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公开(公告)号：JP2015535938A
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：JP2015535764
申请日：2013-10-02
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション , ケーエルエー−テンカー コーポレイション
CPC classification number: G01J1/4257 , G01J1/0437 , G01J1/0444
Abstract: 本開示は照明光源から発する照明ビームの少なくとも1つの特性を決定するシステムおよび方法を目的とする。1つ以上のレベルの焦点で異なる空間オフセットの開口部が照明ビームを通って走査されるように、複数の開口部を有する基板を、照明ビームを通って作動させることができる。走査された開口部を通って方向付けられる照明の部分を、少なくとも1つの検出器によって受け取ることができる。検出された照明の部分に関連した強度レベルに関連したデータ点から、照明ビームの少なくとも1つの特性を抽出することができる。さらに、ある期間にわたってなされた複数のビーム特性の決定が照明光源を較正するために利用できる。
Abstract translation: 本公开涉及一种系统和方法，用于确定从所述照明源发射的照明光束的至少一个特性。 如在一个或多个级别不同的空间偏移的开口集中的是通过照射光束扫描时，具有多个开口的基板，可以通过照射光束操作。 通过扫描开口被引导的照明的部分可以由至少一个检测器接收到。 从与检测到的照明的所述部分相关联的强度电平相关联的数据点可被提取出的照明光束的至少一个特性。 此外，它可以被用来确定多个射束属性的经一段时间，以照明源校准制成。
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公开(公告)号：JP2011257390A
公开(公告)日：2011-12-22
申请号：JP2011114079
申请日：2011-05-20
Applicant: Enc Technology Co Ltd , イーエヌシー テクノロジー カンパニー、リミテッド
Inventor： LEE CHEN I , CHIN SAN-YON , MUN GEUN SU
IPC: G01J1/04
CPC classification number: G01J1/02 , G01J1/0266 , G01J1/04 , G01J1/0411 , G01J1/0422 , G01J1/0437 , G01J1/0444 , G01J1/0448
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-speed optical measuring apparatus that minimizes an increase in product inspection cost due to a large display apparatus and the aggregation of objects by reducing optical measuring time employing a high-speed operation, fixation of objects, and an optical measuring sensor.SOLUTION: A high-speed optical measuring apparatus of the present invention comprises an object lens portion that adjusts the size of and enters light of an object having multiple measurement positions or the entire aggregation of objects, a light path portion that changes the light path of the light entered from the object lens portion, a control circuit portion that outputs a control signal that changes the direction of light, a measurement sensor that measures incident light, and an ocular lens portion that matches the light in which the direction thereof is changed by the light path portion to the size and position of the measurement sensor.
Abstract translation: 解决的问题：提供一种高速光学测量装置，通过减少使用高速操作的光学测量时间，最大限度地减少由于大型显示装置引起的产品检查成本的增加和物体的聚集，固定 物体和光学测量传感器。 解决方案：本发明的高速光学测量装置包括：物镜部分，其调节具有多个测量位置的物体的尺寸和入射光，或物体的整体聚集;光路部分，其改变 从物镜部分输入的光的光路，输出改变光的方向的控制信号的控制电路部分，测量入射光的测量传感器和与其方向匹配的光的眼镜透镜部分 被光路部分改变为测量传感器的尺寸和位置。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT
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公开(公告)号：KR1020050065900A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020030097062
申请日：2003-12-26
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01J4/04
CPC classification number: G01J4/04 , G01J1/0444 , G01R13/403 , H04N9/3197
Abstract: 본 발명은 집적 광 픽업 헤드(integrated optical pickup head, IOPH)를 광 자기 헤드로 구현하기 위해 필요한 Kerr 각도 측정 모듈에 관한 것이다. 본 발명의 Kerr 측정 모듈은 포토 다이오드, 홀로그래픽(holographic) 입력 커플러, 홀로그래픽 편광빔 분리기, 프리즘 등으로 구성되며, 실리카 기판으로 만들어진 광 도파로 격자렌즈(Focusing waveguide grating coupler)와 결합되어 광 자기 디스크로부터 반사되는 빔의 회전된 편광각을 검출하는 기능을 갖는다. 디스크에 반사된 빔은 격자렌즈에 의해 도파로를 따라 커플링되지만, 그 중 일부는 커플링되지 않고 실리카 기판을 투과하여 입력 커플러로 입사한다. 홀로그래픽 격자로 이루어진 입력 커플러는 홀로그래픽 편광빔 분리기의 빔 입사각을 만든다. 입력 커플러에 의해 회절된 빔 중 p 파는 편광빔 분리기를 투과하고(0차 회절), s 파는 브래그(Bragg) 조건을 만족하는 각도로 회절(1차 회절)한다. 편광 분리된 두 빔은 프리즘을 투과하여 분리되고, 공간적으로 분리된 빔은 포토 다이오드에 의해 각각의 파워가 검출된다.
