公开(公告)号：KR100545864B1

公开(公告)日：2006-01-24

申请号：KR1020040037198

申请日：2004-05-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김태현 ,  윤병문 ,  이원준 ,  고용선 ,  김경현

IPC: H01L27/115

CPC classification number: H01L27/11521 ,  H01L21/76224 ,  H01L27/115

Abstract: FN 터널링이 충분히 발생될 수 있는 게이트 전극을 포함하는 반도체 장치의 제조 방법에서, 먼저 기판에 형성되어 있는 소자 분리 트렌치 내부를 부분적으로 매립하는 제1 필드 산화막을 형성한다. 상기 제1 필드 산화막 상부면 및 상기 소자 분리 트렌치 측벽에 노출된 기판에 상부 측벽 보호용 라이너를 형성한다. 상기 상부 측벽 보호용 라이너 상에 상기 소자 분리 트렌치를 완전히 매립하는 제2 필드 산화막을 형성한다. 상기 액티브 영역의 상부면 및 상부 측면이 노출되도록 상기 제2 필드 산화막 및 상부 측벽 보호용 라이너를 부분적으로 제거한다. 상기 액티브 영역에서 노출된 반도체 물질의 상부면 및 상부 측면 상에 유전막을 형성한다. 이어서, 상기 유전막 상에 게이트 전극을 형성한다.

Abstract translation: 在制造包括与FN隧穿可以充分地产生的栅极电极的半导体装置，以形成第一场氧化物薄膜的方法部分地嵌入在其中，在第一衬底上形成的器件隔离沟槽的内部。 上侧壁保护衬垫形成在暴露在第一场氧化物膜上表面和器件隔离沟槽侧壁上的衬底上。 在上部侧壁保护衬垫上形成第二场氧化膜以完全填充器件隔离沟槽。 第二场氧化物层和上侧壁保护衬里被部分去除，使得有源区的上表面和上表面暴露。 介电层形成在有源区中暴露的半导体材料的顶面和顶面上。 然后，在电介质膜上形成栅电极。

公开(公告)号：KR1020060006276A

公开(公告)日：2006-01-19

申请号：KR1020040055203

申请日：2004-07-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이효진 ,  김경현 ,  고용선

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/7684 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/28123 ,  H01L21/3212

Abstract: 폴리 실리콘막의 화학 기계적 연마 공정에 사용하기 위한 슬러리 조성물, 상기 슬러리 조성물을 이용한 화학 기계적 연마 방법 및 상기 방법을 이용한 게이트 패턴의 형성 방법에서, 5.67 내지 17 중량%의 연마 입자, 80 내지 93.3 중량%의 탈이온수 및 0.01 내지 3 중량%의 첨가제를 포함하는 슬러리 조성물을 사용하여 폴리 실리콘막에 대한 화학 기계적 연마 공정을 수행한다. 그 결과, 연마 정지층 위에 형성된 벌크한 폴리 실리콘막을 빠르게 연마할 수 있다. 또한, 4.25 내지 5.67 중량%의 연마 입자, 93.3 내지 95 중량%의 탈이온수, 0.01 내지 3 중량%의 첨가제 및 0.001 내지 1 중량%의 계면활성제를 포함하는 슬러리 조성물을 사용하여 폴리 실리콘막에 대한 화학 기계적 연마 공정을 수행한다. 그 결과 디싱 현상의 발생을 억제하면서 부식 현상의 발생을 감소시켜 웨이퍼 내 균일성을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050115526A

公开(公告)日：2005-12-08

申请号：KR1020040040609

申请日：2004-06-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민충기 ,  고용선 ,  김경현

