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    光学反射素子
    64.
    发明申请
    光学反射素子 审中-公开
    光学反射元件

    公开(公告)号：WO2013168385A1

    公开(公告)日：2013-11-14

    申请号：PCT/JP2013/002770

    申请日：2013-04-24

    Applicant: パナソニック株式会社

    Inventor： 堀江　寿彰 ,  平岡　聡一郎 ,  中園　晋輔 ,  小牧　一樹

    IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00

    CPC classification number: G02B26/0858 ,  B81B3/0043 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0163 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/10 ,  G02B26/101 ,  G02B26/105

    Abstract: 　光学反射素子は、ミラー部と、一対の接合部と、一対の振動部と、複数の駆動部と、固定部とを有する。接合部はそれぞれ、ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続された第１端と、この第１端の反対側の第２端とを有し、第１軸方向に伸びている。振動部はそれぞれ、接合部の一方の第２端に接続された中央部を有する。複数の駆動部はそれぞれ、一対の振動部のそれぞれに設けられ、ミラー部を回動させる。固定部には一対の振動部の各両端が連結されている。接合部の第１軸に直交する方向の長さとして定義される梁幅は、一対の振動部のそれぞれの梁幅より大きい。

    Abstract translation: 光反射元件包括：反射镜部分; 一对粘接部件; 一对振荡部件; 多个驱动部件; 和锚定部分。 接合部还包括分别连接到面向镜部的位置的第一端和与第一端相对的第二端，所述接合部在第一轴向方向上延伸。 振动部分还包括分别连接到一个接合部分的第二端的中心部分。 多个驱动部分分别设置在所述一对振荡部中的每一个上，并且旋转镜部。 该对振动部的两端分别与锚定部连结。 被定义为在与第一轴正交的方向上的接合部分的长度的波束宽度大于该对振荡部分的相应波束宽度。

    DISPOSITIF ET PROCEDE DE GENERATION D'UNE SECONDE VARIATION DE TEMPERATURE A PARTIR D'UNE PREMIERE VARIATION DE TEMPERATURE
    65.
    发明申请
    DISPOSITIF ET PROCEDE DE GENERATION D'UNE SECONDE VARIATION DE TEMPERATURE A PARTIR D'UNE PREMIERE VARIATION DE TEMPERATURE 审中-公开
    从第一温度变化产生第二温度变化的装置和方法

    公开(公告)号：WO2013079596A1

    公开(公告)日：2013-06-06

    申请号：PCT/EP2012/073968

    申请日：2012-11-29

    Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

    Inventor： CASSET, Fabrice

    IPC: B81B3/00 ,  F03G7/06 ,  H01L41/113 ,  H02N10/00 ,  H02N2/00 ,  H03H9/15 ,  F24J3/00 ,  H03H9/24

    CPC classification number: F24V99/00 ,  B81B3/0024 ,  B81B3/0081 ,  B81B2201/0271 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/032 ,  F03G7/06 ,  H01L41/1136 ,  H02N2/18

    Abstract: Ce dispositif de génération d'une seconde variation ΔΤ 2 de température à partir d'une première variation ΔΤ 1 de température d'utilisation, comporte: - une couche (30) en matériau élastocalorique dont la température interne est apte à varier de ΔΤ 2 en réponse à une variation donnée Δσ d'une contrainte mécanique appliquée sur cette couche en matériau élastocalorique, la variation donnée Δσ étant induite par la première variation ΔΤ 1 de température - un élément suspendu (24) en contact mécanique avec la couche en matériau élastocalorique de manière à appliquer sur cette couche une contrainte mécanique qui varie en réponse à la variation ΔΤ 1 de température d'utilisation, cet élément suspendu (24) étant agencé de manière à faire varier de Δσ la contrainte mécanique appliquée sur la couche en matériau élastocalorique en réponse à la variation ΔΤ 1 de température pour générer ainsi la seconde variation ΔΤ 2 de température.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于从第一使用温度变化DeltaTau1产生第二温度变化DeltaTau2的装置，包括弹性体材料层（30），其内部温度响应于给定的变化Δtau2而变化 施加到所述弹性体材料层上的机械应力，由第一温度变化DeltaTau1引起的给定变化量Deltasigma和与弹性体材料层机械接触的悬浮元件（24），以将所述机械应力施加到所述层上， 根据使用温度变化DeltaTau1而变化。 所述悬挂元件（24）被设置成响应于温度变化DeltaTau1而引起施加到弹性体材料层上的机械应力从Deltasigma的变化，从而产生第二温度变化DeltaTau2。

    MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL
    66.
    发明申请
    MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
    微机械结构和方法微机械结构

    公开(公告)号：WO2009089946A2

    公开(公告)日：2009-07-23

    申请号：PCT/EP2008/065572

    申请日：2008-11-14

    Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BENZEL, Hubert ,  SCHELLING, Christoph

    Inventor： BENZEL, Hubert ,  SCHELLING, Christoph

    IPC: B81B3/00

    CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/0825 ,  G02B26/0858

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil (10) mit einer Halterung (12) mit einer an einer Oberfläche der Halterung (12) ausgebildeten Aussparung (14); einer Membran (16), welche die Aussparung (14) zumindest teilweise abdeckt; mindestens einem auf der Membran (16) angeordneten Aktivelement (24) mit Spannungsanschlüssen; wobei das Aktivelement (24) dazu ausgebildet ist, bei Anlegen einer Spannung an das Aktivelement (24) seine räumliche Ausdehnung zu variieren und die Membran (16) zu verformen; und einem auf der Membran (16) angeordneten Mikroelement (22), welches über ein Verformen der Membran (16) durch Anlegen der Spannung an das Aktivelement (24) verstellbar ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil (10) und ein Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Bauteils (10).

