蒸发所述液态SiO2原材料(105)，以产生气态SiO2原料气(107)；(C)蒸发液态TiO2原材料(205)，以产生气态TiO2原料气(207)；(D)分别将SiO2原料气(107)和TiO2原料气转化为SiO2颗粒和TiO2颗粒；(E)将所述SiO2颗粒和TiO2颗粒沉积在沉积表面(160)上，同时形成钛掺杂的SiO2烟灰体(200)；(F)玻璃化所述钛掺杂的SiO2烟灰体，同时形成合成石英玻璃，其中所述合成石英玻璃的TiO2浓度在5重量％至11重量％之间。根据本发明的范围，液态SiO2原材料(105)包括至少一种由聚烷基硅氧烷D3构成的额外组分，其重量分数为mD3，以及一种由聚烷基硅氧烷D5构成的额外组分，其重量分数为mD5，重量比mD3/mD5的范围在0.01至1之间，并且所提供的液态SiO2原材料(105)被蒸发，同时保持重量比mD3/mD5，并且其至少99重量％被蒸发以形成气态SiO2原料气(107)。

公开(公告)号：CN106082677A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610394546.9

申请日：2016-06-06

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 何冬兵 ,  李顺光 ,  孙时宇 ,  胡丽丽

IPC: C03C10/04 ,  C03C3/095 ,  C03B32/02

CPC classification number: C03C10/0009 ,  C03B32/02 ,  C03C3/095 ,  C03C2201/3423 ,  C03C2201/42

Abstract: 一种掺铈、钛的紫外截止高铝硅酸盐微晶玻璃，该滤光管玻璃摩尔百分比组成范围为SiO2：40～50mol％，Al2O3：25～35mol％，MgO：5～10mol％，ZnO：0～5mol％；Li2O：0‑5mol％，TiO2：5～10mol％，ZrO2：0～5mol％，CeO2：3～8mol％。所制的玻璃热导率在1.0‑1.2W/MK之间，热膨胀在50‑60×10‑7/K之间。所制备的玻璃通过研磨、抛光、微晶热处理后，即可实现对氙灯光谱200‑600nm范围的可调谐截止，本发明可降低氙灯转换热效率达到50％以上，减少钕玻璃在氙灯泵浦情况下的热畸变60％以上，进而提高钕玻璃激光器的重复工作频率，有望用于今后的百瓦重频高能量钕玻璃激光系统中。