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公开(公告)号：KR1020060037198A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：KR1020040086390
申请日：2004-10-27
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G02B6/4246 , G02B6/122 , G02B6/29367 , G02B6/2938 , G02B6/30 , G02B6/42 , G02B6/4214 , G02B2006/12104 , G02B2006/12119 , G02B6/12007 , G02B2006/12109
Abstract: Provided are a multi-wavelength optical transceiver module and a multiplexer/demultiplexer using a thin film filter. The multi-wavelength optical transceiver module includes: a PLC platform, on which a predetermined optical waveguide unit is formed and an optical transmitter is mounted; an optical fiber coupled to one side of the PLC platform to transmit a predetermined light; a plurality of thin film filters coupled to another side of the PLC platform to separate input optical wavelengths; and an optical receiver coupled to one side of the thin film filters to receive light that is input from the optical fiber and transmits the thin film filters, thereby enabling mass production of the optical transceiver module with low cost.
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公开(公告)号：KR1020050049173A
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：KR1020030083066
申请日：2003-11-21
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/12
Abstract: 본 발명은 실리카 및 폴리머 재료를 이용한 하이브리드형 광도파로 플랫폼 및 그 제조 방법에 관하여 개시한다. 기판 상에 실리카로 하부 클래드층, 중심 코어층, 상부 클래드층을 적층하고 포토리소그라피 및 식각 공정으로 패터닝하여 광도파로를 형성한다. 이 때 실장될 능동 광소자와 광도파로 중심 코어의 수직 정렬에 기여하는 테라스의 위치를 고려하여 식각 깊이를 결정한다. 상기 광도파로 측부의 기판 상에 폴리머로 상부 클래드층을 형성하고 표면을 평탄화한다. 상기 트렌치 영역의 상부 클래드층을 식각하여 하부 클래드층을 노출시키고, 노출된 하부 클래드층를 소정 깊이 식각하여 테라스를 형성한다. 상기 트렌치 영역의 하부 클래드층 상에 솔더 패드 및 금속 배선 형성하고, 광축이 상기 광도파로 코어층의 중심과 정렬되도록 상기 테라스 상에 광소자를 실장하는 동시에 솔더 패드 및 금속 배선과 상기 광소자를 전기적으로 연결한다.
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公开(公告)号：KR1020050036403A
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：KR1020030072090
申请日：2003-10-16
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/12
Abstract: 본 발명은 실리카/폴리머 하이브리드 광소자 제작시 광섬유와의 결합 손실 온도 의존성을 억제하고, AWG 소자에서 추가로 발생하는 온도 의존성을 줄일 수 있는 실리카/폴리머 하이브리드 광도파로를 이용한 광소자를 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은, 양의 열광학 계수를 갖는 제1실리카층; 상기 제1실리카층 상에 배치되며 양의 열광학 계수를 갖는 실리카 코어; 상기 실리카 코어 상에서 외부와 결합되는 일측단으로부터 소정의 길이 만큼 연장된 타측단을 가지며, 상기 일측단으로부터 그 폭이 단조 감소하여 상기 타측단에서 적어도 상기 실리카 코어의 폭을 갖도록 배치되며 양의 열광학 계수를 갖는 제2실리카층; 및 상기 제2실리카층 상에 배치되며 음의 열광학 계수를 갖는 폴리머층을 포함하는 실리카/폴리머 하이브리드 광도파로를 이용한 광소자를 제공한다.
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公开(公告)号：KR100456672B1
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：KR1020020017599
申请日：2002-03-30
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/42
CPC classification number: G02B6/12004 , G02B6/136 , G02B6/42
Abstract: An optical waveguide platform and a manufacturing method thereof are provided. In the provided optical waveguide platform, a terrace on which an optical device is mounted is formed by using an etch stopper pattern formed on a lower clad layer. Therefore, the optical device is mounted without processing a silicon substrate. In addition, in the provided optical waveguide platform, the etch stopper pattern is formed on the lower clad layer to prevent defocus in a photolithography process due to an etch step, so as not to damage a fine waveguide pattern. Moreover, an optical waveguide is formed on the terrace in manufacturing the optical waveguide platform to examine the characteristics of the optical waveguide device before etching a trench.
