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公开(公告)号：CN116568117A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310126009.6
申请日：2023-02-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种可以提升电气特性的压电元件、液滴喷出头、致动器以及振子。压电元件(44)具备：第一电极(441)，其被形成在基板(36)上；种子层(442)，其被形成在第一电极(441)上；压电体膜(443)，其被形成在种子层(442)上，并含有钾、钠以及铌；第二电极(444)，其被形成在压电体膜(443)上，压电体膜(443)含有锂以及一种以上的第一过渡元素，种子层(442)含有铋，当将压电体膜(443)在层叠方向上进行二等分，并将第二电极(444)侧设为第一区域(443f)且将第一电极(441)侧设为第二区域(443s)时，第一区域(443f)和第二区域(443s)的分界(s2)处的由二次离子质谱测量而得到的铋强度为，压电体膜(443)的由二次离子质谱测量而得到的最大铋强度的五百分之一以下。
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公开(公告)号：CN116390627A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202211655936.9
申请日：2022-12-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本申请提供压电基板、压电元件及液体喷出头。该压电基板能够得到即便是在大气气氛中也具有良好的压电特性的压电元件。一种压电基板，包括：基板；第一电极，形成在所述基板上；以及压电体层，形成在所述第一电极上，并包含钾、钠和铌，针对所述压电体层的表面从垂直方向倾斜54.74°照射X射线的X射线衍射测定的Psi轴方向的扫描结果中的所述压电体层的(100)面的X射线强度峰的半宽度为大于0°且在1.2°以下。
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公开(公告)号：CN113809228A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202110653119.9
申请日：2021-06-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/047
Abstract: 本发明提供一种在作为压电体层的材料而使用了铌酸钾钠的压电元件中作为压电特性而能够获得更大的位移特性的压电元件以及压电元件应用设备。压电元件(1)具备第一电极(20)、第二电极(40)和被设置在第一电极(20)与第二电极(40)之间的压电体层(30)，其中，压电体层(30)由包括钾(K)、钠(Na)和铌(Nb)的钙钛矿型结构的复合氧化物组成，并且在基于θ‑2θ测量的X射线衍射图谱中，具有源自(100)面的第一峰、源自(010)面的第二峰和源自(001)面的第三峰。
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公开(公告)号：CN107004758A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201480084053.4
申请日：2014-12-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , C04B35/00 , H01L41/39
CPC classification number: C04B35/468 , C04B35/00 , C04B35/453 , C04B35/475 , C04B2235/32 , C04B2235/3236 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/39
Abstract: 压电材料含有：第一成分，其在单独组成中为菱面体晶，居里温度为Tc1，且由具有钙钛矿型构造的非铅系的复合氧化物构成；第二成分，其在单独组成中为菱面晶以外的结晶，居里温度Tc2比上述Tc1低，且由具有钙钛矿型构造的非铅系的复合氧化物构成；以及第三成分，其在单独组成中为与上述第二成分相同的上述菱面体晶以外的结晶，居里温度Tc3为上述Tc1以上，具有钙钛矿型构造，且由与上述第二成分不同的非铅系的复合氧化物构成，在将上述第三成分相对于上述第二成分和上述第三成分的合计的摩尔比设为α，α×Tc3+(1‑α)×Tc2＝Tc4的情况下，|Tc4‑Tc2|为50℃以下。
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公开(公告)号：CN104249561B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201410119238.6
申请日：2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/183 , B41J2/055 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , C04B35/4682 , C04B35/495 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3244 , C04B2235/3249 , C04B2235/3255 , C04B2235/3262 , C04B2235/3274 , C04B2235/3293 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , C04B2235/768 , C04B2237/76 , C04B2237/765 , G01H11/08 , H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H02N2/001 , H02N2/186
Abstract: 提供压电材料以及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置，其减少环境负担，在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高，居里温度也高。含有：第1成分，由为菱面体晶且居里温度Tc1的钙钛矿型结构复合氧化物构成；第2成分，由为菱面体晶以外的晶体且居里温度Tc2的钙钛矿型结构复合氧化物构成；第3成分，由为菱面体晶但与上述第1成分不同且居里温度Tc3的钙钛矿型结构复合氧化物构成，Tc2比Tc1高，Tc3为Tc2以上，（0.1×Tc1＋0.9×Tc2）的值为280℃以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102189794B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201110050716.9
申请日：2011-03-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 滨田泰彰
