-
公开(公告)号:DE102015120210A1
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:DE102015120210
申请日:2015-11-23
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BABURSKE ROMAN , LAVEN JOHANNES GEORG , SCHULZE HANS-JOACHIM , VELLEI ANTONIO
IPC: H01L29/739 , H01L29/78
Abstract: Ein Leistungshalbleitertransistor (1) umfasst einen ersten Lastanschluss (11), einen zweiten Lastanschluss (12) und einen Halbleiterkörper (10), an den ersten Lastanschluss (11) und den zweiten Lastanschluss (12) gekoppelt, wobei der Halbleiterkörper (10) Folgendes enthält: ein Driftgebiet (100) mit Dotierstoffen von einem ersten Leitfähigkeitstyp; eine Transistorsektion (1-1), die konfiguriert ist zum Leiten eines Vorwärtslaststroms, wobei die Transistorsektion (1-1) einen Steuerkopf (1-11) besitzt, der den ersten Lastanschluss (11) an eine erste Seite (100-1) des Driftgebiets (100) koppelt; und eine Diodensektion (1-2), die konfiguriert ist zum Leiten eines Rückwärtslaststroms, wobei die Diodensektion (1-2) einen Diodenanschluss (1-22) besitzt, der den zweiten Lastanschluss (12) an eine zweite Seite (100-2) des Driftgebiets (100) koppelt, wobei der Diodenanschluss (1-22) Folgendes enthält: einen ersten Emitter (101) mit Dotierstoffen vom ersten Leitfähigkeitstyp und konfiguriert zum Injizieren von Mehrheitsladungsträgern in das Driftgebiet (100), wobei der erste Emitter (101) elektrisch mit dem zweiten Lastanschluss (12) verbunden ist; und einen zweiten Emitter (102) mit Dotierstoffen von einem zweiten Leitfähigkeitstyp und konfiguriert zum Injizieren von Minderheitsladungsträgern in das Driftgebiet (100), wobei der erste Emitter (101) in Kontakt mit dem zweiten Emitter (102) angeordnet ist und wobei eine pn-Grenzschicht (105), ausgebildet durch einen Übergang zwischen dem ersten Emitter (101) und dem zweiten Emitter (102), eine Durchschlagspannung von unter 10 V aufweist.
-
公开(公告)号:DE102015111347A1
公开(公告)日:2017-01-19
申请号:DE102015111347
申请日:2015-07-14
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BABURSKE ROMAN , LAVEN JOHANNES GEORG
IPC: H01L29/739 , H01L21/78
Abstract: Eine Halbleitervorrichtung (500) enthält Transistorzellen (TC), die eine erste Lastelektrode (310) mit einer Driftstruktur (120) verbinden, die erste pn-Übergänge (pn1) mit Bodyzonen (115) bilden, wenn eine an eine Gateelektrode (155) angelegte Gatespannung eine erste Schwellenspannung (Vthn) übersteigt. Erste Hilfszellen (AC1) in einer vertikalen Projektion der und elektrisch verbunden mit der ersten Lastelektrode (310) sind dafür ausgebildet, Ladungsträger in die Driftstruktur (120) zumindest in einem in Durchlassrichtung gepolten Modus der ersten pn-Übergänge (pn1) zu injizieren. Zweite Hilfszellen (AC2) sind dafür ausgebildet, Ladungsträger in die Driftstruktur (120) bei einem hohen Emitterwirkungsgrad zu injizieren, wenn in dem in Durchlassrichtung gepolten Modus der ersten pn-Übergänge (pn1) die Gatespannung unterhalb einer zweiten Schwellenspannung (Vthp) liegt, die niedriger als die erste Schwellenspannung (Vthn) ist, und bei einem niedrigen Emitterwirkungsgrad, wenn die Gatespannung die zweite Schwellenspannung (Vthp) übersteigt.
-
公开(公告)号:DE102016109820A1
公开(公告)日:2016-12-01
申请号:DE102016109820
申请日:2016-05-27
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: LAVEN JOHANNES GEORG , RETTINGER HEIKO , BABURSKE ROMAN
IPC: H01L23/58 , H01L29/739
Abstract: Es wird ein Verfahren zum Steuern eines ersten Schalters und eines zweiten Schalters vorgeschlagen, wobei jeder Schalter ein RC-IGBT ist und wobei beide Schalter als eine Halbbrückenschaltung angeordnet sind. Das Verfahren weist Folgendes auf: Steuern des ersten Schalters in einem IGBT-Modus und Steuern des zweiten Schalters, so dass er entsättigt wird, wenn er sich in einem DIODEN-Modus befindet, wobei das Steuern des zweiten Schalters beginnt, bevor der erste Schalter seinen IGBT-Modus vom blockierenden Zustand zum leitenden Zustand ändert, und wenigstens so lange dauert.
