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公开(公告)号：KR1020160047387A
公开(公告)日：2016-05-02
申请号：KR1020150127775
申请日：2015-09-09
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본발명의실시예에따른반도체막의성장방법은제1 반도체막상에개구부들을포함하는제1 마스크패턴을형성하는단계; 상기개구부들을통해노출된상기제1 반도체막의표면으로부터제2 반도체막을성장시켜서, 오목부및 돌출부를포함하는상기제2 반도체막을형성하는단계; 상기돌출부의상면이노출되도록상기오목부내부를제2 마스크막으로채우는단계; 상기제2 마스크막및 상기돌출부의상면을덮는제3 마스크막을형성하는단계; 상기돌출부상면상에제3 마스크패턴이잔류될수 있도록상기제2 마스크막을제거하면서상기제2 마스크막상에중첩된상기제3 마스크막의일부를제거하는단계; 및상기제3 마스크패턴에의해상기돌출부의상면이차단된상태에서, 상기오목부를통해노출된상기제2 반도체막의표면으로부터제3 반도체막을성장시키는단계를포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明的一个实施方案提供一种能够减少裂纹和缺陷密度的半导体膜的生长方法。 根据本发明实施例的用于生长半导体膜的方法包括以下步骤：在第一半导体膜上形成具有开口部分的第一掩模图案; 通过从通过所述开口部暴露的所述第一半导体膜的表面生长所述第二半导体膜，形成具有凹部和突出部的第二半导体膜; 在露出突出部的上表面的同时用第二掩模膜填充凹部的内部; 形成覆盖所述第二掩模膜和所述突出部的上表面的第三掩模膜; 除去重叠在第二掩模膜上的第三掩模膜的一部分，同时移除第二掩模膜，以便允许第三掩模图案残留在突出部分的上表面上; 以及在突出部分的上表面被第三掩模图案阻挡的状态下，通过凹部暴露的第二半导体膜的表面生长第三半导体膜。
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公开(公告)号：KR1020130112548A
公开(公告)日：2013-10-14
申请号：KR1020120035014
申请日：2012-04-04
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G02B6/1228 , G02B6/305
Abstract: PURPOSE: A spot size converter and a manufacturing method thereof are provided to improve the yield of manufactured elements, thereby improving the productivity. CONSTITUTION: A spot size converter comprises a first waveguide (31) and a second waveguide (51). The substrate contains indium phosphide (InP) or gallium arsenide (GaAs). The first waveguide comprises a core layer (30). The core layer is tapered in a first direction in one side of the substrate and extends in a predetermined width in the other side. The second waveguide comprises a waveguide layer (50). The second waveguide covers the first waveguide in one side of the substrate, extends while being tapered in a second direction opposite to the first direction, and has the waveguide layer with the same width as the core layer in the other side of the substrate.
Abstract translation: 目的：提供点尺寸转换器及其制造方法以提高制造元件的产量，从而提高生产率。 构成：点尺寸转换器包括第一波导（31）和第二波导（51）。 衬底包含磷化铟（InP）或砷化镓（GaAs）。 第一波导包括芯层（30）。 芯层在基板的一侧沿第一方向逐渐变细，并在另一侧以预定的宽度延伸。 第二波导包括波导层（50）。 第二波导覆盖基板的一侧的第一波导，沿与第一方向相反的第二方向呈锥形延伸，并且在基板的另一侧具有与芯层相同的宽度的波导层。
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公开(公告)号：KR1020130003913A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：KR1020110065556
申请日：2011-07-01
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S5/12
CPC classification number: H01S5/124 , H01S5/1003 , H01S5/2077 , H01S2301/163
Abstract: PURPOSE: A distributed feedback laser diode and a manufacturing method thereof are provided to obtain a single mode characteristic by equipping a diffraction grid layer having asymmetry coupling coefficient. CONSTITUTION: A first area(111) has a first grating formed shaft. A second area(112) is formed to be adjacent to the first area. The second area has the second diffraction grid layer. An active layer is formed on first and second area frames. The first and second areas form respectively different coupling coefficients of the first and second diffraction grid layers. A distribution feedback laser diode moves a phase of diffraction grid in order to perform single longitudinal mode operation. [Reference numerals] (AA) Λ/4 phase shift diffraction grating; (BB) Diffraction grating; (CC) Active layer; (DD) Spacer
Abstract translation: 目的：提供分布式反馈激光二极管及其制造方法，通过装配具有不对称耦合系数的衍射栅格层来获得单模特性。 构成：第一区域（111）具有第一格栅形成的轴。 第二区域（112）形成为与第一区域相邻。 第二区域具有第二衍射栅格层。 在第一和第二区域框架上形成有源层。 第一和第二区域分别形成第一和第二衍射栅格层的不同耦合系数。 分布反馈激光二极管移动衍射网格的相位，以执行单纵模运行。 （标号）（AA）Λ/ 4相移衍射光栅; （BB）衍射光栅; （CC）活性层; （DD）间隔
