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    Optical sheet inspection system
    62.
    发明公开
    Optical sheet inspection system 失效
    光学检测系统

    公开(公告)号：EP0477536A3

    公开(公告)日：1992-12-09

    申请号：EP91114092.9

    申请日：1991-08-22

    Applicant: ALLTRISTA CORPORATION

    Inventor： Wertz, Ronald D. ,  Minet, H. Kent ,  Messerschmidt, Daniel J. ,  Brown, Carey, S.

    IPC: G01N21/89 ,  G01N21/86

    CPC classification number: G01N21/8903 ,  B65H43/04 ,  B65H2553/42 ,  B65H2553/45 ,  G01N2021/845 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2021/891 ,  G01N2201/06126

    Abstract: An optical inspection system inspects individual sheets having scrolled and unscrolled edges for defects in a production line with high transfer velocities. Each of the individual sheets are delivered in a production line with some spacing between them and potentially with some degree of skewness and offset from the production center line. The inspection system of the present invention utilizes a formed viewing window over which individual sheets from the production line are delivered. As each sheet is delivered over the formed viewing window, the undersurface of each individual sheet is uniformly and continuously illuminated along the length of the formed viewing window with high intensity diffused light. The reflected light from the surface of each moving individual sheet is captured by at least one video camera. As the sheet moves across the formed viewing window, a line-by-line video image is captured and stored according to a rectangularization technique which eliminates the need for customized masks. An analyzer receives the stored information and analyzes the stored information for the presence of defects.

    Vorrichtung zur dreidimensionalen Inspektion von Hohlkörpern
    63.
    发明公开
    Vorrichtung zur dreidimensionalen Inspektion von Hohlkörpern 失效
    中空体三维检测装置

    公开(公告)号：EP0433666A3

    公开(公告)日：1992-03-25

    申请号：EP90121925.3

    申请日：1990-11-16

    Applicant: ELPATRONIC AG

    Inventor： Apter, Robert ,  Pau, Louis-Français ,  Agerskov, Carsten ,  Jacobi, Ulrik ,  Sloth Henrik

    IPC: G01N21/90

    CPC classification number: G01N21/90 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2201/06126

    Abstract: Ein Förderer bewegt die Hohlkörper (18) auf einer Kreisbahn durch einen Inspektionsbereich (20), in welchem die Hohlkörper (18) durch eine Beleuchtungseinrichtung (16) homogen beleuchtet werden. Das von den Hohlkörpern (18) ausgehende Licht gelangt über eine Gruppe (34) von vier Spiegeln (34a-34d) und einen Umlenkspiegel (36) auf eine Matrix- oder Zeilenkamera (30). Die Spiegel (34a-34d) sind ebene, feste Spiegel, die gegeneinander abgewinkelt sind. Die Hohlkörper (18) führen beim Passieren des Inspektionsbereiches (20) eine vollständige Drehung um ihre Längsachse aus. Daher nimmt die Gruppe (34) von vier Spiegeln nacheinander jeweils ein Viertel des Umfangs der Hohlkörper auf. Die Inspektionsvorrichtung eignet sich besonders zum Inspizieren des Gewindebereiches von Flaschen und hat den Vorteil, dass sie keine bewegten Spiegel benötigt.

    Vorrichtung zur dreidimensionalen Inspektion von Hohlkörpern
    64.
    发明公开
    Vorrichtung zur dreidimensionalen Inspektion von Hohlkörpern 失效
    对于空心体的三维检查的装置。

    公开(公告)号：EP0433666A2

    公开(公告)日：1991-06-26

    申请号：EP90121925.3

    申请日：1990-11-16

    Applicant: ELPATRONIC AG

    Inventor： Apter, Robert ,  Pau, Louis-Français ,  Agerskov, Carsten ,  Jacobi, Ulrik ,  Sloth Henrik

    IPC: G01N21/90

    CPC classification number: G01N21/90 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2201/06126

    Abstract: Ein Förderer bewegt die Hohlkörper (18) auf einer Kreisbahn durch einen Inspektionsbereich (20), in welchem die Hohlkörper (18) durch eine Beleuchtungseinrichtung (16) homogen beleuchtet werden. Das von den Hohlkörpern (18) ausgehende Licht gelangt über eine Gruppe (34) von vier Spiegeln (34a-34d) und einen Umlenkspiegel (36) auf eine Matrix- oder Zeilenkamera (30). Die Spiegel (34a-34d) sind ebene, feste Spiegel, die gegeneinander abgewinkelt sind. Die Hohlkörper (18) führen beim Passieren des Inspektionsbereiches (20) eine vollständige Drehung um ihre Längsachse aus. Daher nimmt die Gruppe (34) von vier Spiegeln nacheinander jeweils ein Viertel des Umfangs der Hohlkörper auf. Die Inspektionsvorrichtung eignet sich besonders zum Inspizieren des Gewindebereiches von Flaschen und hat den Vorteil, dass sie keine bewegten Spiegel benötigt.