IPC: H01L21/304

CPC classification number: B24D7/14 ,  B24B37/10 ,  B24B37/20

Abstract: 웨이퍼를 연마하여 평탄화하기 위한 연마 패드 어셈블리, 이를 갖는 웨이퍼 연마 장치 그리고 이들을 이용한 웨이퍼 연마 방법에서 연마 패드는 적어도 세 부분으로 나누어지고, 모든 부분이 동일한 방향으로 회전하면서 상기 웨이퍼를 연마한다. 상기 연마 패드는 적어도 한 부분이 나머지 부분과 다른 속도를 가지고 회전한다. 또한 상기 웨이퍼는 상기 연마 패드의 서로 속도가 다른 부분 사이 왕복 이동하면서 연마된다. 따라서 상기 웨이퍼의 연마시 연마 균일도를 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR100516050B1

公开(公告)日：2005-11-29

申请号：KR1019970051746

申请日：1997-10-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 첸지안민 ,  김치우 ,  류재진 ,  김경현

IPC: G02F1/1337

Abstract: 수직 배향 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판 또는 컬러 필터 기판에 톱니 모양, 사각뿔 모양, 렌즈 모양 등의 패턴을 형성한 후 수직 배향막을 인쇄한다. 패턴은 사진 공정이 가능한 무기 재료 등을 이용하여 형성하며 패턴의 크기는 10 - 20 ㎛ 정도로 한다. 이렇게 하면, 수직 배향막에 대한 별도의 러빙 등이 없이도, 기판 표면에 형성되어 있는 패턴에 의해 각각 2영역, 4영역, 원통 대칭의 배열을 갖는 수직 배향 액정 표시 장치를 얻을 수 있다. 이러한 패턴은 사진 식각 공정 또는 스탬핑 공정으로 형성할 수 있다.

公开(公告)号：KR100495811B1

公开(公告)日：2005-09-29

申请号：KR1019970057083

申请日：1997-10-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 첸지안민 ,  이혜리 ,  류재진 ,  김경현

IPC: G02F1/1343

Abstract: 액정 표시 장치의 한쪽 기판에 형성되어 있는 투명 전극에 화소당 두 개의 Y-역Y 모양의 개구부를 형성하고, 반대쪽 기판의 투명 전극에 두 개의 Y-역Y 모양의 패턴 사이의 영역을 가로 또는 세로 방향으로 가로지르는 선형의 개구부와 Y-역Y 모양의 개구부 가운데를 가로지르는 선형 개구부를 형성한다. 이렇게 하면 두 개의 Y-역Y 모양의 패턴 사이의 영역에서 발생하는 프린지 필드가 화소의 중심에 대해 대칭 구조를 이루기 때문에 발생하는 액정 배향의 불안정과 바람개비 모양의 전경을 없앨 수 있다. 그리고, 각 Y-역Y 모양의 개구부 가운데를 가로지르는 선형 개구부를 형성함으로써 계조 표시를 위해 중간 정도의 전압을 인가할 때 생기는 나머지 부분의 전경 역시 없앨 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050005242A

公开(公告)日：2005-01-13

申请号：KR1020030044253

申请日：2003-07-01

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이효진 ,  고용선 ,  황인석 ,  김경현

IPC: H01L21/28

Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a semiconductor device by a selective etch process is provided to simplify a process and eliminate the necessity of considering a misalign margin by simultaneously forming a groove and a contact hole for forming a metal interconnection and a contact plug by only one photolithography process. CONSTITUTION: An insulation layer(110) is formed on a semiconductor substrate. The insulation layer is etched to form a groove in a position where adjacent parallel metal interconnections(150a) are to be located and to form a contact hole in a position for a contact plug(160) between the metal interconnections. The groove and the contact hole are filled with metal so that a preliminary metal interconnection is formed in the groove and a contact plug is formed in the contact hole. The contact plug is protected by a photoresist mask. The preliminary metal interconnection is selectively etched to form a metal interconnection recessed from the upper surface of the insulation layer. The photoresist mask is removed. The second insulation layer(180) is additionally deposited over the metal interconnection to be planarized in parallel with the upper surface of the insulation layer.

