公开(公告)号：EP3256856A1

公开(公告)日：2017-12-20

申请号：EP15871090.5

申请日：2015-12-17

Applicant: Singulex, Inc.

Inventor： LIVINGSTON, Richard ,  GILBERT, Michelle ,  FELBERG, Jacqueline ,  BISHOP, Jeffrey

IPC: G01N33/58 ,  G01N33/53 ,  G01N21/62

CPC classification number: G01N21/6428 ,  G01J3/4406 ,  G01N21/645 ,  G01N21/6452 ,  G01N33/5302 ,  G01N33/536 ,  G01N33/58 ,  G01N33/6845 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2021/6441 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/105

Abstract: Analyzers and analyzer systems that include an analyzer for determining multiple label species, methods of using the analyzer and analyzer systems to analyze samples, are disclosed herein. The analyzer includes one or more sources of electromagnetic radiation to provide electromagnetic radiation at wavelengths within the excitation bands of one or more fluorophore species to an interrogation space that is translated through the sample to detect the presence or absence of molecules of different target analytes. The analyzer may also include one or more detectors configured to detect electromagnetic radiation emitted from the one or more fluorophore species. The analyzer for determining multiple target molecule species provided herein is useful for diagnostics because the concentration of multiple species of target molecules may be determined in a single sample and with a single system.

公开(公告)号：EP2863207A4

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：EP13807737

申请日：2013-06-11

Applicant: SHARP KK

Inventor： KAWAMUKI RYOHHEI

IPC: G01N21/64 ,  G01N27/447

CPC classification number: G01N21/6456 ,  G01N21/6486 ,  G01N27/44721 ,  G01N27/44778 ,  G01N2021/6478 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/101 ,  G01N2201/104

公开(公告)号：EP2378273A3

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：EP10182395.3

申请日：2004-12-03

Applicant: Candela Instruments

Inventor： Meeks, Steven W.

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/47 ,  G01N21/95 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9506 ,  G01B11/0616 ,  G01B11/0641 ,  G01B11/065 ,  G01B11/303 ,  G01B11/306 ,  G01N21/21 ,  G01N21/47 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/8427 ,  G01N2021/8841 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/1045 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: A method for measuring a defect on a surface of an object (4501), comprising:
directing a first light beam in a first plane of incidence toward a first position on the object (4501);
directing a second light beam in a second plane of incidence toward a second position on the object (4501), wherein the angle between the first plane of incidence and the second plane of incidence is zero and wherein the first light beam is directed in a circumferential direction (4504) and the second light beam is directed in a radial direction of said object (4501);
detecting a first scattered light beam; and
detecting a second scattered light beam; wherein the first scattered light beam comprises scattered light intensity from the first position and the second scattered light beam comprises scattered light intensity from the second position, the method further comprising a step of comparing the first scattered light beam and the second scattered light beam to determine a first aspect ratio of a defect on the surface of the object (4501).

公开(公告)号：EP2378273A2

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：EP10182395.3

申请日：2004-12-03

Applicant: Candela Instruments

Inventor： Meeks, Steven W.

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/47 ,  G01N21/95 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9506 ,  G01B11/0616 ,  G01B11/0641 ,  G01B11/065 ,  G01B11/303 ,  G01B11/306 ,  G01N21/21 ,  G01N21/47 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/8427 ,  G01N2021/8841 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/1045 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: A double-sided optical inspection system is presented which may detect and classify particles, pits and scratches on thin film disks or wafers in a single scan of the surface. In one embodiment, the invention uses a pair of orthogonally oriented laser beams, one in the radial and one in the circumferential direction on both surfaces of the wafer or thin film disk. The scattered light from radial and circumferential beams is separated via their polarization or by the use of a dichroic mirror together with two different laser wavelengths.

Abstract translation: 一种用于测量物体表面上的缺陷的方法，包括：将第一光束在第一入射平面中朝向物体上的第一位置引导; 将第二光束引导到物体（4501）上的第二位置的第二入射平面中，其中第一入射平面和第二入射平面之间的角度为零，并且其中第一光束被引导在圆周 方向（4504），并且所述第二光束被引导在所述物体（4501）的径向方向上; 检测第一散射光束; 并检测第二散射光束; 其中所述第一散射光束包括来自所述第一位置的散射光强度，并且所述第二散射光束包括来自所述第二位置的散射光强度，所述方法还包括比较所述第一散射光束和所述第二散射光束以确定 物体表面上的缺陷的第一纵横比（4501）。

公开(公告)号：EP1756552A1

公开(公告)日：2007-02-28

申请号：EP05742549.8

申请日：2005-04-15

Applicant: Sepha Limited

Inventor： Parker, Andrew Ernest ,  STEWART, Neil ,  Storkey, Matthew E., M

IPC: G01N21/95

CPC classification number: G01N21/55 ,  A61J1/035 ,  G01N21/8422 ,  G01N21/9508 ,  G01N2021/845 ,  G01N2201/104

Abstract: A method for detecting an imperfection in a blister package having at least one radiation-transmissible layer (32), optionally moving, the blister package having a flat side and a pocket side, the method comprising the steps of directing radiation (18, 18’) at the flat side and/or the pocket side of the blister package and detecting any radiation (22) emitted from at least one edge of the blister package.