    Abstract translation: 一种输送机，通过在该中空体（18）通过的照明装置（16）被均匀照射的检查区域（20）移动的圆形路径上的中空体（18）。 该空心体（18）出射的光穿过的四个反射镜（34A-34D）和一个矩阵或线阵相机（30）上的偏转反射镜（36）的基团（34）。 反射镜（34A-34D）是平坦的，固定的反射镜，其是相互成角度的。 中空体（18）穿过所述检查区域（20）时进行了完整的绕其纵轴旋转。 因此，该组（34）从四个反射镜依次在中空本体的圆周的每一种情况下四分之一减小。 检查装置特别适合用于检测瓶子的螺纹区域，并且具有它不需要动镜的优点。

    Automatic high speed optical inspection system
    65.
    发明公开
    Automatic high speed optical inspection system 失效
    自动售货机Geschwindigkeit arbeitende optischePrüfungsvorrichtung。

    公开(公告)号：EP0426166A2

    公开(公告)日：1991-05-08

    申请号：EP90120932.0

    申请日：1990-10-31

    Applicant: KLA INSTRUMENTS CORP.

    Inventor： Chadwick, Curt H. ,  Sholes, Robert H. ,  Greene, John D. ,  Tucker, Francis D. III ,  Fein, Michael E. ,  Jann, P.C. ,  Harvey, David J. ,  Bell, William

    IPC: G01N21/88 ,  G01R31/308 ,  G06T7/60

    CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/956 ,  G01N21/95607 ,  G01N2021/8907 ,  G01N2021/8908 ,  G01N2021/95615 ,  G01N2021/95638 ,  G01N2201/06126 ,  G01R31/309 ,  G01R31/311

    Abstract: Methods and apparatus for inspecting surface features of a substrate. In each configuration, at least one TDI sensor is used to image the portions of interest of the substrate, with those portions illuminated either with substantially uniform illumination. In one configuration, a substrate is compared to the expected characteristic features prestored in a memory. In a second configuration, a first and second pattern in a region of the surface of at least one substrate are inspected by comparing one pattern against the other and noting whether they agree with each other without the prestoring of an expected pattern. This is accomplished by illuminating at least the two patterns, imaging the first pattern and storing its characteristics in a temporary memory, then imaging the second pattern and comparing it to the stored characteristics from the temporary memory. Here, the comparison reveals whether the two patterns agree or not. Then the comparisons continue sequentially with the second pattern becoming the first pattern in the next imaging/comparison sequence against a new second pattern. Each time the comparison is performed, it is noted whether or not there has been agreement between the two patterns and which two patterns where compared. After all of the patterns are sequentially compared, the bad ones are identified by identifying those that did not compare with other patterns in the test process. This inspection technique is useful for doing die-to-die inspections. A variation of the second configuration uses two TDI sensors to simultaneously image the first and second patterns, thus eliminating the need for the temporary memory. In this configuration, the two patterns are simultaneous imaged and compared, then additional patterns are compared sequentially, in the same manner with the results of the comparisons and the pattern locations stored determine which patterns are bad when the inspection of all patterns is completed.

    Abstract translation: 用于检查基板的表面特征的方法和装置。 在每种配置中，使用至少一个TDI传感器来对基片的感兴趣的部分进行成像，其中那些部分以基本均匀的照明照亮。 在一种配置中，将衬底与预先存储在存储器中的预期特征特征进行比较。 在第二配置中，通过将一个图案与另一个基板的一个图案进行比较，并且注意到它们是否彼此一致而不预先预定图案，来检查至少一个基板的表面区域中的第一和第二图案。 这是通过照亮至少两个图案，对第一图案进行成像并将其特征存储在临时存储器中，然后对第二图案进行成像并将其与来自临时存储器的存储特性进行比较来实现的。 在这里，比较显示两种模式是否一致。 然后比较继续顺序地与第二图案相对于新的第二图案在下一个成像/比较序列中成为第一图案。 每次执行比较时，都注意到两种模式之间是否存在一致性，以及两种模式之间的比较。 在所有模式顺序比较之后，通过识别在测试过程中与其他模式不相比较的那些模式来识别不良模式。 这种检查技术对于进行模具检查是有用的。 第二配置的变型使用两个TDI传感器来同时对第一和第二图案进行成像，因此不需要临时存储器。 在该配置中，两个图案被同时成像和比较，然后以与比较的结果相同的方式对附加图案进行比较，并且存储的图案位置确定当所有图案的检查完成时哪些图案是不好的。

    集體照明裝置 MACRO ILLUMINATION APPARATUS
    68.
    发明专利
    集體照明裝置 MACRO ILLUMINATION APPARATUS 失效
    集体照明设备 MACRO ILLUMINATION APPARATUS

    公开(公告)号：TWI274183B

    公开(公告)日：2007-02-21

    申请号：TW092114435

    申请日：2003-05-28

    Applicant: 奧林柏士股份有限公司 OLYMPUS CORPORATION

    Inventor： 神崎和宏 KAZUHIRO KANZAKI

    IPC: G02B ,  F21V

    CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/8812 ,  G01N2201/06126

    Abstract: 本發明具備：光源(23)、及會聚來自於光源部(23)所輸出之照明光的會聚透鏡(24)、及選擇照明光散射或直接通過進行變化的液晶散射板(25)、及移動將光纖(26)之出射端及凸透鏡(24)收置於照明箱(22)使可整體移動的玻璃基板(3)面上的集體照射領域W的照明領域移動機構(28)。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明具备：光源(23)、及会聚来自于光源部(23)所输出之照明光的会聚透镜(24)、及选择照明光散射或直接通过进行变化的液晶散射板(25)、及移动将光纤(26)之出射端及凸透镜(24)收置于照明箱(22)使可整体移动的玻璃基板(3)面上的集体照射领域W的照明领域移动机构(28)。

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