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公开(公告)号：KR1020150078862A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：KR1020130168655
申请日：2013-12-31
Applicant: (주)엔에스
IPC: G01J1/04
CPC classification number: G01J1/0403 , G01J1/0444 , G01J1/44 , H01S5/0687
Abstract: 본발명은레이저출사감지장치에있어서, 미리정해진주기로연속적으로출사되는레이저를감지할수 있는레이저출사감지장치에있어서, 광신호를전기신호를변환시킬수 있는광전변환소자를구비하며, 레이저의적어도일부를전달받아전기신호로변화시키는광전변환부, 광전변환부에의하여변환된전기신호를미리정해진이득으로증폭하는증폭부, 증폭부에의하여증폭된전기신호의듀티(duty) 비율을미리정해진비율로조정하는파형조정부, 및파형조정부에의하여듀티비율이조정된전기신호의출력값을미리정해진주기마다측정하여레이저의출사여부를판단하는마이컴을포함하며, 레이저가주기에비해매우작은펄스폭을가지는경우에도레이저의출사여부를정확하게감지할수 있다.
Abstract translation: 本发明包括：光电转换单元，其包括能够将光信号转换为电信号并接收至少一部分激光束并将其转换为电信号的光电转换装置; 放大单元，用于将由光电转换单元转换的电信号放大为预定增益; 波形调整单元，以预定比例调整由放大单元放大的电信号的占空比; 以及微型计算机，通过在能够感测激光的激光发射装置的情况下，通过测量在波形调整单元中调整占空比的电信号的输出值来确定是否发射激光束 在预定周期顺序发射的光束。 即使激光束的脉冲宽度比一个周期更小，也能够精确地检测出激光的发射。
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公开(公告)号：JP2018118267A
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：JP2017010376
申请日：2017-01-24
Applicant: 株式会社ディスコ
CPC classification number: G01B11/24 , G01J1/0266 , G01J1/0403 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/0418 , G01J1/044 , G01J1/0444 , G01J1/0448 , G01J1/0462 , G01J1/4228 , G01J1/4257 , G01J2001/4242
Abstract: 【課題】短時間で効率よくレーザー光線の正確なスポット形状を検出することにある。 【解決手段】レーザー光線LB1を集光する集光レンズ31と、集光点Pと集光レンズとの間に配置されるビームスプリッター32と、複数のミラー6a’〜6q’を同心円上に配設したミラーホルダ6と、ミラーホルダを所定の周期で回転するモータと、複数のミラー6a’〜6q’によって順次反射されるレーザー光線の戻り光LB2をビームスプリッターで分岐する方向に配設され戻り光LB2のスポット形状を撮像する撮像手段33と、撮像手段によって撮像された画像を複数のミラー6a’〜6q’に関連付けて表示する表示手段と、から少なくとも構成され、複数のミラー6a’〜6q’は、撮像手段の撮像位置に集光点Pが徐々に近づき撮像位置に至り撮像位置から徐々に遠ざかるように配設されている、スポット形状検出装置1が提供される。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP5700293B2
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：JP2011114079
申请日：2011-05-20
Applicant: イーエヌシー テクノロジー カンパニー、リミテッド
IPC: G01J1/04
CPC classification number: G01J1/02 , G01J1/0266 , G01J1/04 , G01J1/0411 , G01J1/0422 , G01J1/0437 , G01J1/0444 , G01J1/0448
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公开(公告)号：KR101195841B1
公开(公告)日：2012-10-30
申请号：KR1020100053827
申请日：2010-06-08
Applicant: 주식회사 이엔씨 테크놀로지
CPC classification number: G01J1/02 , G01J1/0266 , G01J1/04 , G01J1/0411 , G01J1/0422 , G01J1/0437 , G01J1/0444 , G01J1/0448
Abstract: 고속 광학 측정 장치가 개시된다. 본 발명의 고속광학 측정장치는 복수 측정 위치를 갖는 대상물 또는 복수 대상물의 집합체 전체의 광의 크기를 조절하여 입사시키는 대물렌즈부와 대물렌즈부로부터 입사된 광의 광경로를 변경하는 광경로부, 광의 진행 방향을 변경하는 제어신호를 출력하는 제어회로부, 입사된 광을 측정하는 측정 센서와 상기 광경로부에서 진행 방향을 변경한 광을 상기 측정 센서의 크기와 위치에 일치시키는 대안렌즈부로 구성함으로써, 빠른 동작 속도와 고정된 위치의 대상물, 광학 측정 센서를 이용하여 광학 측정 시간을 단축함으로써 디스플레이 장치의 대면적화, 복수 대상물의 집합체화에 따른 제품 검사 비용의 상승을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：JP2013047667A
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：JP2012135660
申请日：2012-06-15
Applicant: Raytheon Co , レイセオン カンパニー
Inventor： HOWARD M DE RUYTER
CPC classification number: G01J5/522 , G01J1/0295 , G01J1/0411 , G01J1/0444 , G01J3/0202 , G01J3/021 , G01J3/0235 , G01J3/28 , G01J5/0809 , G01J5/084
