具有多个扫描架的干涉仪
    61.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103885179B

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201310593817.X

    申请日:2013-11-21

    Abstract: 一种干涉仪包括固定组件和可移动组件,所述固定组件包括基座、分束器组件和固定反射镜,所述可移动组件包括上扫描架、下扫描架和连接到下扫描架的可移动反射镜。一对内挠曲支承件连接到基座和上扫描架,允许上扫描架相对于基座的运动,并且一对外挠曲支承件连接到上和下扫描架,允许下扫描架相对于上扫描架的运动。上和下扫描架的运动允许可移动反射镜在扫描方向上的扫描运动,所述扫描运动被限制成使得在扫描运动期间,扫描运动保持包含可移动反射镜的平面,平行于在可移动和固定组件之间的相应距离处的包含可移动反射镜的多个平面。

    材料表面处理工艺过程中的等离子体三维信息诊断系统

    公开(公告)号:CN107421639A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201710319349.5

    申请日:2017-05-05

    Inventor: 安宁 倪俊 葛胜兵

    Abstract: 本发明涉及等离子体三维诊断技术领域,具体涉及一种材料表面处理工艺过程中的等离子体三维信息诊断系统;包括计算机、第一平面反射镜、聚焦透镜、入射狭缝、第二平面反射镜、第一球面反射镜、凸面光栅、第二球面聚焦镜和面阵探测器,本发明采用平面反射镜旋转扫描采集及Offner成像光谱诊断系统相结合,通过扫描第一平面反射镜实现不同区域的等离子体信号的采集,扫描过程简单、迅速。通过Offner成像光谱诊断系统实现对所采集信息的分光、探测,最终实现对腔体内的等离子体三维信息的诊断。该系统可以在表面处理腔体外实现对腔体内部的成像信号和二维光谱信息的获取,光谱信号和成像图相对应,可为表面处理工艺过程提供在线检测手段。

    用于补偿由光谱仪系统产生的干涉图的时间周期扰动的光谱仪系统和方法

    公开(公告)号:CN107407601A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201580070440.7

    申请日:2015-02-02

    CPC classification number: G01J3/4535 G01J3/06 G01J3/45

    Abstract: 光谱仪系统和用于补偿由光谱仪系统产生的干涉图的时间周期性扰动的方法。光谱仪系统(2)包括:扫描干涉仪(4);驱动系统(6),其机械耦合到扫描干涉仪(4)的可移动反射器元件(14)并且可操作以实现多个,优选地多于两个,例如三个不同的扫描速度下可移动反射器元件(14)的往复运动;检测器装置(8),被配置为以等距时间间隔对由扫描干涉仪(2)形成的干涉图进行采样以产生采样干涉图;以及数据处理器(10),适于在所述多个不同扫描速度中的每一个处获取采样的干涉图,并且执行如此获取的多个采样干涉图的内容的相对比较。

    一种共口径多视场图谱协同探测系统与方法

    公开(公告)号:CN105676305B

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201511026696.6

    申请日:2015-12-31

    Inventor: 张天序

    Abstract: 本发明公开了一种共口径多视场图谱协同探测系统,所述系统包括红外光学窗口、大视场二维扫描转镜、共口径多视场主光学系统、大视场扫描探测器、凝视红外探测器、红外非成像宽光谱测谱单元、数据处理单元、控制单元及伺服系统。相应地,本发明还提出了基于该系统的方法。本发明通过大视场扫描对目标区域进行搜索,然后由中视场凝视红外检测识别目标,最后对该区域进行小视场精细探测,结合光谱数据分析,识别目标,探测灵敏度更高,捕获跟踪动目标更精确、更稳定,解决了常规遥感探测不可能对动目标和动态现象的运动变化进行研究及对于小尺度对象的搜索和跟踪无法奏效的技术问题,因而具有较高的可实施性及实用推广价值。

    一种电控光取样系统及太赫兹时域光谱仪

    公开(公告)号:CN106289528A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610814526.2

    申请日:2016-09-09

    Abstract: 本发明适用于太赫兹技术领域,提供一种电控光取样系统及太赫兹时域光谱仪,其中,电控光取样系统包括第一激光模块、第二激光模块、第一分束器、第二分束器、第一光电传感器、第二光电传感器、相位探测器、加法器和函数发生器,其中,第一激光模块包括压电传感器;第一分束器通过光纤与第一激光模块连接,第二分束器通过光纤与第二激光模块连接,第一光电传感器和第二光电传感器均与相位探测器连接,相位探测器和函数发生器均与加法器连接,加法器与压电传感器连接。本发明通过采用电控光取样系统来实现时域扫描,并采用光纤取代传统的自由空间来传输光信号,提高了扫描速度、保证了光束传播的稳定性。

    一种迈克尔逊干涉仪动镜扫描运动平台

    公开(公告)号:CN106017672A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610345653.2

    申请日:2016-05-23

    CPC classification number: G01J3/06 G01J2003/062

    Abstract: 本发明公开了一种迈克尔逊干涉仪动镜扫描运动平台,包括机械传动平台和电子电路模块;所述的机械传动平台包括固定组件部分和相对固定组件部分做往复直线运动的活动组件部分;所述的活动组件部分包括活动设置在直线滚动导轨副上的滑块、设置在滑块上并与直线滚动导轨副平行的滑台和设置在滑台一端的动镜,所述的滑台的另一端通过连接器与电机动子线圈相连接;所述的电子电路模块包括伺服控制电路、光电开关电路、光栅编码器处理电路、通信电路和电源电路;本发明解决了现有动镜扫描运动平台运动均匀性不高、运动速度范围窄以及精度不高的问题,能进行多档速度调整,极大的提高了其适用范围。

    药剂检查装置和药剂检查方法

    公开(公告)号:CN103649722B

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201280031904.X

    申请日:2012-06-27

    Inventor: 福间智裕

    Abstract: 本发明提供一种能够对从外观无法判别药剂量、药剂成分的量不同的药剂进行判别的药剂检查装置和药剂检查方法。本发明的药剂检查装置在药剂的包装工序中对药剂的种类进行判别,该包装工序以多列的方式输送收纳有多个药剂的各个容器所排的列,在每一列中或每个容器中各自含有不同药剂成分的量的药剂,药剂检查装置包括:对药剂照射包括近红外线的光线的照射装置;被射入来自药剂的反射光的分光器;对由分光器分光的光谱进行拍摄,生成拍摄数据的近红外线拍摄装置;和对拍摄数据进行处理,进行对药剂的种类进行判别的计算控制装置,近红外线拍摄装置,在一次拍摄中,对在上述列中药剂排列方向的规定长度上所分配的规定数量的像素的各光谱进行拍摄,控制装置进行控制,使得近红外线拍摄装置对上述一列所包含的药剂进行至少一次拍摄,通过按每个容器对药剂表面上的像素的光谱进行求取平均,计算每一个药剂的平均光谱数据,基于平均光谱数据判别药剂的种类。

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