-
公开(公告)号:DE102014226161A1
公开(公告)日:2016-07-07
申请号:DE102014226161
申请日:2014-12-17
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: LAVEN JOHANNES GEORG , BASLER THOMAS , COTOROGEA MARIA , BRANDT PHILIP CHRISTOPH , BABURSKE ROMAN
IPC: H01L29/739 , H01L21/331 , H01L23/62
Abstract: Eine Halbleitervorrichtung (1) wird vorgelegt. Die Halbleitervorrichtung (1) umfasst ein Halbleitergebiet (11), wobei das Halbleitergebiet (11) Ladungsträger eines ersten Leitfähigkeitstyps aufweist; eine im Halbleitergebiet (11) enthaltene Transistorzelle (1-1); ein in der Transistorzelle (1-1) enthaltenes Halbleiterkanalgebiet (111), wobei das Halbleiterkanalgebiet (111) eine erste Dotierungskonzentration von Ladungsträgern eines zweiten Leitfähigkeitstyps aufweist, der komplementär zum ersten Leitfähigkeitstyp ist, wobei ein Übergang zwischen dem Halbleiterkanalgebiet (111) und dem Halbleitergebiet (11) einen ersten pn-Übergang (11-1) bildet. Die Halbleitervorrichtung (1) umfasst ferner ein Halbleiterhilfsgebiet (112), das im Halbleitergebiet (11) enthalten ist und vom Halbleiterkanalgebiet (111) verschieden ist, wobei das Halbleiterhilfsgebiet (112) eine zweite Dotierungskonzentration von Ladungsträgern des zweiten Leitfähigkeitstyps aufweist, wobei die zweite Dotierungskonzentration zumindest 30 % höher als die erste Dotierungskonzentration ist, wobei ein Übergang zwischen dem Halbleiterhilfsgebiet (112) und dem Halbleitergebiet (11) einen zweiten pn-Übergang (11-2) bildet, wobei der zweite pn-Übergang (11-2) gleich tief oder tiefer im Halbleitergebiet (11) angeordnet ist wie/als der erste pn-Übergang (11-1) und wobei das Halbleiterhilfsgebiet (112) am nächsten zum Halbleiterkanalgebiet (111) angeordnet ist, verglichen mit jedem anderen Halbleitergebiet der Halbleitervorrichtung (1), das Ladungsträger des zweiten Leitfähigkeitstyps umfasst und das einen weiteren pn-Übergang zum Halbleitergebiet (11) bildet.
-
公开(公告)号:DE102014119543A1
公开(公告)日:2016-06-23
申请号:DE102014119543
申请日:2014-12-23
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: LAVEN JOHANNES GEORG , DAINESE MATTEO , BABURSKE ROMAN , JÄGER CHRISTIAN
IPC: H01L29/739 , H01L29/78
Abstract: Eine Halbleitervorrichtung umfasst Transistorzellen (TC) und Anreicherungszellen (EC). Jede Transistorzelle (TC) umfasst eine Bodyzone (115), die einen ersten pn-Übergang (pn1) mit einer Driftstruktur (120) bildet. Die Transistorzellen (TC) können in den Bodyzonen (115) Inversionskanäle (115x) bilden, wenn ein erstes Steuersignal (C1) eine erste Schwelle (Vthx) überschreitet. Die Inversionskanäle (115x) bilden einen Teil einer Verbindung zwischen der Driftstruktur (120) und einer ersten Lastelektrode (310). Eine Verzögerungseinheit (400) erzeugt ein zweites Steuersignal (C2), dessen Rückflanke bezüglich einer Rückflanke des ersten Steuersignals (C1) verzögert ist. Die Anreicherungszellen (EC) bilden Inversionsschichten in der Driftstruktur (120), wenn das zweite Steuersignal (C2) unter eine zweite Schwelle (Vthy) niedriger als die erste Schwelle (Vthx) fällt. Die Inversionsschichten (120y) sind als Minoritätsladungsträgeremitter wirksam.