Abstract translation: 目的：提供一种通过选择性蚀刻工艺制造半导体器件的方法，以简化工艺，并且通过同时形成用于形成金属互连的接触孔和用于形成金属互连的接触孔和仅一个接触插塞来消除考虑不对准裕度的必要性 光刻工艺。 构成：在半导体衬底上形成绝缘层（110）。 绝缘层被蚀刻以在相邻的平行金属互连（150a）将被定位的位置处形成凹槽，并且在金属互连之间的接触插塞（160）的位置形成接触孔。 凹槽和接触孔填充有金属，使得在槽中形成预备金属互连，并且在接触孔中形成接触塞。 接触塞被光致抗蚀剂掩模保护。 选择性地蚀刻初步金属互连以形成从绝缘层的上表面凹陷的金属互连。 去除光致抗蚀剂掩模。 第二绝缘层（180）另外沉积在金属互连上以与绝缘层的上表面平行平坦化。

公开(公告)号：KR1020050000185A

公开(公告)日：2005-01-03

申请号：KR1020030040780

申请日：2003-06-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이정호 ,  김경현 ,  이계헌

IPC: G02F1/1333

Abstract: PURPOSE: An LCD(Liquid Crystal Display) and a method for manufacturing the LCD are provided to delay the contact of liquid crystal and a sealant when a liquid crystal dispensing process is carried out by forming an organic layer having a trench at a portion corresponding to an outer shielding layer, to thereby prevent the sealant from contamination and improve display quality of the LCD. CONSTITUTION: An LCD includes the first substrate(100), a light-shielding pattern(130) composed of an outer shielding layer(130a) formed on the outer portion of the first substrate and an inner shielding layer(130b) formed on the inner portion of the first substrate, and the second substrate(200) opposite to the first substrate. The light-shielding pattern covers a non-effective display region and opens an effective display region. The LCD further includes a color filter(220) having an opening that exposes the light-shielding pattern, formed on the second substrate, an organic layer(230) having a trench(230a), formed on the color pixel layer, a combining member for combining the first and second substrates with each other, and a liquid crystal layer(300) interposed between the first and second substrates. The color filter is superposed on a portion of the outer shielding layer. The trench is formed at a portion corresponding to the outer shielding layer.

Abstract translation: 目的：提供LCD（液晶显示器）和LCD的制造方法，以通过在对应于液晶的部分形成有沟槽的有机层来延迟液晶和密封剂的接触， 外屏蔽层，从而防止密封剂污染并提高LCD的显示质量。 构成：LCD包括第一基板（100），由形成在第一基板的外部上的外屏蔽层（130a）和形成在内部的内屏蔽层（130b）组成的遮光图案（130） 第一基板的一部分和与第一基板相对的第二基板（200）。 遮光图案覆盖非有效的显示区域并打开有效的显示区域。 LCD还包括一个滤色镜（220），该滤色镜具有形成在第二基片上的具有露出遮光图案的开口，形成在彩色像素层上的具有沟槽（230a）的有机层（230），组合部件 用于将第一和第二基板彼此组合，以及插入在第一和第二基板之间的液晶层（300）。 滤色器叠置在外屏蔽层的一部分上。 沟槽形成在与外屏蔽层相对应的部分。

公开(公告)号：KR1020040110833A

公开(公告)日：2004-12-31

申请号：KR1020030040304

申请日：2003-06-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이재호 ,  김경현 ,  이계헌

IPC: G02F1/1337

Abstract: PURPOSE: A method for forming an alignment layer and an LCD(Liquid Crystal Display) comprising the alignment layer manufactured using the same are provided to prevent damage of an alignment layer due to infiltration of liquid crystals, thereby enhancing the reliability of the alignment layer and the productivity of manufacturing process by raising the degree of imidization in the alignment layer. CONSTITUTION: A composite solution for alignment layer is coated on a substrate(S10). The composite solution is pre-dried to be transformed into a compound containing polyamide acid(S20). And then, the compound containing polyamide acid is hardened to be transformed into the first compound containing polyimide(S30). And then, the first compound is hardened to be transformed into the second compound containing polyimide. The second compound is larger than the first compound in a degree of imidization.

