Abstract:
An optical inspection system inspects individual sheets having scrolled and unscrolled edges for defects in a production line with high transfer velocities. Each of the individual sheets are delivered in a production line with some spacing between them and potentially with some degree of skewness and offset from the production center line. The inspection system of the present invention utilizes a formed viewing window over which individual sheets from the production line are delivered. As each sheet is delivered over the formed viewing window, the undersurface of each individual sheet is uniformly and continuously illuminated along the length of the formed viewing window with high intensity diffused light. The reflected light from the surface of each moving individual sheet is captured by at least one video camera. As the sheet moves across the formed viewing window, a line-by-line video image is captured and stored according to a rectangularization technique which eliminates the need for customized masks. An analyzer receives the stored information and analyzes the stored information for the presence of defects.
Abstract:
Ein Förderer bewegt die Hohlkörper (18) auf einer Kreisbahn durch einen Inspektionsbereich (20), in welchem die Hohlkörper (18) durch eine Beleuchtungseinrichtung (16) homogen beleuchtet werden. Das von den Hohlkörpern (18) ausgehende Licht gelangt über eine Gruppe (34) von vier Spiegeln (34a-34d) und einen Umlenkspiegel (36) auf eine Matrix- oder Zeilenkamera (30). Die Spiegel (34a-34d) sind ebene, feste Spiegel, die gegeneinander abgewinkelt sind. Die Hohlkörper (18) führen beim Passieren des Inspektionsbereiches (20) eine vollständige Drehung um ihre Längsachse aus. Daher nimmt die Gruppe (34) von vier Spiegeln nacheinander jeweils ein Viertel des Umfangs der Hohlkörper auf. Die Inspektionsvorrichtung eignet sich besonders zum Inspizieren des Gewindebereiches von Flaschen und hat den Vorteil, dass sie keine bewegten Spiegel benötigt.
Abstract:
Ein Förderer bewegt die Hohlkörper (18) auf einer Kreisbahn durch einen Inspektionsbereich (20), in welchem die Hohlkörper (18) durch eine Beleuchtungseinrichtung (16) homogen beleuchtet werden. Das von den Hohlkörpern (18) ausgehende Licht gelangt über eine Gruppe (34) von vier Spiegeln (34a-34d) und einen Umlenkspiegel (36) auf eine Matrix- oder Zeilenkamera (30). Die Spiegel (34a-34d) sind ebene, feste Spiegel, die gegeneinander abgewinkelt sind. Die Hohlkörper (18) führen beim Passieren des Inspektionsbereiches (20) eine vollständige Drehung um ihre Längsachse aus. Daher nimmt die Gruppe (34) von vier Spiegeln nacheinander jeweils ein Viertel des Umfangs der Hohlkörper auf. Die Inspektionsvorrichtung eignet sich besonders zum Inspizieren des Gewindebereiches von Flaschen und hat den Vorteil, dass sie keine bewegten Spiegel benötigt.
Abstract:
Methods and apparatus for inspecting surface features of a substrate. In each configuration, at least one TDI sensor is used to image the portions of interest of the substrate, with those portions illuminated either with substantially uniform illumination. In one configuration, a substrate is compared to the expected characteristic features prestored in a memory. In a second configuration, a first and second pattern in a region of the surface of at least one substrate are inspected by comparing one pattern against the other and noting whether they agree with each other without the prestoring of an expected pattern. This is accomplished by illuminating at least the two patterns, imaging the first pattern and storing its characteristics in a temporary memory, then imaging the second pattern and comparing it to the stored characteristics from the temporary memory. Here, the comparison reveals whether the two patterns agree or not. Then the comparisons continue sequentially with the second pattern becoming the first pattern in the next imaging/comparison sequence against a new second pattern. Each time the comparison is performed, it is noted whether or not there has been agreement between the two patterns and which two patterns where compared. After all of the patterns are sequentially compared, the bad ones are identified by identifying those that did not compare with other patterns in the test process. This inspection technique is useful for doing die-to-die inspections. A variation of the second configuration uses two TDI sensors to simultaneously image the first and second patterns, thus eliminating the need for the temporary memory. In this configuration, the two patterns are simultaneous imaged and compared, then additional patterns are compared sequentially, in the same manner with the results of the comparisons and the pattern locations stored determine which patterns are bad when the inspection of all patterns is completed.
Abstract in simplified Chinese:本发明具备:光源(23)、及会聚来自于光源部(23)所输出之照明光的会聚透镜(24)、及选择照明光散射或直接通过进行变化的液晶散射板(25)、及移动将光纤(26)之出射端及凸透镜(24)收置于照明箱(22)使可整体移动的玻璃基板(3)面上的集体照射领域W的照明领域移动机构(28)。