Abstract translation: 提供了一种光波导平台及其制造方法。 在所提供的光波导平台中，通过使用形成在下包层上的蚀刻阻挡图案来形成其上安装有光学器件的平台。 因此，光学器件被安装而不处理硅衬底。 另外，在所提供的光波导平台中，在下包层上形成蚀刻阻止图案以防止由于蚀刻步骤而在光刻工艺中散焦，从而不损伤精细的波导图案。 而且，在制造光波导平台时在平台上形成光波导，以在蚀刻沟槽之前检查光波导装置的特性。
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公开(公告)号：KR1020040013694A
公开(公告)日：2004-02-14
申请号：KR1020020046732
申请日：2002-08-08
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/13
CPC classification number: G02B6/12004 , G02B6/42 , G02B2006/12173 , G02B2006/12176
Abstract: PURPOSE: An optical waveguide platform and a method for manufacturing the same are provided to solve the limitation of substrate directionality due to the anisotropic etching of the substrate by allowing the semiconductor device to mount on the silicon substrate without the fabrication step of the silicon substrate. CONSTITUTION: An optical waveguide platform includes a substrate(301), an optical waveguide, a terrace(308), a metal and solder(309,310) and an optical device(311). The optical waveguide is provided with a bottom clad layer(302) formed on a portion of the substrate(301), a central core layer(303) and a top clad layer(304) patterned thereon the waveguide. The terrace(308) is formed another portion of the substrate(301) by patterning the bottom clad layer(302). The metal and solder(309,310) are formed on the top of the terrace(308) and the optical device(311) is mounted on the top of the terrace(308).
Abstract translation: 目的：提供一种光波导平台及其制造方法，用于通过允许半导体器件安装在硅衬底上而不需要硅衬底的制造步骤来解决由于衬底的各向异性蚀刻引起的衬底方向性的限制。 构成：光波导平台包括基板（301），光波导，平台（308），金属和焊料（309,310）和光学装置（311）。 光波导设置有形成在基板（301）的一部分上的底部覆盖层（302），在波导上图案化的中心芯层（303）和顶部覆盖层（304）。 通过图案化底部包层（302），露台（308）由衬底（301）的另一部分形成。 金属和焊料（309,310）形成在露台（308）的顶部上，并且光学装置（311）安装在露台（308）的顶部上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020030078516A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：KR1020020017599
申请日：2002-03-30
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/42
CPC classification number: G02B6/12004 , G02B6/136 , G02B6/42
Abstract: PURPOSE: An optical waveguide platform is provided, which is fabricated with a simple process without an etching process of a silicon substrate or a polishing process of a silica film. CONSTITUTION: The optical waveguide platform includes a substrate(100), and a bottom clad layer(102) which is formed on the substrate and has a terrace(114). An etch stop pattern(104) is formed on the terrace. A height adjustment layer(106) is formed on the bottom clad layer of a part where the terrace and the etch stop pattern are not formed, and align an optical device and an optical waveguide accurately by thickness control. An optical waveguide core layer(108) and a top clad layer(110) are formed on the height adjustment layer in sequence. And a metallic film(116) is formed on a bottom of the terrace.
Abstract translation: 目的：提供一种光波导平台，其采用简单的工艺制造，无需硅衬底的蚀刻工艺或二氧化硅膜的抛光工艺。 构成：光波导平台包括衬底（100）和形成在衬底上并具有露台（114）的底部覆层（102）。 在露台上形成蚀刻停止图案（104）。 在没有形成露台和蚀刻停止图案的部分的底部包层上形成高度调节层（106），并通过厚度控制精确地对准光学装置和光波导。 依次在高度调节层上形成光波导芯层（108）和顶部覆盖层（110）。 并且在露台的底部上形成金属膜（116）。
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公开(公告)号：KR101818670B1
公开(公告)日：2018-01-17
申请号：KR1020110122096
申请日：2011-11-22
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G02F1/0102 , G02F2001/0155
Abstract: 본발명은송신용광 모듈에관한것이다. 본발명의송신용광 모듈은고주파신호를통해, 광을광신호로변조하는 EML, 상기 EML로상기고주파신호를전달하는제 1 서브마운트및 상기 EML로부터상기고주파신호를전달받아상기 EML을터미네이션시키는제 2 서브마운트를포함하며, 상기제 1 서브마운트와상기 EML을연결하는제 1 와이어및 상기제 2 서브마운트와상기 EML을연결하는제 2 와이어는서로다른길이를가진다. 따라서본 발명의송신용광 모듈은확장된고주파변조대역폭을가진다.