Abstract translation: 目的：提供一种用于形成取向层的方法和包括使用其制造的取向层的LCD（液晶显示器），以防止由于液晶的渗透而导致的取向层的损坏，从而提高取向层的可靠性， 通过提高取向层中的酰亚胺化程度来制造工艺的生产率。 构成：将用于取向层的复合溶液涂布在基板上（S10）。 将复合溶液预干燥以转变成含有聚酰胺酸的化合物（S20）。 然后，将含有聚酰胺酸的化合物硬化以转变为含有第一化合物的聚酰亚胺（S30）。 然后，将第一化合物硬化以转化为含第二化合物的聚酰亚胺。 第二化合物比亚胺化程度大于第一化合物。

公开(公告)号：KR1020040097722A

公开(公告)日：2004-11-18

申请号：KR1020030030105

申请日：2003-05-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 창학선 ,  김경현 ,  이창훈 ,  송장근

IPC: G02F1/13363

CPC classification number: G02F1/133634 ,  G02F1/1393

Abstract: PURPOSE: An LCD(Liquid Crystal Display) and a manufacturing method thereof are provided to obtain a wide view angle and a high brightness and realize a small thickness and a small weight at the same time by using a C-plate uniaxial compensation film. CONSTITUTION: An LC(Liquid Crystal) panel includes the first substrate(110), the second substrate(120) and a liquid crystal layer(130) sealed between the first and the second substrates. The polarizing unit(200) includes the first polarizer(210) installed at the first substrate and the second polarizer(210) installed at the second substrate. A C-plate uniaxial compensation film(300) is disposed between the first substrate and the first polarizer. The C-plate uniaxial compensation film(300) is formed by spreading a C-plate uniaxial compensation material on the first substrate.

Abstract translation: 目的：提供一种LCD（液晶显示器）及其制造方法，以获得宽视角和高亮度，并且通过使用C板单轴补偿膜同时实现小的厚度和小的重量。 构成：LC（液晶）面板包括密封在第一和第二基板之间的第一基板（110），第二基板（120）和液晶层（130）。 偏振单元（200）包括安装在第一基板上的第一偏振器（210）和安装在第二基板上的第二偏振器（210）。 C板单轴补偿膜（300）设置在第一基板和第一偏振片之间。 C板单轴补偿膜（300）通过在第一基板上扩展C板单轴补偿材料而形成。

公开(公告)号：KR1020040056969A

公开(公告)日：2004-07-01

申请号：KR1020020083710

申请日：2002-12-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김경현 ,  장윤 ,  송장근

IPC: G02F1/1335

CPC classification number: G02F1/133634

Abstract: PURPOSE: An LCD(Liquid Crystal Display) is provided to prevent backlight of a side surface, thereby enhancing the quality of screen. CONSTITUTION: A TFT(Thin Film Transistor) display plate(1) and a color filter display plate(2) are face with each other. A liquid crystal layer(3) made of liquid crystal is injected and sealed between the two, the first and second substrates(1,2). A C-plate single-shaft compensation film(14) is formed at the outside of the second substrate(2). A double-shaft compensation film(24) is formed at the outside of the first substrate(1). The first and second polarizing films(12,22) are formed at the outside surfaces of the single-shaft and double-shaft compensation films(14,24). The first to fourth TAC films(13,15,23,25) are formed at both side surfaces of the first and second polarizing films(12,22).

Abstract translation: 目的：提供LCD（液晶显示器），以防止侧面的背光，从而提高屏幕的质量。 构成：TFT（薄膜晶体管）显示板（1）和滤色器显示板（2）彼此面对。 将由液晶制成的液晶层（3）注入并密封在两个第一和第二基板（1,2）之间。 C板单轴补偿膜（14）形成在第二基板（2）的外侧。 在第一基板（1）的外侧形成双轴补偿膜（24）。 第一和第二偏振膜（12,22）形成在单轴和双轴补偿膜（14,24）的外表面处。 第一至第四TAC膜（13,15,23,25）形成在第一和第二偏光膜（12,22）的两个侧表面处。