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a calibration system for an infrared sensor responsive to electromagnetic radiation from various types of radiation sources or for all broadband detectors.SOLUTION: A calibration system includes a plurality of radiation sources 304 mounted on a base member 302 in a fixed manner and a positioning mechanism 306 mounted on the base member. Each of the radiation sources is maintained at a different temperature and configured to emit electromagnetic radiation. The positioning mechanism includes a movable member having a single degree of freedom with respect to a plurality of optical members 310 disposed on the movable member 308. Each optical member corresponds to one of the radiation sources and each optical member is configured to be movable at least between a calibration position and a non-calibration position. The optical member is configured, in the case where the optical member is at the calibration position, to receive electromagnetic radiation from the corresponding radiation source and to reflect the electromagnetic radiation to a detector.
Abstract translation: 要解决的问题：提供响应于来自各种类型的辐射源或所有宽带检测器的电磁辐射的红外传感器的校准系统。 解决方案：校准系统包括以固定方式安装在基座构件302上的多个辐射源304和安装在基座构件上的定位机构306。 每个辐射源被保持在不同的温度并被配置成发射电磁辐射。 定位机构包括相对于设置在可动构件308上的多个光学构件310具有单个自由度的可动构件。每个光学构件对应于一个辐射源，并且每个光学构件被构造成至少可移动 在校准位置和非校准位置之间。 光学构件在光学构件处于校准位置的情况下被配置成从相应的辐射源接收电磁辐射并将电磁辐射反射到检测器。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT
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公开(公告)号：JP5028249B2
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：JP2007332935
申请日：2007-12-25
Applicant: オリンパス株式会社
CPC classification number: G02B21/14 , G01J1/04 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/0444 , G01J1/0462 , G01J1/08 , G02B26/007
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公开(公告)号：JP2009156977A
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：JP2007332935
申请日：2007-12-25
Applicant: Olympus Corp , オリンパス株式会社
Inventor： HAYASHI KAZUHIRO , SUKEGAWA MINORU , KONO TAKAYUKI
CPC classification number: G02B21/14 , G01J1/04 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/0444 , G01J1/0462 , G01J1/08 , G02B26/007
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microscope with which centering operation of a pupil modulating element can be easily performed and which excels in operability.
SOLUTION: The microscope 100 includes: a light source 1 and a condenser lens 4 which are an illuminating optical system that illuminates a sample 5; a ring slit 2 which is arranged on a side of the illuminating optical system; a turret 3 which holds the ring slit 2; a rotary shaft 3a which revolves the turret 3 to move the ring slit 2 along an orbital circumference 17 on a plane perpendicular to an optical axis L; an imaging lens 8 and a relay lens 11 which are a relaying optical system that relays a pupil of an objective lens 6; a phase plate 12 which is arranged on a side of the relaying optical system; a turret 13 which holds the phase plate 12; and a rotary shaft 13a which revolves the turret 13 to move the phase plate 12 along an orbital circumference 18 on a plane perpendicular to the optical axis L. The orbital circumference 17 is orthogonal to the orbital circumference 18 within the pupil of the objective lens 6 when viewed from a direction along an optical axis L.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPITAbstract translation: 要解决的问题：提供可以容易地进行瞳孔调制元件的对中操作并且操作性优异的显微镜。 解决方案：显微镜100包括：照明样品5的照明光学系统的光源1和聚光透镜4; 环形狭缝2，其布置在照明光学系统的一侧; 保持环形狭缝2的转台3; 旋转轴3a，其使转台3旋转，以使环形狭缝2沿着轨道圆周17垂直于光轴L移动; 作为中继物镜6的光瞳的中继光学系统的摄像透镜8和中继透镜11; 配置在中继光学系统一侧的相位板12; 保持相位板12的转台13; 以及旋转轴13a，其旋转转台13，以在垂直于光轴L的平面上沿着轨道圆周18移动相位板12.轨道周边17与物镜6的光瞳内的轨道圆周18正交 当从沿着光轴L的方向观察时。（C）2009，JPO＆INPIT
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