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公开(公告)号：KR1020020082527A
公开(公告)日：2002-10-31
申请号：KR1020010021944
申请日：2001-04-24
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/30
Abstract: PURPOSE: A method for removing a sacrificial layer of a functional micro device is provided to easily manufacture a micro device having a levitation-shaped functional film by effectively removing the sacrificial layer of a silicon. CONSTITUTION: A functional film is formed on a silicon wafer(20). A protection film for protecting the functional film is formed on the functional film. The silicon wafer(20) is exposed by selectively etching the functional film. A levitation-shaped functional film is then formed by etching the exposed silicon wafer(20) using XeF2 gas. Preferably, the levitation-shaped functional film is used as a micro piezo-electric cantilever comprising a silicon oxide(21), a lower electrode(22), a piezo-electric film(23) and an upper electrode(24).
Abstract translation: 目的：提供一种去除功能性微器件的牺牲层的方法，通过有效地去除硅的牺牲层来容易地制造具有悬浮形功能膜的微器件。 构成：在硅晶片（20）上形成功能膜。 在功能膜上形成用于保护功能膜的保护膜。 通过选择性地蚀刻功能膜来暴露硅晶片（20）。 然后通过使用XeF2气体蚀刻暴露的硅晶片（20）来形成悬浮形功能膜。 优选地，悬浮形功能膜用作包括氧化硅（21），下电极（22），压电薄膜（23）和上电极（24）的微压电悬臂。
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公开(公告)号：KR100344248B1
公开(公告)日：2002-07-24
申请号：KR1019990063038
申请日：1999-12-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G03F7/20
Abstract: 이발명은노광장치및 이를이용한 3차원구조물제조방법을개시한다. 노광마스크를이용하여노광시편을 X-선노광시키는노광장치에서, 상기노광시편이회전축을중심으로회전하는시편홀더에장착되며, 노광마스크가상기시편홀더의상측에위치되는마스크홀더에장착된다. 이때, 상기시편홀더의회전축과상기마스크홀더의중심축은서로일치됨에따라상기노광마스크와노광시편은동일선상에정렬된다. 이상태에서회전부에의하여시편홀더가회전되면노광마스크에형성되어있는패턴에따라노광시편이감광되고, 감광된노광시편을현상하면원하는형상의 3차원구조물이제조된다. 이와같이 X-선사진식각공정시에노광시편을회전시키면서노광시킴에따라 3차원형상의구조물을저가의비용으로보다정밀하게제조할수 있으며, 노광시편과노광마스크의정렬이이루어짐에따라원하는형상의 3차원구조물을용이하게제조할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020020033922A
公开(公告)日：2002-05-08
申请号：KR1020000064144
申请日：2000-10-31
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02B27/00
Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a display package used in a head mounted visual display(HMD) is provided, which is used in a PMS(Polygon Mirror Scanning) of a micro display device type. CONSTITUTION: According to the method, an LED module is fabricated by wire-bonding a chip type LED array(100) generating a linear image light on the first substrate and an LED driver(150) driving the LED array. A main chip(500) constituted with a synchronous/control circuit controlling a micro display system is wire-bonded on the second substrate. And a motor assembly constituted with a film type motor(400) and a motor driver(450) driving the motor is attached on a main chip of the second substrate. A rotation multi-surface mirror(300) is installed which generates an image by scanning a light from the LED array is installed, by its rotation angle being controlled by the motor assembly of the second substrate. Then, the display package is fabricated by connecting the first substrate and the second substrate with an FPC(Flexible Printed Circuit) cable(60). The first substrate and the second substrate are bonded by a heat seal method.