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公开(公告)号：KR1020170010936A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：KR1020150102358
申请日：2015-07-20
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01R31/2656 , G01R1/06772 , G01R1/07 , G01R31/2635 , H01L22/32 , H01L23/535 , H01L23/66 , H01L24/05 , H01L24/45 , H01L2223/6611 , H01L2223/6627 , H01L2223/6655 , H01L2224/04042 , H01L2924/00014 , H01P3/00 , H01P5/085 , H01S5/0014 , H01S5/0427 , H01L2224/45099
Abstract: 본발명의실시예에따른무선주파수프로브장치는접지전극및 신호전극을포함하는 RF 도파로(waveguide); 상기신호전극에연결된레지스터; 상기접지전극에연결되는외부도체, 상기신호전극에연결된내부도체, 및상기외부도체와상기내부도체사이를채우는유전체를포함하는 RF 커넥터; 및상기 RF 도파로의상기신호전극에연결되거나, 상기레지스터에연결된단일팁 프로브를포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种射频探针装置，包括：RF波导，包括接地电极和信号电极;连接到信号电极的寄存器; RF连接器，包括连接到接地电极的外部导体;连接到信号电极的内部导体 以及填充外部导体和内部导体之间的部分的电介质体，以及连接到RF波导的信号电极或寄存器的单个尖端探头。
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公开(公告)号：KR1020160064365A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：KR1020140167781
申请日：2014-11-27
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G02B6/12019 , G02B6/4251 , G02B6/4279 , G02B6/26 , H04B10/43
Abstract: 본발명은광모듈에관한것으로, 제1 깊이의제1 단차면및 상기제1 깊이보다얕은제2 깊이의제2 단차면을갖는광학대, 상기제1 단차면의상부에위치하며, 적어도하나이상의반도체칩이실장된실리콘캐리어, 상기제2 단차면에고정되어상기제1 단차면까지연장되고, 상기제1 단차면상부에서상기실리콘캐리어와칩투칩본딩(chip-to-chip bonding)되는 AWG 칩(Arrayed Waveguide Grating Chip), 상기제1 단차면및 상기제2 단차면을제외한상기광학대의상부면에위치하는렌즈및 상기광학대, 상기실리콘캐리어, 상기 AWG 칩및 상기렌즈를둘러싸는금속패키지를포함하되, 상기금속패키지일측면에는상부슬릿과하부슬릿을포함하는이중슬릿이형성되며, 상기상부슬릿을통하여 DC 연성인쇄회로기판(Direct Current FPCB)이상기금속패키지외부에서내부로연장되어상기상부슬릿내측면에형성된지지대에고정되고, 상기하부슬릿을통하여 RF 연성인쇄회로기판(Radio Frequency FPCB)이상기금속패키지외부에서내부로연장되어상기실리콘캐리어의상부에고정되며, 상기이중슬릿의상기상부슬릿과상기하부슬릿은탄성형에폭시(elastic epoxy)로실링(sealing)되는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种光学模块。 光学模块包括：光学台，具有具有第一深度的第一台阶表面和具有小于第一深度的第二深度的第二台阶表面; 硅载体，其位于所述第一台阶表面上并且包括安装在其上的至少一个半导体芯片; 固定在第二台阶表面上的阵列波导光栅（AWG）芯片延伸到第一台阶表面，并与第一台阶表面上的硅载体芯片到芯片接合; 位于除了所述第一台阶面和所述第二台阶面之外的所述光学台的上表面的透镜; 以及围绕光学台，硅载体和AWG芯片的金属封装。 在金属封装的一个侧表面上形成具有上缝和下狭缝的双缝，直流（DC）柔性印刷电路板（FPCB）从金属封套的外部部分延伸到内部，通过 并且固定到形成在上缝隙的内侧表面上的支撑座上，射频（RF）FPCB通过下缝从金属封装的外部延伸到内部，并固定到硅载体上 。 双缝的上缝和下狭缝由弹性环氧树脂密封。 本发明的目的是提供一种能够传送高频信号的超小型光学模块。
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公开(公告)号：KR1020140147321A
公开(公告)日：2014-12-30
申请号：KR1020130070374
申请日：2013-06-19
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S3/10
CPC classification number: G02F1/3532 , G02F1/365 , G02F1/383 , G02F2001/354 , G02F2203/56
Abstract: Provided are a wavelength swept source apparatus and a method for operating thereof. By using the provided apparatus and method, single mode light is generated; a basic optical comb including a plurality of light rays having identical frequency differences with adjacent light rays is generated by modulating the generated single mode light; and a plurality of optical combs, which includes the same number of light rays as the plurality of light rays included in the basic optical comb by modulating the light rays included in the basic optical comb, where the light rays in the optical combs have a different frequency band from that of the basic optical comb, and are distributed in a wider frequency band than that in which the basic optical comb is distributed, are generated by modulating the plurality of light rays. The plurality of light rays included in the basic optical comb and the light rays included in the optical combs are sequentially emitted according to frequencies of each of the plurality of light rays included in the basic optical comb and the light rays included in the plurality of optical combs. According to the present invention, a plurality of light rays having different frequencies may be sequentially emitted at a stable and rapid speed.
Abstract translation: 提供了一种波长扫描源装置及其操作方法。 通过使用所提供的装置和方法，产生单模光; 通过调制所生成的单模光来产生包括与相邻光线具有相同频率差的多个光线的基本光梳; 以及多个光梳，其包括与基本光梳中包括的多个光线相同数量的光梳，其通过调制包括在基本光梳中的光线，其中光梳中的光线具有不同的光 与基本光梳的频带相比，通过调制多个光线而产生分布在比分配基本光梳的更宽的频带。 包括在基本光梳中的多个光线和包括在光梳中的光线根据包括在基本光梳中的多个光线中的每一个的频率以及多个光学组件中包括的光线被顺序地发射 梳子。 根据本发明，可以以稳定且快速的顺序顺序地发射具有不同频率的多个光线。
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