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公开(公告)号：KR1020070026916A
公开(公告)日：2007-03-09
申请号：KR1020050079131
申请日：2005-08-27
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B41J2/14137 , B41J2202/03
Abstract: An inkjet print head and a method for manufacturing the same are provided to improve a discharge characteristic of ink by rapidly diffusing heat generated from a heater after ejection of the ink through an epoxy nozzle layer of heat conductive epoxy to a substrate. An inkjet print head includes a substrate(100) having an ink chamber(106) filled with ink to be ejected and formed in the upper side, an ink feed hole(102) formed in the lower side to feed the ink to the ink chamber, and a restrictor(105) formed between the ink chamber and the ink feed hole to connect the ink chamber to the ink feed hole, protection layers(111,114) formed on the substrate, a conductor formed between the protection layers to apply current to a heater(112) positioned upper the ink chamber, a heat transfer layer(115) formed on the protection layers, and an epoxy nozzle layer made of thermal conductive epoxy to cover the protection layers and the heat transfer layer and having a nozzle(117) connected to the ink chamber. The protection layers have thermal plugs(118a) penetrating to expose the upper side of the substrate, and the epoxy nozzle layer contacts the upper side of the substrate through the thermal plugs.
Abstract translation: 提供一种喷墨打印头及其制造方法，用于通过将油墨通过导热环氧树脂喷嘴层喷射到基板而迅速扩散从加热器产生的热量来改善墨的排出特性。 喷墨打印头包括具有填充有要喷射并形成在上侧的油墨的墨室（106）的基板（100），形成在下侧的供墨孔（102），以将油墨供给到墨室 ，以及形成在墨水室和供墨孔之间以将油墨室连接到供墨孔的限流器（105），形成在基板上的保护层（111,114），形成在保护层之间的导体，以将电流施加到 加热器（112）位于墨水室的上方，形成在保护层上的传热层（115）和由导热环氧树脂制成的环氧树脂喷嘴层以覆盖保护层和传热层并具有喷嘴（117） 连接到墨水室。 保护层具有穿透以暴露衬底的上侧的热插塞（118a），并且环氧树脂喷嘴层通过热插塞接触衬底的上侧。
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公开(公告)号：KR100619077B1
公开(公告)日：2006-08-31
申请号：KR1020050031930
申请日：2005-04-18
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 잉크젯프린트헤드가 개시된다. 개시된 잉크젯프린트헤드는 토출 될 잉크가 채워지는 잉크챔버가 마련된 기판과, 기판 상에 적층되며 잉크챔버에 대응되는 위치에 노즐이 형성된 노즐판과, 잉크챔버에 마련되어 열을 발생하여 잉크에 버블을 형성하는 것으로, TiN
0.2 ∼
TiN
0.5 인 티타늄질화물로 이루어진 열발생저항체를 구비한다.Abstract translation: 公开了一种喷墨打印头。 公开的喷墨打印头包括：基板，该基板设置有填充有待喷射的墨的墨室;喷嘴板，层压在基板上并具有形成在与墨室对应的位置处的喷嘴; 即，氮化钛
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公开(公告)号：KR1020060053828A
公开(公告)日：2006-05-22
申请号：KR1020050018345
申请日：2005-03-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
Abstract: 본 발명은 잉크젯 프린터 헤드에 관한 것으로, 본 발명의 잉크젯 프린터 헤드는 잉크 피드홀이 형성된 기판과, 상기 기판 상의 상기 잉크 피드홀의 주변에 형성된 층간 절연층과, 상기 층간 절연층 상에 금속으로 된 적어도 하나이상의 금속층과, 상기 잉크 피드홀과 상기 금속층 사이에 형성되어 상기 잉크 피드홀의 잉크로부터 습기가 상기 금속층으로 전달되는 것을 방지하는 흡습방지부를 구비한 것으로, 본 발명에 따른 잉크젯 프린터 헤드 및 그 제조방법은 흡습성을 갖는 층으로부터 잉크의 습기가 금속배선층, 로직영역 또는 압력구동부로 침투하는 것을 차단할 수 있기 때문에, 층간 박리, 전기적 쇼트, 회로의 오동작 및 금속배선층 부식과 같은 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있게 되고, 이에 따라 헤드의 수명 및 신뢰성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 잉크젯 프린터 헤드의 생산 수율증가로 생산성 증대 및 제조단가를 절감시킬 수 있게 된다.