-
公开(公告)号:DE102015107331A1
公开(公告)日:2015-11-12
申请号:DE102015107331
申请日:2015-05-11
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BABURSKE ROMAN , DAINESE MATTEO , LECHNER PETER , SCHULZE HANS-JOACHIM , LAVEN JOHANNES GEORG
IPC: H01L29/739 , H01L29/06 , H01L29/41 , H01L29/78 , H01L29/861
Abstract: Eine Halbleitervorrichtung umfasst eine Halbleitermesa (160) mit wenigstens einer Bodyzone (115), die erste pn-Übergänge (pn1) mit Sourcezonen (110) und einen zweiten pn-Übergang mit einer Driftzone (120) bildet. Eine Sockelschicht (130) an einer Seite der Driftzone (120) entgegengesetzt zu der wenigstens einen Bodyzone (115) umfasst erste Zonen (131) eines Leitfähigkeitstyps der wenigstens einen Bodyzone (115) und zweite Zonen (132) eines Leitfähigkeitstyps der Driftzone (120). Elektrodenstrukturen (150, 180) sind auf entgegengesetzten Seiten der Halbleitermesa (160) vorgesehen. Wenigstens eine der Elektrodenstrukturen (150, 180) umfasst eine Gateelektrode (155), die einen Ladungsträgerfluss durch die wenigstens eine Bodyzone (115) steuert. In einem Trennbereich (400) zwischen zwei der Sourcezonen ist (i) eine kapazitive Kopplung zwischen der Gateelektrode (155) und der Halbleitermesa (160) oder (ii) eine Leitfähigkeit von Majoritätsladungsträgern der Driftzone (120) niedriger als außerhalb des Trennbereiches (400).
-
公开(公告)号:DE102015107319A1
公开(公告)日:2015-11-12
申请号:DE102015107319
申请日:2015-05-11
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BABURSKE ROMAN , DAINESE MATTEO , LECHNER PETER , SCHULZE HANS-JOACHIM , LAVEN JOHANNES GEORG
IPC: H01L29/739 , H01L21/331 , H01L29/06
Abstract: Eine Halbleitervorrichtung umfasst eine Halbleitermesa (160), die wenigstens eine Bodyzone (115) aufweist, die erste pn-Übergänge (pn1) mit Sourcezonen (110) und einen zweiten pn-Übergang (pn2) mit einer Driftzone (120) bildet. Elektrodenstrukturen (150, 180) sind auf entgegengesetzten Seiten der Halbleitermesa (160) vorgesehen. Wenigstens eine der Elektrodenstrukturen (150, 180) umfasst eine Gateelektrode (155), die gestaltet ist, um einen Ladungsträgerfluss durch die wenigstens eine Bodyzone (115) zu steuern. In einem Trennbereich (400) zwischen den Sourcezonen (110), die längs einer Ausdehnungs- bzw. Erstreckungsrichtung der Halbleitermesa (160) angeordnet sind, umfasst die Halbleitermesa (160) wenigstens eine partielle oder vollständige Einengung.
-
公开(公告)号:DE102015105335A1
公开(公告)日:2015-10-15
申请号:DE102015105335
申请日:2015-04-08
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: LAVEN JOHANNES GEORG , BABURSKE ROMAN , DAINESE MATTEO , LECHNER PETER
IPC: H01L29/78 , H01L29/739
Abstract: Eine Halbleitervorrichtung (510) umfasst eine Bodyzone (115) in einer Halbleitermesa (150), die zwischen benachbarten Steuerstrukturen (160) gebildet ist, die sich von einer ersten Oberfläche (101) in einen Halbleiterkörper (100) erstrecken. Eine Driftzone (121) bildet einen ersten pn-Übergang mit der Bodyzone (115). In der Halbleitermesa (150) umfasst die Driftzone (121) einen ersten Driftzonenabschnitt (121a), der einen verengten Abschnitt (159) der Halbleitermesa (150) aufweist. Eine minimale horizontale Breite des verengten Abschnittes (159) parallel zu der ersten Oberfläche (101) ist kleiner als eine maximale horizontale Breite der Bodyzonen (115). Eine Emitterschicht (130) zwischen der Driftzone (121) und der zweiten Oberfläche (102) parallel zu der ersten Oberfläche (101) umfasst wenigstens eine erste Zone (131) eines Leitfähigkeitstyps der Driftzone (121).
-
公开(公告)号:DE102014101130A1
公开(公告)日:2014-07-31
申请号:DE102014101130
申请日:2014-01-30
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: LAVEN JOHANNES GEORG , BABURSKE ROMAN , JÄGER CHRISTIAN , SCHULZE HANS-JOACHIM
IPC: H01L29/739 , H01L21/331 , H01L29/06
Abstract: Eine rückwärtssperrende Halbleitervorrichtung umfasst einen Basisbereich (120) eines ersten Leitungstyps und einen Bodybereich (115) eines zweiten, komplementären Leitungstyps, wobei der Basis- und der Bodybereich (120, 115) einen pn-Übergang bilden. Zwischen dem Basisbereich (120) und einer Kollektorelektrode (320) umfasst eine Emitterschicht (130) Emitterzonen (131) des zweiten Leitungstyps und mindestens einen Kanal (132) des ersten Leitungstyps. Der Kanal (132) erstreckt sich zwischen dem Basisbereich (120) und der Kollektorelektrode (320) durch die Emitterschicht (130) und verringert in einem vorwärts sperrenden Zustand den Vorwärtsleckstrom.
-
-
-
-
-
-
-
-