Abstract translation: 目的：提供一种在头戴式视觉显示器（HMD）中使用的用于制造显示包的方法，其用于微型显示装置类型的PMS（多边形镜像扫描）。 构成：根据该方法，通过将在第一基板上产生线性图像光的芯片型LED阵列（100）引线接合和驱动LED阵列的LED驱动器（150）来制造LED模块。 由控制微显示系统的同步/控制电路构成的主芯片（500）被引线接合在第二基板上。 并且，在第二基板的主芯片上安装由薄膜式马达（400）和驱动马达的马达驱动器（450）构成的马达组件。 安装旋转多面反射镜（300），其通过扫描来自LED阵列的光而通过其旋转角由第二基板的电动机组件控制而产生图像。 然后，通过用FPC（柔性印刷电路）电缆（60）连接第一基板和第二基板来制造显示封装。 第一基板和第二基板通过热封法接合。
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公开(公告)号：KR1020010057689A
公开(公告)日：2001-07-05
申请号：KR1019990061062
申请日：1999-12-23
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70583 , G02B27/283 , G03F7/0025 , G03F7/092 , G03F7/70941
Abstract: PURPOSE: A method for producing micro beam splitter is provided to obtain a slitter having micro size and delicate shape by employing X-ray exposing process, and has low production cost. CONSTITUTION: The method comprises the steps of positioning the mask with pattern for production of the first and second prism on photosensitive layer of substrate and exposing photosensitive layer by radiating X-ray to the mask; developing the photosensitive layer to form the first and second prism having shape corresponding to the pattern; forming each coating film beneath the first and second prism; and forming interference film between the coating films of the first and second prism.
Abstract translation: 目的：提供一种生产微分束器的方法，通过采用X射线曝光工艺获得具有微小尺寸和精细形状的分切机，成本低。 方法：该方法包括以下步骤：将具有用于制造第一和第二棱镜的图案放置在基板的感光层上并通过向掩模辐射X射线来曝光感光层的步骤; 显影感光层以形成具有与图案对应的形状的第一和第二棱镜; 在第一和第二棱镜下方形成每个涂膜; 并在第一和第二棱镜的涂膜之间形成干涉膜。
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公开(公告)号：KR100204090B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019960039837
申请日：1996-09-13
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02B6/255
Abstract: 폴리머 기판으로 숫결합부(male splice unit)와 암결합부(female splice unit)를 구성한 광 스플라이스에 관하여 개시한다. 본 발명은 제1 폴리머 기판에 복수의 광섬유를 수용하여 고정 및 정렬할 수 있는 다수의 제1 홈을 갖고, 상기 제1 홈의 양측에 제2 홈을 구비하는 암결합부와, 상기 제1 폴리머 기판에 대향하여 밀착 접속할 수 있는 제2 폴리머 기판에 상기 제2 홈에 접속할 수 있는 돌출부를 갖는 숫결합부를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 스플라이스를 제공한다. 본 발명은 금속몰드를 사용하여 암결합부 및 숫결합부를 제작함으로써 동일한 크기로 동일한 성능의 제품을 저렴한 가격으로 대량 생산할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019990012958A
公开(公告)日：1999-02-25
申请号：KR1019970036540
申请日：1997-07-31
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 실리콘 기판의 표면 중앙 상에 형성된 사각형의 다이아프램 영역과, 상기 다이아프램 영역내에서 상기 다이아프램 영역의 각 측면의 중간부분과 인접하여 배열된 4개의 압저항들과, 브릿지 회로를 형성하도록 상기 압저항들과 전기적으로 연결된 저항층들과, 상기 다이아프램 영역의 밖에서 상기 저항층들을 전기적으로 연결하는 금속층으로 구성된 압저항형 압력 센서에 있어서, 상기 압저항들은 복수개의 저항들이 직렬연결된 형태로 되어 있고, 상기 세 개의 저항들을 연결하는 부분과 상기 저항층은 상기 다이아프램 영역의 각 측면에서 직각이 아닌 예각을 갖게 배열되어 있다. 따라서, 본 발명의 압저항형 압력센서는 압저항들의 불일치로 인한 옵셋전압 및 드리프트 감소로 고정밀의 압력센서를 필요로 하는 곳에 응용할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019980021096A
公开(公告)日：1998-06-25
申请号：KR1019960039837
申请日：1996-09-13
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02B6/255