公开(公告)号：WO2014096705A1

公开(公告)日：2014-06-26

申请号：PCT/FR2013/053167

申请日：2013-12-18

Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

Inventor： VOGLER, René

IPC: G01N23/203 ,  G01V5/00 ,  G21K1/04 ,  G01N21/35

CPC classification number: G01N23/203 ,  G01N21/47 ,  G01N21/59 ,  G01N23/04 ,  G01N2201/104 ,  G01N2223/314 ,  G01N2223/3301 ,  G01N2223/335 ,  G21K1/02 ,  G21K1/043 ,  H04N5/32 ,  H04N5/33

Abstract: Un dispositif d'éclairage par balayage comporte un centre d'émission à partir duquel un rayonnement est émis dans un secteur d'éclairage 2, une couronne cylindrique 3 (ou une simple portion d'une telle couronne) centrée sur la source et mobile en rotation autour d'un premier axe 4, cette couronne comportant une pluralité de fentes 5 régulièrement réparties autour de son axe de rotation et ayant une même amplitude angulaire α, une portion de cylindre 7 centrée sur la source et mobile en rotation autour d'un second axe 8 croisant le premier axe audit centre en formant un angle non nul, cette portion de cylindre comportant une fente 9 ayant une amplitude angulaire β, un premier dispositif 2 de commande pas à pas de la rotation de la couronne définissant un pas angulaire élémentaire αα tel qu'il existe un entier N1 différent de 1 respectant la condition α=N1.αα, et un dispositif 13 de commande pas à pas de la rotation de la portion de couronne définissant un pas angulaire ββ tel qu'il existe un entier N2 diffèrent de 1 respectant la condition β=N2.ββ. En variante, les parties pleines et vides des éléments 3 et 7 ont des rôles inversés.

Abstract translation: 扫描照明装置包括：在照明扇区2中发射辐射的发射中心，以源为中心并且可围绕第一轴线4旋转移动的圆柱形环3（或这种环的简单部分），该环包括 多个狭缝5，其围绕其旋转轴线规则地分布并且具有相同的角度振幅α; 圆筒部分7以源为中心并且围绕第二轴线8可旋转地移动，第二轴线8在所述中心处与第一轴线交叉并与其形成非零的角度，该圆筒部分包括具有角度振幅的狭缝9。 用于逐步控制环的旋转的第一装置2，限定基本角度步长αα使得满足条件α=N1.αα的满足1的整数N1; 以及用于逐步控制环形部分的旋转的装置13，其限定角度步长＆bgr; 使得存在满足条件＆bgr = 1的满足1的整数N 2。＆bgr;＆bgr; 作为变型，元件3和7的未孔径和有孔部分具有相反的作用。

公开(公告)号：WO2009111407A2

公开(公告)日：2009-09-11

申请号：PCT/US2009/035749

申请日：2009-03-02

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION ,  ZHAO, Guoheng ,  RUNYON, Rex ,  VAEZ-IRAVANI, Mehdi

Inventor： ZHAO, Guoheng ,  RUNYON, Rex ,  VAEZ-IRAVANI, Mehdi

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/104 ,  G02B26/123 ,  Y10S359/90

Abstract: A multi-spot scanning technique using a spot array having a predetermined gap between spots can advantageously provide scalability to a large number of spots as well as the elimination of cross-talk between channels. The multi-spot scanning technique can select a number of spots for the spot array (1D or 2D), determine a separation between the spots to minimize crosstalk, and perform a scan on a wafer using the spot array and a full field of view (FOV). Performing the scan includes performing a plurality of scan line cycles, wherein each scan line cycle can fill in gaps left by previous scan line cycles. This 'delay and fill' scan allows large spacing between spots, thereby eliminating cross-talk at the detector plane. In one embodiment, the scan is begun and ended outside a desired scan area on the wafer to ensure full scan coverage.

Abstract translation: 使用具有点之间的预定间隙的点阵列的多点扫描技术可以有利地提供对大量斑点的可扩展性以及消除通道之间的串扰。 多点扫描技术可以选择点阵列（1D或2D）的多个斑点，确定斑点之间的间隔以最小化串扰，并使用斑点阵列和全视场对晶片进行扫描（ FOV）。 执行扫描包括执行多个扫描线周期，其中每个扫描线周期可以填充先前扫描线周期留下的间隙。 这种“延迟和填充”扫描允许斑点之间的大间距，从而消除检测器平面处的串扰。 在一个实施例中，扫描开始并结束在晶片上期望的扫描区域的外部，以确保全扫描覆盖。