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公开(公告)号：KR1020120035816A
公开(公告)日：2012-04-16
申请号：KR1020100100398
申请日：2010-10-14
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G02F1/2257 , G02B2006/12128 , G02F2001/01741 , G02F2001/01758 , G02F2203/56 , H01S5/0085 , H01S5/02248
Abstract: PURPOSE: An optical comb generator is provided to stably generate an optical comb by being integrated on a single substrate. CONSTITUTION: An optical comb generator(100) comprises a substrate(110), a light source(120), and a Mach-Zehnder modulator(130). The Mach-Zehnder modulator comprises a first manual waveguide area(131), a modulation region(133), and a second manual waveguide area(135). The light source outputs light of a single mode. The first manual waveguide area divides the output of the light source into first light and second light. A modulation region includes a first modulator and a second modulator for respectively modulating the first light and the second light. The second manual waveguide area outputs an optical comb by combining output results of the first modulator and the second modulator.
Abstract translation: 目的：提供光梳发生器，通过集成在单个基板上来稳定地产生光梳。 构成：光梳发生器（100）包括衬底（110），光源（120）和马赫 - 曾德调制器（130）。 马赫 - 策德尔调制器包括第一手动波导区域（131），调制区域（133）和第二手动波导区域（135）。 光源输出单模光。 第一手动波导区域将光源的输出分成第一光和第二光。 调制区域包括用于分别调制第一光和第二光的第一调制器和第二调制器。 第二手动波导区域通过组合第一调制器和第二调制器的输出结果来输出光梳。
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公开(公告)号：KR1020090061876A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：KR1020070128861
申请日：2007-12-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/293
CPC classification number: G02B6/12016 , G02B6/12011 , G02B6/132
Abstract: A photonics device is provided, which makes reduction of the size of device and broadening of the wave breadth of the output channel of the arrayed waveguide grating possible. A photonics device comprises the substrate(100), the bottom core layer(120), and upper core pattern(140). The substrate has the star coupler domain(SCR) and transition area(TR). The bottom core layer is formed in the top of the substrate. The upper core pattern is formed in the top of the substrate. The upper core pattern defines the wave guide. The transition area has the double layer core construction.
Abstract translation: 提供了一种光子器件，这使得可以减小阵列尺寸和扩大阵列波导光栅的输出通道的波幅。 光子器件包括基底（100），底部核心层（120）和上部核心图案（140）。 衬底具有星形耦合器域（SCR）和过渡区域（TR）。 底部芯层形成在衬底的顶部。 上部芯图案形成在基板的顶部。 上部核心图案定义了波导。 过渡区域具有双层核心结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100753816B1
公开(公告)日：2007-08-31
申请号：KR1020050100872
申请日：2005-10-25
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01S5/065 , H01S5/0625 , H01S5/0657 , H01S5/1039 , H01S5/1203
Abstract: 포화흡수체와 같은 비선형 영역이 없는 다영역 레이저 다이오드에서 수동 모드 잠김을 이용한 광 펄스 생성 방법을 제공한다. 그 레이저 다이오드는 리플렉터(reflector) 역할을 하는 DFB(distributed feedback) 영역; 및 상기 DFB 영역에 연결되고 끝단에 절단면(as-cleaved facet)이 형성된 이득 영역(gain region)을 포함한다. 본 발명에 의한 레이저 다이오드는 DFB 영역에 문턱 전류 이하의 전류를 인가하여 리플렉터로 작동시킬 경우 수동 모드 잠김이 원활히 발생하여, 포화 흡수체와 같은 영역이 불필요하여 제작이 간편하고, 포화 흡수체를 사용하는 경우에 비해 주파수의 가변 영역을 확대할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020060064502A
公开(公告)日：2006-06-13
申请号：KR1020050078384
申请日：2005-08-25
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S3/067
CPC classification number: H04B10/299 , G02B6/12004
Abstract: 3R(Retiming, Reshaping, Reamplifying) 재생기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 재생기의 일 태양은, 자기-펄스 발진 레이저 다이오드(self-pulsating LD)와 전기 흡수성 변조기(ElectroAbsorption Modulator : EAM)가 반도체 기판에 단일집적된 것이다.