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公开(公告)号：KR1020060025876A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：KR1020040074731
申请日：2004-09-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
CPC classification number: B41J2/1601 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1646
Abstract: 본 발명은 잉크젯 프린터 헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 잉크젯 프린터 헤드는 잉크 공급을 위한 매니폴드와, 잉크채널이 형성된 기판과 이 기판 상에 적층 형성된 노즐 플레이트 그리고 기판과, 노즐 플레이트 사이에 상기 기판과 상기 노즐 플레이트 측으로 연장 형성된 챔버와, 챔버 주변의 기판과 상기 노즐 플레이트 계면에 형성된 전극 그리고 전극에 양단이 접속 연장되어 챔버 상에 부양 위치하여 양면으로 버블이 형성되도록 하는 히터를 구비하여 히터 보호층을 별도로 형성하는 공정을 생략함으로써 제조공정효율이 보다 향상시키고, 동시에 히터 보호층의 생략으로 인하여 저전력으로도 히터의 동작 및 작용이 가능하도록 하며 사용전압이 낮아지므로 노즐의 밀집도를 보다 향상시킬 수 있도록 하고, 또한 부양된 히터가 기판 및 전극과 평행하게 위치함으로써 제조공정 상의 신뢰성을 보다 향상시킬 수 있도록 한다.
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公开(公告)号：KR1020060019145A
公开(公告)日：2006-03-03
申请号：KR1020040067635
申请日：2004-08-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1645
Abstract: 본 발명은 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 카트리지에 저장된 잉크를 공급받기 위한 잉크 피드홀 및 잉크 챔버와 연통되는 리스트릭터를 갖는 기판과; 상기 기판의 상부에 형성된 산화막과; 상기 산화막의 상부에 형성되며, 상기 리스트릭터를 가로지르며 배치되는 히터와; 상기 히터와 전기적으로 연결되어 형성되는 리드와; 상기 리드의 상부에 형성되며, 잉크 챔버를 형성하는 챔버층과; 상기 챔버층의 상부에 형성되며, 노즐을 갖는 노즐층을 포함하며, 상기 리드는 상기 챔버층의 하부에 삽입되어 있으며, 상기 히터는 기판상에 지지되는 고정부와, 상기 노즐을 향해 경사지게 연장되는 경사부와, 상기 경사부 사이에서 기판과 평행하게 연장되는 평행부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드를 제공한다.
본 발명에 의하면, 히터가 경사부에 의해 지지되어 있으므로, 잉크 공급압이나 캐비테이션 포스가 히터의 표면에 가해져도 경사부가 완충재의 역할을 하게 되므로 히터의 수명을 연장할 수 있게 된다. 또한, 히터가 직각으로 꺾인 부분을 갖지 않으므로 증착 공정에 의해 히터 박판을 형성하는 경우에도 균일한 두께를 갖도록 형성할 수 있다.
잉크젯, 헤드, 히터, 희생층.Abstract translation: 本发明是具有一个限流器，其与供墨孔和用于供给存储在盒接收墨水涉及一种喷墨打印头及其制造和的方法，该墨室连通的衬底; 在衬底上形成的氧化膜; 加热器，形成在氧化膜上并设置在限流器的两端; 电连接到加热器的导线; 形成在引线上的腔室层，腔室层形成墨水腔室; 它形成在腔室层上，并且具有一个喷嘴层的喷嘴，其中，所述引线插入在被支撑在基板上的腔室，所述加热器和所述固定部分之上的层的下部，并且朝向喷嘴倾斜延伸 以及在倾斜部分和倾斜部分之间延伸并平行于基板延伸的平行部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060018769A
公开(公告)日：2006-03-02
申请号：KR1020040067288
申请日：2004-08-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
CPC classification number: B41J2/1631 , B41J2/14112 , B41J2/1603 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1646
Abstract: 본 발명은 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 일면에 잉크 피드홀이 형성되며, 상기 피드홀의 반대면에 하부 챔버가 형성되고, 상기 피드홀과 하부 챔버를 연통시키는 리스트릭터를 갖는 기판과; 상기 기판의 상부면에 형성되는 산화막과; 상기 산화막의 상부에 형성되며, 상기 하부 챔버를 가로지르며 기판의 표면과 평행하게 배치되는 히터와; 상기 히터와 전기적으로 연결되는 리드와; 상기 히터의 상부에 배치되어 하부 챔버와 함께 잉크 채널을 구성하고, 상부에 노즐을 갖는 노즐층을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드를 제공한다.
본 발명에 의하면, 잉크 챔버의 중앙부에 히터가 위치함으로써 히터의 양면을 통해 잉크를 가열할 수 있어 열효율을 개선할 수 있을 뿐만 아니라, 히터가 꺾이거나 휜 부분 없이 일직선을 이루므로 전류 밀도 및 전류 흐름을 균일하게 할 수 있어 히터의 특성을 개선할 수 있다.