公开(公告)号：WO2008026435A1

公开(公告)日：2008-03-06

申请号：PCT/JP2007/065539

申请日：2007-08-08

Applicant: オリンパス株式会社 ,  池滝 慶記

Inventor： 池滝 慶記

IPC: G01N21/64 ,  G02B21/00

CPC classification number: G02B21/16 ,  G01N21/6458 ,  G01N2021/6415 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/1053 ,  G02B5/20 ,  G02B5/3083 ,  G02B21/002 ,  G02B26/06 ,  G02B2207/113

Abstract: 　ポンプ光を出射するポンプ光用光源21と、イレース光を出射するイレース光用光源22と、ポンプ光およびイレース光を同軸に合成する光合成部(23～26)と、合成光を集光する集光部62と、合成光により試料を走査する走査部(44,45)と、試料から発生する光応答信号を検出する検出部50と、合成光の光路中に配置され、イレース光に対して高い波長選択特性を有するイレース光選択領域およびポンプ光に対して高い波長選択特性を有するポンプ光選択領域を備える波長選択素子42と、合成光の光路中に配置され、波長選択素子のイレース光選択領域に対応するイレース光を空間変調する空間変調素子43と、を有する。

Abstract translation: 显微镜设置有用于发射泵浦光束的泵浦光束光源（21）; 擦除光束光源（22），用于发射擦除光束; 用于同轴合成泵浦光束和擦除光束的光合成部分（23-26）; 用于收集合成光束的光收集部分（62）; 用于用合成光束扫描样品的扫描部分（44,45）; 检测部分，用于检测从样本产生的光响应信号; 布置在合成光的光路中并具有对擦除光束具有高波长选择特性的擦除光束选择区域的波长选择元件（42）以及具有高波长选择的泵浦光束选择区域 泵梁特性; 以及空间调制元件（43），其布置在合成光束的光路中，并且对与波长选择元件的擦除光选择区域相对应的擦除光束进行空间调制。

公开(公告)号：WO2005103791A1

公开(公告)日：2005-11-03

申请号：PCT/EP2005/051282

申请日：2005-03-18

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS HEIDELBERG GMBH ,  OLSCHEWSKI, Frank

Inventor： OLSCHEWSKI, Frank

IPC: G02B21/16

CPC classification number: G02B21/16 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/6458 ,  G01N2021/1785 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2021/6439 ,  G01N2021/6482 ,  G01N2201/104 ,  G02B21/365

Abstract: In einer Vorrichtung insbesondere in einem Mikroskop (10) zur Aufnahme statischer und funktionaler Daten eines Objekts (15) wird ein Modellspeicher (31) zum Ablegen eines erwarteten Modells des Objekts (15) vorgesehen. Zur Visualisierung eines Bildes (35) des Objekts (15) werden Bilddaten des Objekts in einer Sortiereinrichtung (33) in Abhängigkeit von dem gewählten Modell so sortiert, dass ein Bild (35) des Objekts (15) visualisiert werden kann.

Abstract translation: 特别是在一个用于容纳对象的静态和功能数据显微镜（10）的装置（15）被提供用于存储所述对象（15）的预期模型的模型存储器（31）。 在一个分选装置（33）作为所选择的模型的函数可视化对象（15）的图像（35）的对象的排序的图像数据是所述对象（15）的图像（35）可以被可视化。

公开(公告)号：WO2016100701A1

公开(公告)日：2016-06-23

申请号：PCT/US2015/066440

申请日：2015-12-17

Applicant: SINGULEX, INC.

Inventor： LIVINGSTON, Richard ,  GILBERT, Michelle ,  FELBERG, Jacqueline ,  BISHOP, Jeffrey

IPC: G01N33/58 ,  G01N33/53 ,  G01N21/62

CPC classification number: G01N21/6428 ,  G01J3/4406 ,  G01N21/645 ,  G01N21/6452 ,  G01N33/5302 ,  G01N33/536 ,  G01N33/58 ,  G01N33/6845 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2021/6441 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/105

Abstract: Analyzers and analyzer systems that include an analyzer for determining multiple label species, methods of using the analyzer and analyzer systems to analyze samples, are disclosed herein. The analyzer includes one or more sources of electromagnetic radiation to provide electromagnetic radiation at wavelengths within the excitation bands of one or more fluorophore species to an interrogation space that is translated through the sample to detect the presence or absence of molecules of different target analytes. The analyzer may also include one or more detectors configured to detect electromagnetic radiation emitted from the one or more fluorophore species. The analyzer for determining multiple target molecule species provided herein is useful for diagnostics because the concentration of multiple species of target molecules may be determined in a single sample and with a single system.

Abstract translation: 本文公开了包括用于确定多个标签种类的分析器，使用分析仪和分析仪系统分析样品的方法的分析仪和分析仪系统。 分析仪包括一个或多个电磁辐射源，以将一个或多个荧光团物质的激发带内的波长处的电磁辐射提供给通过样品翻译的询问空间，以检测不同目标分析物的分子的存在或不存在。 分析器还可以包括被配置为检测从一个或多个荧光团物种发射的电磁辐射的一个或多个检测器。 用于确定本文提供的多种靶分子物质的分析仪可用于诊断，因为可以在单个样品中和单个系统中确定多种目标分子的浓度。