IPC: B41J2/045 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , C04B35/2633 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3298 , C04B2235/3418 , C04B2235/441 , C04B2235/768 , C04B2235/787 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种对环境友好且相对介电常数高的液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。为一种液体喷射头，具有压电元件，所述压电元件具备压电体层和设置于所述压电体层的电极，其中，所述压电体层由含有含铁酸锰酸铋和钛酸钡的钙钛矿型化合物的压电材料形成，膜厚在3μm以下，且在110面优先取向。
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公开(公告)号：CN104576916A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410573460.3
申请日：2014-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 滨田泰彰
IPC: H01L41/187 , B41J2/045
CPC classification number: H01L41/183 , B41J2/04581 , B41J2/14201 , C04B35/495 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3251 , C04B2235/768 , C04B2237/58 , C04B2237/68 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H01L41/1876 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、致动器以及电机。上述压电元件、液体喷射头以及液体喷射装置能够改善压电特性的温度依赖性。一种压电元件，其具备由压电材料构成的压电体层和夹着该压电体层的一对电极，该压电元件在最低使用温度T1至最高使用温度T2之间使用，上述压电材料包含具有钙钛矿型构造的复合氧化物，上述压电材料具有相对于温度轴倾斜的组成相界，当与该组成相界对应的温度最低为T3、最高为T4时，满足T3≤T1≤T4以及T3≤T2≤T4的式子中的至少一个。
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公开(公告)号：CN102194992B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201110050753.X
申请日：2011-03-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 滨田泰彰
CPC classification number: B41J2/14233 , B05D3/007 , B05D3/02 , B05D5/12 , C04B35/2633 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3298 , C04B2235/3418 , C04B2235/441 , C04B2235/768 , C04B2235/787 , C23C18/1208 , H01L41/187 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种能够制造对环境友好且相对介电常数高的压电体膜的压电体膜的制造方法、压电元件、液体喷射头及液体喷射装置。其具有下述工序：通过含有含Bi、Fe、Mn、Ba及Ti的金属化合物的前体溶液而形成压电体前体膜的工序，和通过加热所述压电体前体膜进行结晶化而得到在(110)面优先取向的压电体膜的工序。
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公开(公告)号：CN102194992A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110050753.X
申请日：2011-03-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 滨田泰彰
CPC classification number: B41J2/14233 , B05D3/007 , B05D3/02 , B05D5/12 , C04B35/2633 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3298 , C04B2235/3418 , C04B2235/441 , C04B2235/768 , C04B2235/787 , C23C18/1208 , H01L41/187 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种能够制造对环境友好且相对介电常数高的压电体膜的压电体膜的制造方法、压电元件、液体喷射头及液体喷射装置。其具有下述工序：通过含有含Bi、Fe、Mn、Ba及Ti的金属化合物的前体溶液而形成压电体前体膜的工序，和通过加热所述压电体前体膜进行结晶化而得到在(110)面优先取向的压电体膜的工序。
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公开(公告)号：CN102189795A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110050726.2
申请日：2011-03-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 滨田泰彰
IPC: B41J2/045 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , C04B35/2633 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3262 , C04B2235/3298 , C04B2235/3418 , C04B2235/441 , C04B2235/768 , C04B2235/787 , H01L41/0805 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种对环境友好且相对介电常数高的液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。所述液体喷射头具有压电元件，所述压电元件具备压电体层和设置于所述压电体层的电极，其中，所述压电体层由含有含铁酸锰酸铋和钛酸钡的钙钛矿型化合物的压电材料形成，膜厚在3μm以下，在(110)面优先取向，并且，来自所述(110)面的X射线衍射峰位置(2θ)为31.80°～32.00°。
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