Abstract:
본 발명은 웨이퍼 상의 패턴 사이즈 측정 방법에 관한 것으로서, 설비에서 발생되는 2 차 전자 신호 레벨을 나누어 패턴의 사이즈를 재기 위한 포인트를 정하는 CD 측정 방법에 있어서, 횡축으로 상기 신호 레벨을 백분율로 나눈 뒤 사용자가 CD 측정을 원하는 지점의 레벨을 설정하는 단계와, 종축으로 상기 신호 레벨을 백분율로 나눈 뒤 사용자가 측정하고자 하는 지점의 레벨을 설정하는 단계와, 상기 횡축과 종축의 신호 레벨이 만나는 지점을 패턴의 사이즈를 측정하기 위한 포인트로 잡아 주는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 의하면 사용자가 패턴에서 측정하고자 하는 지점을 간편하게 선택할 수 있으며, SEM 설비에 의하여 발생하는 패턴의 손상에 따른 2 차 전자의 프로파일 변화에 의한 측정 포인트의 변화도 적어지므로 CD 측정시 재현성 및 신뢰성을 향상시킬 뿐만 아니라 측정 포인트를 잡기 위한 매개 변수도 적게 되므로 사용자가 매개 변수 설정을 상당히 용이하게 할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 반도체장치 제조용 주사전자현미경의 검,교정용 시료 및 이를 이용한 검,교정방법에 관한 것이다. 본 발명은, 반도체장치 제조용 주사전자현미경의 검,교정용 시료에 있어서, 상기 시료는 반도체 기판 상에 금속막이 소정의 간격으로 형성됨을 특징으로 한다. 따라서, 미세 선폭 등의 검교정을 정확하게 수행할 수 있음으로 인해 주사전자현미경을 이용한 측정데이터의 신뢰도가 향상되는 효과가 있다.
Abstract:
본발명은방송수신장치및 그제어방법에관한것으로서, 상기방송수신장치는방송컨텐츠가실려있는방송신호를수신하기위한안테나가연결되는안테나연결부; 상기안테나연결부를통해입력된신호에대응하는세기를가지는참조신호를생성하고, 상기방송컨텐츠의표시를위한영상신호가출력되도록상기생성된참조신호를처리하는신호처리부; 및상기참조신호의출력값에기초하여상기안테나연결부에상기안테나가연결되었는지여부를판단하고, 상기판단결과에따라안테나연결여부와관련된후속동작을수행하는제어부를포함한다. 본발명에의하면방송수신장치에입력된신호의세기를빠르게측정하여, 방송수신장치에안테나케이블이연결되어있는지여부를자동으로판단할수 있다. 또한, 본발명에의하면위와같이측정된방송수신신호의세기를바탕으로안테나연결여부를보다정확하게판단할수 있다.
Abstract:
A mobile device according to the present invention includes a working memory which includes a memory region which is divided into a secure region and a non-secure region, and a system-on-chip which accesses and processes contents stored in the secure region. The system-on-chip includes a processing unit which is driven with a secure operating system or a non-secure operating system, at least one hardware block which reads and processes the content according to the control of the processing unit and is set with different secure attributes for a master and a slave, at least one memory management unit which additionally limits the access of the hardware block to the working memory, and an access control unit which sets the secure attributes of a slave port and a master port or access authority for each region of the working memory.
Abstract:
PURPOSE: A security booting method and a security booting image generating method are provided to authenticate a booting image by using a unique key and to perform security booting through an authenticated booting image. CONSTITUTION: An initial boot loader verifies a first digital signature included in a first boot loader by using a public key(S211). A processor core executes the first boot loader in case the first digital signature is effective(S212,S220). The first boot loader verifies a first message authentication code included in the second boot loader by using an eigen key(S221). The processor core executes the second boot loader(S222).
Abstract:
PURPOSE: A system for managing a secure boot data, a method for generating and verifying meta data for integrally managing a secure boot data, and a computer readable which recorded a program for executing the same on a computer are provided to register the hacking of secure boot data of a product and to trace other products and to exchange the secure boot data of relevant products into a new secure boot data, thereby effectively managing the security accident. CONSTITUTION: A user access controller(201) controls an user authentication and a UI(User Interface). A secure boot engine unit(207) provides generation of a secure boot key and a secure boot image and provides encryption of adata and integrity verification algorithm. A secure boot key management unit(202) manages a key metadata including a secure boot key information. A secure boot image management unit(203) manages an image metadata including secure boot image information.
Abstract:
반도체 제조 장치의 제어 방법을 개시한다. 스테이지에 로딩되는 제 1 웨이퍼의 맵 상에 제 1 기준 위치를 설정하고 제 1 기준 위치에 대해 미리 설정된 간격을 갖는 복수개의 지표들을 웨이퍼 맵 상에 설정하여 복수개의 지표 각각의 실제 위치 값을 획득한다. 이후 스테이지에 로딩되는 제 2 웨이퍼의 맵 상에 제 1 기준 위치와 동일한 조건으로 제 2 기준 위치를 설정하고 제 1 기준 위치의 실제 위치 값과 제 2 기준 위치의 실제 위치 값 사이의 오차만큼 복수개의 지표 각각의 위치 값을 보정한다.