公开(公告)号：WO2009100988A3

公开(公告)日：2010-04-29

申请号：PCT/EP2009050991

申请日：2009-01-29

Applicant: LEIBNIZ INST FUER FESTKOERPER ,  BERMUDEZ ESTEBAN ,  MEI YONGFENG ,  SCHMIDT OLIVER G

Inventor： BERMUDEZ ESTEBAN ,  MEI YONGFENG ,  SCHMIDT OLIVER G

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C99/008 ,  B81B2201/0292 ,  B81C2201/038

Abstract: The invention relates to the field of micro- and nano-technology and a multifunction sensor, of application, for example, in medicine. The aim of the invention is the production of a novel type of ferromagnetic micro-/nano-objects, which can be used as sensors in fluid flow. Said aim is achieved by means of a method, comprising a. application of a sacrificial layer to a substrate, b. application of a thin layer made of at least one ferromagnetic material to the sacrificial layer, c. selective etching of the sacrificial layer such that the thin layer rolls up and forms a micro- and/or nano- tube and then the micro- and/or nano-tube is mechanically removed from the substrate and transferred into or onto a fluid medium in an individual and controlled manner. The aim is further achieved by means of the tubular multifunction sensor produced by the above method which is made of at least one micro- or nano-tube and at least one ferromagnetic material.

Abstract translation: 本发明涉及微和纳米技术领域，并涉及可用于例如在医学多功能传感器。 本发明的目的是提供一种新的类型的被用作液体传感器铁磁微/纳对象。 该目的是通过由以下组成的一个方法来实现。 在衬底上沉积牺牲层，B。 施加一薄层由至少在牺牲层上的铁磁材料，C的。 选择性地蚀刻所述牺牲层，使得薄膜卷起并形成从基板机械去除和控制上或在液体介质中的微米和/或纳米管，然后将微米和/或纳米管和被单独传送。 该目的是通过由本发明的管状多功能传感器，其包括至少一个微或纳米管和至少一个铁磁材料制成的过程进一步解决。

公开(公告)号：WO2009100988A2

公开(公告)日：2009-08-20

申请号：PCT/EP2009/050991

申请日：2009-01-29

Applicant: LEIBNIZ-INSTITUT FÜR FESTKÖRPER- UND WERKSTOFFFORSCHUNG DRESDEN E.V. ,  BERMUDEZ, Esteban ,  MEI, Yongfeng ,  SCHMIDT, Oliver G.

Inventor： BERMUDEZ, Esteban ,  MEI, Yongfeng ,  SCHMIDT, Oliver G.

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C99/008 ,  B81B2201/0292 ,  B81C2201/038

Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf den Bereich der Mikro- und Nanotechnologie und betrifft einen Multifunktionssensor, der beispielsweise in der Medizin eingesetzt werden kann. Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Angabe eines neuen Typs von ferromagnetischen Mikro-/Nano-Objekten, die als Sensoren in Flüssigkeiten einsetzbar sind. Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren, bestehend aus a. Aufbringen einer Opferschicht auf ein Substrat, b. Aufbringen einer Dünnschicht, die aus mindestens einem ferromagnetischen Werkstoff besteht, auf die Opferschicht, c. selektives Ätzen der Opferschicht, so dass sich die Dünnschicht aufrollt und eine Mikro- und/oder Nanoröhre bildet, und dann die Mikro- und/oder Nanoröhre mechanisch vom Substrat entfernt und auf oder in ein flüssiges Medium kontrolliert und einzeln transferiert wird. Die Aufgabe wird weiterhin gelöst durch einen nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten röhrenförmigen Multifunktionssensor, der aus mindestens einer Mikro- oder Nanoröhre und aus mindestens einem ferromagnetischen Material besteht.

Abstract translation: 本发明涉及微和纳米技术领域，并涉及可用于例如在医学多功能传感器。 本发明的目的是提供一种新的类型的被用作液体传感器铁磁微/纳对象。 该目的是通过由以下组成的一个方法来实现。 在衬底上沉积牺牲层，B。 施加一薄层由至少在牺牲层上的铁磁材料，C的。 选择性地蚀刻所述牺牲层，使得薄膜卷起并形成从基板机械去除和控制上或在液体介质中的微米和/或纳米管，然后将微米和/或纳米管和被单独传送。 该目的是通过由本发明的管状多功能传感器，其包括至少一个微或纳米管和至少一个铁磁材料制成的过程进一步解决。