Abstract translation: 3R（Retiming，Reshaping，Reamplifying）player。 根据本发明的再生器的一个方面是将自脉冲LD和电吸收调制器（EAM）集成到单个半导体衬底中。
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公开(公告)号：KR1020060064465A
公开(公告)日：2006-06-13
申请号：KR1020050042421
申请日：2005-05-20
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S3/0941 , G02B6/12
CPC classification number: H01S3/09415 , G02B6/12007 , G02B6/2935 , H01S3/0675
Abstract: 3R(Retiming, Reshaping, Reamplifying) 재생기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 재생기는, 분기된 광신호가 입력되는 제1 입력 포트와 제2 입력 포트, 기판 상에 형성되며 공통 입력단에서 분기되어 공통 출력단에서 통합되는 제1 및 제2 브랜치를 가지고, 상기 제1 및 제2 브랜치 각각에 반도체 광증폭기를 가지며, 상기 제1 입력 포트에 상기 제1 브랜치가 연결되며, 상기 제2 입력 포트에 상기 공통 입력단이 연결된 간섭계, 상기 기판 상에서 상기 제1 입력 포트와 상기 제1 브랜치 사이 또는 상기 제2 입력 포트와 상기 공통 입력단 사이에 상기 간섭계와 일체로 단일집적되며 상기 광신호를 입력받아 광학적 주입 잠금에 의해 재생된 광신호를 출력하는 자기-펄스 발진 레이저 다이오드(self-pulsating LD), 및 상기 공통 출력단에 연결된 출력 포트를 포함하여 구성된다.
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公开(公告)号：KR1020060062721A
公开(公告)日：2006-06-12
申请号：KR1020040101658
申请日：2004-12-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H04B10/00
CPC classification number: H04B10/516 , H04B2210/517
Abstract: 본 발명은 광통신 시스템에서 제로 복귀형 신호를 비제로 복귀형 신호로 변환하는 신호 변화용 신호 처리기에 관한 것으로, 입력도파로와 출력도파로 사이에 두 개의 2R(re-amplifying, re-shaping) 재생기가 서로 다른 길이의 도파로를 통해 병렬로 연결된다. 상기 2R 재생기는 서로 다른 길이를 갖는 두개의 반도체 광증폭기와, 짧은 길이의 반도체 광증폭기에 연결된 위상조절수단을 포함한다. 상기 도파로의 길이 차이에 의해 입력되는 제로 복귀형 신호가 1비트(bit) 반의 시간차이 만큼 지연되므로 2R 재생된 비제로 복귀형 신호를 얻을 수 있다.
제로 복귀, 비제로 복귀, 2R 재생기, 반도체 광증폭기, 위상조절수단-
公开(公告)号：KR100576712B1
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：KR1020030091340
申请日：2003-12-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/28
CPC classification number: H01S5/146 , G02B6/02195 , G02B6/2804 , G02B6/2813 , H01S5/0612 , H01S5/0623 , H01S5/1003 , H01S5/1096 , H01S5/141
Abstract: 본 발명은 이중파장 레이저에서 맥놀이를 이용한 초고속 광신호의 생성을 위한 반도체 광원 소자 및 그 제작방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 광원 소자는, 클리브드 면을 가진 패브리 패롯 레이저 다이오드에 3dB 광 분배기가 집적된 것이다. 상기 3dB 광 분배기의 한 가지에는 제1 도파로 회절격자와 이 제1 도파로 회절 격자의 브라그 파장을 바꿀 수 있는 제1 굴절률 변화 수단이 마련되어 있다. 그리고, 상기 3dB 광 분배기의 다른 가지에는 제2 도파로 회절격자와 이 제2 도파로 회절 격자의 브라그 파장을 바꿀 수 있는 제2 굴절률 변화 수단이 마련되어 있다. 제1 및 제2 굴절률 변화 수단을 이용하여 두 개의 도파로 회절격자의 브라그 파장의 디튜닝을 연속적으로 가변할 수 있고, 이 두 파장의 맥놀이에 의한 초고속 광신호를 얻을 수 있다.
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