Abstract: 폴리머 기판으로 숫결합부(male splice unit)와 암결합부(female splice unit)를 구성한 광 스플라이스에 관하여 개시한다. 본 발명은 제1 폴리머 기판에 복수의 광섬유를 수용하여 고정 및 정렬할 수 있는 다수의 제1 홈을 갖고, 상기 제1 홈의 양측에 제2 홈을 구비하는 암결합부와, 상기 제1 폴리머 기판에 대향하여 밀착 접속할 수 있는 제2 폴리머 기판에 상기 제2 홈에 접속할 수 있는 돌출부를 갖는 숫결합부를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 스플라이스를 제공한다. 본 발명은 금속몰드를 사용하여 암결합부 및 숫결합부를 제작함으로써 동일한 크기로 동일한 성능의 제품을 저렴한 가격으로 대량 생산할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019980017851A
公开(公告)日：1998-06-05
申请号：KR1019960037672
申请日：1996-08-31
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02B6/42
Abstract: 숫결합부와, 상기 숫결합부와 접속할 수 있는 암결합부와, 상기 숫결합부 및 암결합부를 덮는 덮개판로 구성된 광커넥터에 관하여 개시한다. 본 발명의 광커넥터는 제1 기판에 복수의 광섬유를 수용하여 고정 및 정렬할 수 있는 다수의 제1 홈과 상기 제1 홈의 양측에 제2 홈을 구비하는 암결합부와, 상기 제1 기판의 일측면에 밀착 접속할 수 있는 제2 기판에 상기 제1 홈에 대향하여 광섬유를 지지 및 정렬 할수 있는 다수의 제3 홈이 마련되어 있고, 상기 제2 홈에 접속할 수 있는 가이드핀을 구비하는 숫결합부와, 상기 제1 기판 및 제2 기판의 하부에 상기 제1 기판 및 제2 기판을 지지하는 제1 지지기판 및 제2 지지기판과, 상기 제1 기판 및 제2 기판의 상부를 덮는 덮개판을 포함한다. 본 발명의 광커넥터는 가이드핀이 V자형 제3 홈과 동일한 몸체에 가공되므로 별도의 가이드핀을 제작할 필요가 없고 V자형 제3 홈과 동일한 재료이므로 장기적 안정성이 우수하다.
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公开(公告)号：KR1020130060453A
公开(公告)日：2013-06-10
申请号：KR1020110126520
申请日：2011-11-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N33/483 , C12Q1/02 , G01N27/00 , C12M1/42
Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring cell metabolism information is provided to minimize heat loss and to remove offset and noise while measuring. CONSTITUTION: An apparatus for measuring cell metabolism information comprises: a membrane(110); one or more electrode pads(120); a mold(130); and one or more measuring elements. The electrode is formed on one side of the membrane. The mold is placed on the membrane and has one or more chambers(131). The measuring elements are formed in the chambers and on the membrane. The measuring elements and pads are electrically connected.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量细胞新陈代谢信息的装置，以尽量减少热损失，并在测量时消除偏移和噪音。 构成：用于测量细胞代谢信息的装置包括：膜（110）; 一个或多个电极焊盘（120）; 模具（130）; 和一个或多个测量元件。 电极形成在膜的一侧。 将模具放置在膜上并具有一个或多个室（131）。 测量元件形成在腔室和膜上。 测量元件和焊盘电连接。
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公开(公告)号：KR101066106B1
公开(公告)日：2011-09-20
申请号：KR1020080133594
申请日：2008-12-24
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N33/483 , G01N33/48 , G01N30/30
Abstract: 본 발명은 세포 대사정보 측정 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 세포 대사시 변화하는 pH, 산소 농도, 이산화탄소 농도를 광학식으로 측정하면서 각각의 웰에 부착된 온도계로 발열량을 동시에 측정할 수 있는 세포 대사정보 측정 장치에 관한 것이다.
본 발명의 세포 대사정보 측정 장치는 마이크로 플레이트에 차례로 배열되어 세포 또는 배양액이 주입되는 복수의 웰; 상기 웰의 외주면으로부터 상기 웰의 내부 방향으로 돌출되고, 돌출된 부분의 소정 영역에 삽입구가 형성된 돌출부; 상기 삽입구에 삽입되어 웰 내부로 고정되며 세포 또는 배양액에서 방출되는 열을 독립적으로 측정하는 온도계; 및 상기 마이크로 플레이트 하부에 위치하여 상기 웰 각각에 광을 조사하기 위한 광원 플레이트를 포함함에 기술적 특징이 있다.
세포대사, 마이크로 플레이트, 온도측정
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