公开(公告)号：WO2008021540A3

公开(公告)日：2008-07-10

申请号：PCT/US2007018365

申请日：2007-08-17

Applicant: UNIV CALIFORNIA ,  MASON THOMAS G ,  HERNANDEZ CARLOS J

Inventor： MASON THOMAS G ,  HERNANDEZ CARLOS J

IPC: B05D3/06 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00

CPC classification number: G03F7/40 ,  B81C99/008 ,  B81C2201/038

Abstract: A method of producing particles includes providing a substrate structure that comprises a solid substrate; forming a target structure on said substrate structure, said target structure comprising a radiation-reactive material; forming a spatially patterned beam of radiation using a patterned mask; exposing at least a portion of the target structure to the spatially patterned beam of radiation to which the radiation-reactive material reacts while leaving other portions of the target structure unexposed to the radiation; removing substantially all of one of the exposed or the unexposed patterned portions of the target structure to provide a plurality of non-contiguous structures that include at least a portion of the radiation-reactive material; and separating the plurality of non-contiguous structures comprising the radiation-reactive material from the substrate structure into a fluid material. Each non-contiguous structure of the radiation-reactive material provides at least a portion of a separate particle after the separation.

Abstract translation: 制造颗粒的方法包括提供包括固体基质的基底结构; 在所述衬底结构上形成目标结构，所述靶结构包括辐射反应性材料; 使用图案化掩模形成空间上图案化的辐射束; 将目标结构的至少一部分暴露于辐射反应性材料反应的空间图案化的辐射束，同时使目标结构的其它部分未暴露于辐射; 去除目标结构的暴露的或未曝光的图案化部分中的一个基本上全部，以提供包括至少一部分辐射反应性材料的多个非连续结构; 以及将包括所述辐射反应性材料的所述多个非连续结构与所述基底结构分离成流体材料。 辐射反应性材料的每个非连续结构在分离之后提供至少一部分单独的颗粒。

公开(公告)号：WO2013036394A2

公开(公告)日：2013-03-14

申请号：PCT/US2012052524

申请日：2012-08-27

Applicant: QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES INC ,  STEPHANOU PHILIP JASON ,  LONDERGAN ANA RANGELOVA ,  GOUSEV EVGENI PETROVICH ,  SHENOY RAVINDRA VAMAN

Inventor： STEPHANOU PHILIP JASON ,  LONDERGAN ANA RANGELOVA ,  GOUSEV EVGENI PETROVICH ,  SHENOY RAVINDRA VAMAN

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/0038 ,  B81B2203/0392 ,  B81C2201/0107 ,  B81C2201/0188 ,  B81C2201/038 ,  C23C18/1653 ,  C25D5/10 ,  C25D5/18 ,  C25D5/48 ,  C25D7/00 ,  Y10T428/12493 ,  Y10T428/24612

Abstract: This disclosure provides implementations of high surface area stacked layered metallic structures, devices, apparatus, systems, and related methods. A plurality of stacked layers on a substrate may be manufactured from a plating bath including a first metal and a second metal. A modulated plating current can deposit alternate first metal layers and alloy layers, the alloy layers including the first metal and the second metal. Gaps between the alloy layers can be formed by selectively etching some portions of the first metal layers to define a stacked layered structure. Stacked layered structures may be useful in applications to form capacitors, inductors, catalytic reactors, heat transfer tubes, non-linear springs, filters, batteries, and heavy metal purifiers.

Abstract translation: 本公开提供了高表面积堆叠分层金属结构，器件，装置，系统和相关方法的实现。 基板上的多个堆叠层可以由包含第一金属和第二金属的电镀槽制造。 调制的电镀电流可沉积交替的第一金属层和合金层，合金层包括第一金属和第二金属。 可以通过选择性地蚀刻第一金属层的一些部分以限定堆叠的分层结构来形成合金层之间的间隙。 堆叠分层结构可用于形成电容器，电感器，催化反应器，传热管，非线性弹簧，过滤器，电池和重金属净化器的应用。

公开(公告)号：WO2012048693A1

公开(公告)日：2012-04-19

申请号：PCT/DE2011/075120

申请日：2011-05-27

Applicant: BPE E. K. ,  HORNIG, Wolfgang

Inventor： HORNIG, Wolfgang

IPC: B44B5/00 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C59/022 ,  B29C59/007 ,  B29C2059/023 ,  B44B5/0052 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/0085 ,  B81C2201/038

