Abstract:
3차원 영상 획득 장치의 깊이 분해능을 향상시키고 소비 전력를 저감시킬 수 있는 3차원 영상 획득 장치의 구동 방법이 개시된다. 3차원 영상 획득 장치는 피사체를 향해 조명광을 투사하는 광원, 피사체로부터 반사된 조명광을 소정의 이득 파형으로 변조하는 광 셔터, 광 셔터에 의해 변조된 조명광을 촬영하여 깊이 영상을 생성하는 이미지 센서, 상기 이미지 센서에서 생성된 깊이 영상을 이용하여 피사체와의 거리를 계산하는 영상 신호 처리부, 및 상기 광원과 광 셔터의 동작을 제어하는 제어부를 포함한다. 3차원 영상 획득 장치의 구동 방법에 따르면, 이미지 센서가 한 프레임의 깊이 영상을 촬영하는 동안, 광 셔터는 조명광을 변조하는 구동 구간과 빛을 투과시키지 않은 비구동 구간을 반복하도록 제어될 수 있다.
Abstract:
Disclosed is a device for obtaining a three-dimensional (3D) image having a compact structure and improving speed to photograph the 3D image by generating a color image and a depth image in one photographing operation at the same time. The disclosed device for obtaining a 3D image includes a light source radiating light to a subject; a lens unit having four or more object lenses; an image sensor including four or more sensing areas individually generating images by collecting the light focused from each object lens; and three or more light shutters individually facing three or more objet lenses among the four object lenses and modulating the radiated light at a predetermined gain waveform. [Reference numerals] (103) Control unit; (104) Display
Abstract:
PURPOSE: A three-dimensional image acquisition apparatus and a depth information extraction method from the same are provided to extract accurate distance information regardless of used waveforms by extracting distance information considering an actual nonlinear waveform. CONSTITUTION: A light source generates different projected lights sequentially, and projects the projected lights on a subject (S21). An imaging device photographs reflected light, which is modulated by an optical modulator, for given exposure time, and outputs an intensity image (S22). A depth information image processing unit reads A_k and B_k which are weightings stored in a memory, and obtains a depth, d, by referring to a lookup table (S23, S24). After the extracted depth information of the subject is treated with post-processing, the depth information image processing unit indicates the three-dimensional image of the subject on a display (S25). [Reference numerals] (AA) Preprocess; (BB) Store data; (CC,DD) Memory reference; (EE) Memory; (FF) Real-time process; (S11) Incident light and gain wavelength measurement; (S21) Drive an optical source and an optical modulator; (S22) Photograph an image
Abstract:
PURPOSE: A method of repairing defect of a photomask is provided to eliminate a large opaque type defect in a short period of time while the damage of a phase shift layer are minimized and the pattern shift also. CONSTITUTION: On the transparent substrate(10) of a photomask, a phase shift layer(20) is formed. On the phase shift layer(20), a light shielding layer is formed. The light shielding layer is then patterned to form a light trap pattern(30a). The phase shift layer(20) exposed through the light shielding pattern(30a) is etched to expose the transparent substrate(10). While the light trap pattern(30a) remains on the transparent substrate(10), the position of the opaque type defects in the phase shift layer(20) is tested. The opaque type defect is eliminated by a FIB(Focused Ion Beam) method with using the light shielding pattern(30a) as a mask.
Abstract:
PURPOSE: A plate for controlling board temperature and a method for manufacturing the same is provided to compensate for the temperature variation of the surface of a board, and to equalize the temperature. CONSTITUTION: A plate(42) for controlling board(40) temperature includes a plurality of slots(44,46,48). The plurality of slots(44,46,48) are formed on the surface of the surface of the board(40) on the basis of the temperature variation of the board(40). The shapes, diameters, depths, and spacings of the plurality of slots(44,46,48) are controlled and altered for better efficiency. The plurality of slots(44,46,48) are formed by way of an optic transfer.
Abstract:
교환기에서 가입자 전화기로부터 송출되는 전화번호 검출방법으로서, 가입자 제어부에서 가입자 전화기의 후크오프시 전화번호 검출방식에 따른 모든 타스크를 동작시키는 단계와, 동작되는 타스크중 어느 한 타스크에서 전화번호를 수신하면 수신된 전화번호를 저장하며 송출방식의 검출신호를 제어부로 출력하는 단계와, 제어부에서 검출된 방식외의 모든 전화번호 검출 타스크의 수행을 중지시키는 단계로 이루어짐을 특징으로 하며, 전화번호 검출을 위한 타스크가, 다이얼펄스를 검출하기 위한 다이얼펄스 검출 타스크와, 디티엠에프 톤을 검출하기 위한 디티엠에프 톤 검출 타스크로 구성됨을 특징으로 한다.
Abstract:
본 발명은 포토마스크 리페어 방법에 관한 것으로, 마스크 기판 상에 제 1 차광막 및 제 2 차광막을 차례로 형성한다. 상기 제 1 차광막은 상기 제 2 차광막과 식각 선택비를 갖는 물질로 형성된다. 상기 제 2 차광막 상에 광투과 영역과 광차단 영역을 정의하여 상기 광투과 영역의 제 2 차광막을 식각 하여 그 하부의 제 1 차광막이 노출되도록 제 2 차광막 패턴을 형성한다. 상기 제 2 차광막 패턴 형성시 상기 광투과 영역에 발생된 디펙트를 소정의 빔을 사용하여 선택적으로 제거한다. 상기 광투과 영역의 제 1 차광막을 선택적으로 식각 하여 그 하부의 마스크 기판이 노출되도록 한다. 이와 같은 반도체 장치의 제조 방법에 의해서, 포토마스크 기판의 손상 없이 디펙트를 제거할 수 있고, 따라서 고 품질의 포토마스크를 형성할 수 있으며, 웨이퍼 패턴 불량을 방지할 수 있다. 또한, 이와 같은 포토마스크 리페어 방법을 고집적 소자에 적용할 수 있다.
Abstract:
위상 쉬프트 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 층을 달리하여 수평 방향으로 서로 교차되도록 형성된 이중(double) 차광막 패턴을 구비한 위상 쉬프트 마스크 및 그 제조 방법에 관하여 개시한다. 이는 포토 마스크 기판과, 기판 상에 형성된 기판의 소정부를 노출시키는 제1 차광막 패턴과, 제1 차광막 패턴의 소정부를 포함하면서 제1 차광막 패턴에 의하여 노출된 기판 상면의 소정부에 걸쳐 형성된 쉬프터층 패턴 및 제1 차광막 패턴에 대하여 수평 방향으로 소정 간격 이격되도록 쉬프터층 패턴 상의 일단에 형성되어 제2 차광막 패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 위상 쉬프터 마스크를 제공한다.