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公开(公告)号：CN104485368B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201410801990.9
申请日：2014-12-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/036 , H01L31/111 , H01L27/144
Abstract: 本发明提供一种由太赫兹波调控的超晶格器件结构,至少包括：半导体超晶格器件；该半导体超晶格器件设有衬底及位于其上且由势垒和势阱交替堆叠而成的周期性结构；位于该周期性结构上的重掺杂接触层及该重掺杂接触层上的上电极；与该半导体超晶格器件构成闭合回路的电阻、施加于超晶格生长方向的太赫兹波及施加于垂直于超晶格生长方向的磁场。将太赫兹波耦合进超晶格实现了对电子运动状态的调控。在太赫兹场和磁场作用下，通过测量超晶格外电路的电流或者电阻两端的电压得到超晶格微带电子的运动状态。本发明的器件结构工艺简单，可以很方便的实现对超晶格体系中电子运动状态的调制。
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公开(公告)号：CN106409940A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201611152276.7
申请日：2016-12-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/0352 , H01L31/109
CPC classification number: H01L31/035272 , H01L31/109
Abstract: 本发明提供一种单行载流子光电二极管的收集区结构，所述收集区结构包括掺杂区和非掺杂区，其中，所述掺杂区靠近吸收区一侧。通过本发明提供的单行载流子光电二极管的收集区结构，解决了现有单行载流子光电二极管因空间电荷效应饱和电流较小的问题，进一步提升了单行载流子光电二极管的饱和电流。
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公开(公告)号：CN105742961A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610255445.3
申请日：2016-04-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件及其制作方法，所述器件包括：半绝缘GaAs衬底；位于该衬底上表面的GaAs缓冲层；位于该缓冲层表面的n型重掺杂下接触层；位于该下接触层表面的有源区；位于有源区表面的n型重掺杂上接触层；位于n型重掺杂上接触层表面且各自分隔的第一、第二、第三上电极金属层，第一上电极金属层与第二上电极金属层之间设有凹至GaAs缓冲层的深隔离槽，第三上电极金属层为退火后可形成高波导损耗的上电极金属层；以及位于n型重掺杂下接触层表面及有源区两侧的下电极金属层。通过本发明提供的一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件及其制作方法，解决了现有技术中无法测得THz QCL在可工作电流密度范围内完整的增益谱变化情况的问题。
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公开(公告)号：CN103715291B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201310746552.2
申请日：2013-12-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/08
Abstract: 本发明提供一种太赫兹光电探测器，所述太赫兹光电探测器至少包括：表面覆盖有介质层的衬底、形成于所述介质层表面的单层石墨烯、设置于所述单层石墨烯两端的第一金属电极以及形成于所述衬底背面的第二金属电极；所述第一金属电极之间设置有测量电压变化的电流源；所述第二金属电极与单层石墨烯其中一端的第一金属电极之间设置有提供偏置电压的电压源，通过调节所述偏置电压来调制所述单层石墨烯光电导的特征峰位置，从而实现太赫兹频率的探测。
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公开(公告)号：CN105552712A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610133489.9
申请日：2016-03-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: H01S5/02469 , H01S5/02256 , H01S5/02423
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器的封装装置及方法，所述装置包括铜镀金热沉及安装于所述铜镀金热沉上的太赫兹量子级联激光器、微带线、绝缘子及同轴连接器；其中：所述太赫兹量子级联激光器包括上电极及下电极，所述下电极与所述铜镀金热沉连接，所述上电极与所述微带线的一端连接；所述绝缘子上设有第一探针及第二探针，所述第一探针与所述微带线的另一端连接，所述第二探针与所述同轴连接器连接。本发明能够实现对液氦工作温度、阈值电压高、驱动电流高的太赫兹量子级联激光器的高速封装，确保在液氦温度下太赫兹量子级联激光器封装结构的输出阻抗为50Ω，太赫兹量子级联激光器具有的较宽的3dB带宽。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102394689B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201110045058.4
申请日：2011-02-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于太赫兹波的音频无线通信链路实现方法及系统。该音频无线通信链路系统包括发射端和接收端，其发射端包括驱动电路和与之连接的THzQCL，驱动电路采用强度调制，输出叠加有音频信号的驱动电压信号，从而驱动THzQCL辐射相应的太赫兹波信号；接收端包括THzQWP和与之连接的信号检测电路，信号检测电路采用光电导模式，给THzQWP加上稳定的偏压，经过跨阻放大器将通过THzQWP的光电流信号转化成电压信号，并对此电压信号滤波和放大，输出给音响设备。采用该音频无线通信链路实现方法及系统，由音频播放器输出音频信号，可在THzQWP探测端得到清晰的声音信号，成功地完成太赫兹波实时传输声音信号的演示。
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公开(公告)号：CN103928841A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410153177.5
申请日：2014-04-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器的高速调制方法及装置，该装置包括：缓冲放大器、与所述缓冲放大器的输出端连接的T型偏置器、以及与所述T型偏置器输出端连接的太赫兹量子级联激光器。本发明的太赫兹量子级联激光器的高速调制方法能够对负载大，阈值电压高，驱动电流大的太赫兹量子级联激光器进行高速强度调制，确保调制信号不失真地加载到太赫兹量子级联激光器上，避免光脉冲波形畸变。该装置结构简单，易于操作和集成，适用于未来的THz通信应用。
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公开(公告)号：CN103367473A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201210092230.6
申请日：2012-03-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/0232 , H01L31/0352 , H01L31/101
Abstract: 本发明提供一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器，包括：半导体衬底、金属反射层、多量子阱结构、以及金属光栅。所述金属光栅、多量子阱结构与金属反射层组成法布里-珀罗结构的金属共振微腔，调整所述金属光栅的周期、金属条的宽度以及多量子阱结构的厚度，使入射光子在腔体内形成符合法布里-珀罗结构的共振模，可以在金属共振微腔中形成强场区，提高了入射光的有效强度，进而提高器件的响应率、探测灵敏度和工作温度。本发明结构简单，效果显著，实用性强，适用于工业生产。
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公开(公告)号：CN102680091A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210193033.3
申请日：2012-06-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种太赫兹波的高速探测方法及装置，该装置包括对太赫兹波进行直接强度探测的THzQWP和为THzQWP提供偏置电压并将其产生的光电流转换成电压信号的跨阻放大电路；为了便于跨阻放大电路的参数设计，本发明提出了THzQWP的小信号集总电学模型，该模型由电容Cq并联旁路差分电阻Rd和光电流源Is构成；跨阻放大电路包括运算放大器、补偿电容CF和跨阻RF；运算放大器的反相输入端与THzQWP的一端相连，运算放大器的同相输入端接偏置电压；跨阻RF连接于运算放大器的输出端和反相输入端之间；补偿电容与跨阻并联；THzQWP的另一端接地。本发明可以给THzQWP提供很低的工作偏压，同时将THzQWP的光电流信号转化为电压信号，方便后面电路环节处理。
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公开(公告)号：CN102570307A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210023654.7
申请日：2012-02-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种单模大功率太赫兹量子级联激光器及其制作工艺，所述单模大功率太赫兹量子级联激光器包括位于中心的二维光子晶体波导和环绕二维光子晶体波导分布的一阶光栅波导。本发明所述的单模大功率太赫兹量子级联激光器大大增加了中心区域波导的太赫兹激光的输出功率，保证了太赫兹激光的单模窄线宽，只反馈激光器设定的工作模式，抑制横向高次模，同时还提高了光子晶体谐振腔的品质因子。
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