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Körpern mit Oberflächenstrukturen im Mikrometer- oder Nanometerbereich, wobei der Prägeabschnitt eines Prägewerkzeugs mittels eines Härteprüfgeräts mehrfach auf verschiedene Stellen der Oberfläche eines Körpers gepresst wird, wodurch an den jeweiligen Aufpressstellen Vertiefungen eingeprägt werden, und wobei ein Prägewerkzeug mit einem länglich geformten Prägeabschnitt eingesetzt und entsprechende Kanäle oder linienartige Strukturen in dem Körper erzeugt werden.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于对具有在微米或纳米范围内，其中，冲压工具的压花部由硬度计的手段按压几次在身体上，这是在各自的Aufpressstellen凹陷印象深刻的表面的不同点处的表面结构的物品的制造方法，并且其中，压花工具具有 用于形冲压部分和相应的通道或线状结构在体内产生的细长。

公开(公告)号：WO2008027571A2

公开(公告)日：2008-03-06

申请号：PCT/US2007/019233

申请日：2007-08-30

Applicant: LIQUIDIA TECHNOLOGIES, INC. ,  DESIMONE, Joseph, M. ,  HENN, Robert, L. ,  SPRAGUE, Jake

Inventor： DESIMONE, Joseph, M. ,  HENN, Robert, L. ,  SPRAGUE, Jake

IPC: C12M3/00

CPC classification number: H01B1/08 ,  B81C99/0095 ,  B81C2201/034 ,  B81C2201/038 ,  H01B1/02 ,  H01B13/00 ,  H01F1/01 ,  Y10T428/2982

Abstract: A plurality of nanoparticles, a structure assembled therefrom, a method of forming the structure, including a plurality of particles where each particle of the plurality of particles is configured with a substantially predetermined shape and a largest dimension less than about 100 micrometers, and where each particle of the plurality of particles includes an opening through the particle.

Abstract translation: 多个纳米颗粒，由其组装的结构，形成所述结构的方法，所述方法包括多个颗粒，其中所述多个颗粒中的每个颗粒配置为具有基本上预定的形状并且最小尺寸小于 大于约100微米，并且其中多个颗粒中的每个颗粒包括穿过颗粒的开口。

公开(公告)号：WO2007062025A1

公开(公告)日：2007-05-31

申请号：PCT/US2006/045037

申请日：2006-11-21

Applicant: LEHIGH UNIVERSITY ,  JAGOTA, Anand ,  GLASSMAKER, Nicholas, J. ,  CHAUDHURY, Manoj, K.

Inventor： JAGOTA, Anand ,  GLASSMAKER, Nicholas, J. ,  CHAUDHURY, Manoj, K.

IPC: B32B3/02 ,  D03D27/00 ,  H01L23/48

CPC classification number: B32B27/12 ,  B32B27/08 ,  B32B2262/0207 ,  B81C1/00111 ,  B81C2201/038 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  F16B5/07 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/23914 ,  Y10T428/23957 ,  Y10T428/23993

Abstract: A fibrillar structure and a method of making it. The structure comprises a backing layer, a plurality of fibrils and a contacting region. The method of making it comprises constructing a synthetic fibrillar array, preparing a liquid material on a substrate and contacting the fibrillar array with the liquid material.

Abstract translation: 纤维结构及其制造方法。 该结构包括背衬层，多个原纤维和接触区域。 其制备方法包括构建合成纤维阵列，在基底上制备液体材料并使原纤维阵列与液体材料接触。

公开(公告)号：WO2016186988A1

公开(公告)日：2016-11-24

申请号：PCT/US2016/032285

申请日：2016-05-13

Applicant: PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE

Inventor： ATIKIAN, Haig, Avedis ,  LONCAR, Marko

IPC: C03B29/00

CPC classification number: H01L21/3065 ,  B81B2207/053 ,  B81B2207/056 ,  B81C99/0095 ,  B81C2201/0143 ,  B81C2201/038 ,  B81C2201/056

Abstract: A method for fabrication of free standing mechanical and photonic structures is presented. A resist mask is applied to a bulk substrate. The bulk substrate is attached to a movable platform. The bulk substrate is exposed to an ion stream produced by a reactive ion beam etching source. The platform is moved relative to the ion stream to facilitate undercutting a portion of the bulk substrate otherwise shielded by the mask.