잉크젯 프린터, 헤드, 히터, 노즐, 전류.-
公开(公告)号：KR1020050122896A
公开(公告)日：2005-12-29
申请号：KR1020040048554
申请日：2004-06-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
CPC classification number: B41J2/1412 , B41J2/14072 , B41J2/1621 , B41J2/164
Abstract: 측벽 발열저항기를 구비하는 잉크젯 헤드 및 그 제조방법을 제공한다. 상기 잉크젯 헤드는 기판 및 상기 기판의 소정영역을 관통하는 잉크 공급홀을 구비한다. 상기 기판 상에, 상기 잉크 공급홀과 연통하는 챔버홀을 갖는 챔버층이 배치된다. 발열저항기가 적어도 상기 챔버홀의 내측벽을 덮도록 배치된다. 상기 기판과 상기 챔버층 사이에 개재되고 상기 챔버홀 내부로 연장된 하부배선이 상기 발열저항기와 전기적으로 연결된다. 상기 챔버층 상에 상기 발열저항기와 전기적으로 연결되는 상부배선이 배치된다. 또한, 평탄한 상부면을 갖는 절연성 보호층이 상기 상부배선, 상기 발열저항기 및 상기 챔버층을 덮도록 배치된다. 상기 절연성 보호층 상에, 상기 잉크 공급홀과 대응되는 위치에 노즐을 구비하는 노즐층이 배치된다.
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公开(公告)号：KR100512957B1
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：KR1020020081465
申请日：2002-12-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/235
Abstract: 개시된 본 발명에 의한 모노리식 버블 잉크젯 프린트 헤드의 제조방법은, 기판의 상면에 잉크를 가열하기 위한 히터와 보호층을 형성하는 단계와; 상기 기판 상면에 소정 두께의 네거티브 포토레지스트를 도포하는 단계와; 제1 포토 마스크를 사용하여 잉크 유로층이 형성될 위치의 상기 네거티브 포토레지스트를 노광하는 단계와; 제2 포토 마스크를 사용하여 상기 제1 포토 마스크에 의해 노광되지 않은 영역내에서 노즐이 형성될 위치의 상기 네거티브 포토레지스트를 재노광하는 단계와; 상기 기판에 잉크 공급홀을 형성하는 단계; 및 상기 노광 및 재노광된 네거티브 포토레지스트를 현상하여 제거하는 단계;를 포함한다.
이에 의하면, 노즐 및 잉크 챔버 등의 유로구조를 형성하는 공정이 단축되어 제조비용과 공정 시간을 단축할 수 있으며, 고 해상도를 구현할 수 있는 노즐 및 유로가 요구하는 치수 정밀도 및 각 플레이트간 균일도를 향상시킬 수 있다.
또한, 불량의 가장 큰 원인인 접합공정이 없어 헤드 생산 수율을 향상시킬 수 있으며, 잉크 챔버의 높이나 노즐의 직경 등을 노광량이나 마스크를 수정하여 용이하게 변경할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020050067995A
公开(公告)日：2005-07-05
申请号：KR1020030099035
申请日：2003-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
Abstract: 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 상부에 히터층 및 도선층이 형성된 기판; 이 기판 상에 돌출되게 형성되어, 그 상부에 형성되는 히터층과 그 양측에 형성되는 도선층의 상면을 평탄화시키는 평탄화층; 히터층 및 도선층의 상면에 형성되는 보호층; 이 보호층의 상부에 적층되어 잉크 챔버를 한정하는 챔버층; 및 이 챔버층의 상부에 적층되어 노즐이 형성된 노즐 플레이트;를 구비한다.
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公开(公告)号：KR100445004B1
公开(公告)日：2004-08-21
申请号：KR1020020050527
申请日：2002-08-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/235
CPC classification number: B41J2/1639 , B41J2/1603 , B41J2/1628 , B41J2/1631
Abstract: An ink-jet printhead and a method of manufacturing the same include a substrate on which a heater and a passivation layer protecting the heater are formed, a passage plate on which an ink chamber corresponding to the heater and an ink passage connected to the ink chamber are formed, and a nozzle plate in which an orifice corresponding to the ink chamber is formed. An exposure stop layer (ESL) that blocks passage of a photosensitive energy is formed inside the nozzle plate, and the nozzle plate and the passage plate are bonded with each other by the exposure stop layer (ESL).
Abstract translation: 喷墨打印头及其制造方法包括其上形成有保护加热器的加热器和钝化层的基板，其上形成有与加热器相对应的墨室以及与墨室连接的墨通道的通道板 形成有与墨水室对应的孔口的喷嘴板。 在喷嘴板内部形成阻挡感光能量通过的曝光停止层（ESL），并且通过曝光停止层（ESL）将喷嘴板和通道板彼此接合。
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