    Abstract translation: 本发明涉及一种具有在支架的一个表面上的保持器（12）配有一微机械部件（10）（12）形成的凹槽（14）; 的膜（16）连接所述凹部（14）至少部分地覆盖; 至少一个在所述膜（16）布置成与电压端子有源元件（24）; 其中所述有源元件（24）适于在施加电压以改变所述有源元件（24），其空间膨胀和变形膜（16）; 和布置成一个，其是可调节由所述膜（16）的变形而通过将电压施加到所述有源元件（24）的膜（16）的微元件（22）上。 此外，本发明涉及一种用于微机械部件（10）和用于操作的微机械部件（10）的方法的制造方法。

    バイモルフ素子、バイモルフスイッチ、ミラー素子及びこれらの製造方法
    67.
    发明申请
    バイモルフ素子、バイモルフスイッチ、ミラー素子及びこれらの製造方法 审中-公开
    BIMORPH元件，BIMORPH开关，镜子元件及其生产工艺

    公开(公告)号：WO2006025456A1

    公开(公告)日：2006-03-09

    申请号：PCT/JP2005/015928

    申请日：2005-08-31

    Applicant: 株式会社アドバンテスト ,  高柳 史一 ,  三瓶 広和

    Inventor： 高柳 史一 ,  三瓶 広和

    IPC: H01H61/01 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  H01H61/013 ,  H01H37/14 ,  H01H37/52

    CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B2201/032 ,  B81B2203/0118 ,  G02B26/0866 ,  H01H61/02 ,  H01H2061/006

    Abstract: 　酸化シリコン層と、酸化シリコン層上に形成され、酸化シリコン層の熱膨張率よりも高い熱膨張率を有する高膨張率層と、酸化シリコン層の表面を覆い、経時変化による酸化シリコン層の変形を防止する変形防止膜とを備えるバイモルフ素子が提供される。変形防止膜は、変形防止膜は、水分及び酸素の透過率が酸化シリコン層よりも低くてもよく、酸化シリコン層を形成する場合よりも高いエネルギーで成膜される酸化シリコンであってもよく、窒化シリコンの膜であってもよく、金属の膜であってもよい。

    Abstract translation: 本发明提供一种双晶体元件，其包含氧化硅层，设置在氧化硅层上并具有比氧化硅层更高的热膨胀系数的较高膨胀系数层，以及覆盖氧化硅表面的变形防止膜 并且能够防止氧化硅层随时间的变形。 变形防止膜的含水率和氧气渗透性可以低于氧化硅层，并且可以是以比形成氧化硅层更高的能量形成的膜形式的氧化硅，可以是氮化硅膜，或者 可能是金属膜。

    MICROSYSTEM WITH ELEMENT DEFORMABLE BY THE ACTION OF A HEAT-ACTUATED DEVICE
    70.
    发明申请
    MICROSYSTEM WITH ELEMENT DEFORMABLE BY THE ACTION OF A HEAT-ACTUATED DEVICE 审中-公开
    具有元件的微结构可以通过加热装置的作用而变形

    公开(公告)号：WO99031689A1

    公开(公告)日：1999-06-24

    申请号：PCT/FR1998/002719

    申请日：1998-12-14

    IPC: H01H1/00

    CPC classification number: H01H1/0036 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/016 ,  B81B2201/032 ,  H01G5/16 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2037/008 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49105 ,  Y10T29/49117 ,  Y10T29/49124 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/49155

    Abstract: The invention concerns a microsystem, in particular for producing microswitches or microvalves, constituted on a substrate (50) and used for producing a shift between a first operating state and a second operating state by means of a heat actuated device with bi-metal switch effect. The heat-actuated device comprises a deformable element (51) connected, by opposite ends, to the substrate (50) so as to present naturally a deflection without stress relative to the substrate surface which faces it, said natural deflection determining the first operating state, the second operating state being produced by the heat-actuated device which induces, by the effect of temperature variation, a deformation of the deformable element (51) tending to reduce its deflection and submitting it to a compressive stress by buckling effect in a direction opposite to its natural deflection.

    Abstract translation: 本发明涉及一种微系统，特别是用于生产微型开关或微型阀，微型开关或微型阀构成在基板（50）上并用于通过具有双金属开关效应的热致动装置在第一操作状态和第二操作状态之间产生换档 。 热致动装置包括通过相对端连接到基板（50）的可变形元件（51），以便相对于面向其的基板表面自然地呈现不受应力的偏转，所述自然偏转确定第一操作状态 所述第二操作状态由所述热驱动装置产生，所述热致动装置通过温度变化而引起所述可变形元件（51）的变形，所述变形元件倾向于减小其偏转，并且通过在方向上的屈曲效应使其变形为压缩应力 与其自然偏转相反。

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