Abstract translation: 提出了一种制造自由机械和光子结构的方法。 将抗蚀剂掩模施加到块状基板。 散装衬底附接到可移动平台。 本体衬底暴露于由反应离子束蚀刻源产生的离子流。 该平台相对于离子流移动，以便于底切部分本体衬底，否则被掩模屏蔽。

公开(公告)号：WO2016100096A1

公开(公告)日：2016-06-23

申请号：PCT/US2015/065084

申请日：2015-12-10

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  YEE, Seow, Yuen ,  YAMA, Gary

Inventor： YEE, Seow, Yuen ,  YAMA, Gary

IPC: G01L9/12 ,  G01L1/14 ,  B81B7/02

CPC classification number: B81C99/008 ,  B81B7/0058 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0264 ,  B81C2201/038 ,  B81C2201/056 ,  G01L9/0005 ,  G01L19/144 ,  G01L19/147

Abstract: A MEMS device, e.g., a flexible MEMS pressure sensor, is formed by disposing a sacrificial layer, such as photoresist, on a substrate. A first flexible support layer is disposed on the substrate, and a first conductive layer is disposed over a portion of the first support layer. A liquid or gel separator, e.g., silicone oil, is disposed on an internal region of the first conductive layer. A second flexible support layer encapsulates the first conductive layer and the separator. A second conductive layer disposed over the second support layer at least partially overlaps the first conductive layer and forms a parallel plate capacitor. A third flexible support layer encapsulates the second conductive layer and second support layer. Soaking the sensor in hot water releases the sensor from the sacrificial layer.

Abstract translation: 通过在衬底上设置诸如光致抗蚀剂的牺牲层来形成MEMS器件，例如柔性MEMS压力传感器。 第一柔性支撑层设置在基板上，并且第一导电层设置在第一支撑层的一部分上。 液体或凝胶分离器，例如硅油，设置在第一导电层的内部区域上。 第二柔性支撑层封装第一导电层和隔板。 设置在第二支撑层上的第二导电层至少部分地与第一导电层重叠并形成平行板电容器。 第三柔性支撑层封装第二导电层和第二支撑层。 将传感器浸入热水中将传感器从牺牲层释放出来。

公开(公告)号：WO2011033080A1

公开(公告)日：2011-03-24

申请号：PCT/EP2010/063725

申请日：2010-09-17

Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S) ,  DIENY, Bernard ,  JOISTEN, Hélène ,  SABON, Philippe

Inventor： DIENY, Bernard ,  JOISTEN, Hélène ,  SABON, Philippe

IPC: B81C1/00 ,  A61B5/05 ,  H02N11/00

CPC classification number: B81C1/0019 ,  A61B1/00156 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/06 ,  B81C2201/038

Abstract: La présente invention a pour objet une microparticule (2) comportant au moins une queue flexible (6) oblongue apte à propulser ladite microparticule (2) dans une solution le long d'une trajectoire grâce à des battements transversaux à la trajectoire, ladite queue étant pourvue à cet effet d'au moins un élément magnétique de sorte que ledit élément magnétique provoque des battements de ladite queue (6) sous l'action d'un champ magnétique extérieur alternatif non colinéaire avec la trajectoire et une tête (4) mécaniquement raccordée à une extrémité proximale de la queue. La microparticule (2) comporte au moins une couche de matériau formée d'un seul tenant et comprenant ladite queue (6) et ladite tête (4), les dimensions et/ou la forme de ladite tête (4) étant choisie de sorte que les battements de ladite extrémité proximale de ladite queue (6) sont limités par rapport aux battements de l'extrémité distale de la queue (6) et de sorte que ladite tête (4) n'effectue pas de révolution complète autour d'un axe parallèle à la trajectoire sous l'effet du champ magnétique alternatif extérieur.

Abstract translation: 微粒（2）本发明涉及一种微粒（2），其包括：至少一个长椭圆形的柔性尾部（6），能够通过横向于路径的移动来沿着路径将溶液中的所述微粒（2）推进， 至少一个磁性元件，使得所述磁性元件通过与路径非共线的外部交变磁场引起所述尾部（6）的扑动运动; 以及机械地连接到尾部的近端的头部（4）。 微粒（2）包括至少一层由单件制成并包括所述尾部（6）和所述头部（4）的材料，所述头部（4）的尺寸和/或形状被选择为使得所述扑动 所述尾部（6）的近端的运动相对于尾部（6）的远端的扑动运动被限制，并且使得所述头部（4）不围绕平行于路径的轴线执行完整的旋转 当暴露于外部交变磁场时。