公开(公告)号：EP1960210A2

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：EP06838952.7

申请日：2006-12-04

Applicant: Bio-Rad Laboratories, Inc.

Inventor： CHU, Daniel Y.

IPC: B41J15/14

CPC classification number: G01N21/253 ,  G01N2201/0446 ,  G01N2201/1042

Abstract: Scanning of a microarray is performed through a mask that exposes a plurality, but not all, of the sites of the microarray, and either the mask is movable relative to the microarray or the microarray is movable relative to the mask, or both. The mask is useful as a means of restricting the illumination of sites on the microarray to those that can be illuminated while the scan head is traveling at a steady, target velocity, blocking the passage of light between the scan head and the microarray at those points in the scan head trajectory where the scan head is either accelerating or decelerating. The mask is also useful for reducing background noise in the microarray image by preventing light spillage to sites adjacent to those being scanned.

公开(公告)号：JP2017146218A

公开(公告)日：2017-08-24

申请号：JP2016028615

申请日：2016-02-18

Applicant: 富士フイルム株式会社

Inventor： 田中 康武

IPC: G02B21/36 ,  G06T1/00 ,  H04N5/225 ,  H04N5/243 ,  G01N21/17

CPC classification number: G01N21/6402 ,  G01N21/55 ,  G01N21/6456 ,  G01N27/44721 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2201/1042

Abstract: 【課題】蛍光板と被検体とが直接接触することによる蛍光板の汚染を防止することができる撮像装置および方法を提供する。 【解決手段】被検体を支持する被検体支持部21と、被検体支持部21に対して、サンプル22が支持された側とは反対側から入射される光を出射する光源部50と、光源部50から出射され、被検体支持部21およびサンプル22を通過した光の照射を受けて蛍光Lを発する蛍光板29と、蛍光板29から発せられ、被検体支持部21およびサンプル22を通過した蛍光Lを検出するフォトマルチプライア71と、蛍光板29を支持する板支持部80とを備え、板支持部80が、蛍光板29を被検体支持部21に対して近づく方向および離れる方向に移動させることによって、被検体支持部21と蛍光板29との間隔を変更可能に構成されている。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP5175061B2

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：JP2007117006

申请日：2007-04-26

Applicant: シーメンス アクチエンゲゼルシヤフトSiemens Aktiengesellschaft

Inventor： ハイネ ヴォルフガング ,  シュプリーゲル ディーター ,  シュトックマン ミヒャエル ,  ヴェーバー マルティン

IPC: G01N21/958 ,  G01M11/00

CPC classification number: G01N21/896 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/958 ,  G01N33/386 ,  G01N2021/4716 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2201/0642 ,  G01N2201/1042

公开(公告)号：JP2010538278A

公开(公告)日：2010-12-09

申请号：JP2010523241

申请日：2008-09-03

Applicant: ベルジアン エレクトロニック ソーティング テクノロジー、エヌ.ヴィ.

Inventor： ベルグマンズ、ポール

IPC: G01N21/89 ,  B07C5/342 ,  B07C5/36

CPC classification number: B07C5/342 ,  G01N21/85 ,  G01N21/8901 ,  G01N2021/8592 ,  G01N2201/1042

Abstract: The invention relates to a system comprising a broadband optical light source and a sorting device and more specifically to laser sorting devices. The object of the present invention is to provide a system comprising a sorting device with a light-source offering all wavelengths for the sorting process. This is solved by using an all fiber supercontinuum light source.

公开(公告)号：JP2016006437A

公开(公告)日：2016-01-14

申请号：JP2015190131

申请日：2015-09-28

Applicant: ベルジアン エレクトロニック ソーティング テクノロジー、エヌ.ヴィ.

Inventor： ベルグマンズ、ポール

IPC: G02F1/365 ,  G01N21/85 ,  G01N21/84

CPC classification number: B07C5/342 ,  G01N21/85 ,  G01N2021/8592 ,  G01N21/8901 ,  G01N2201/1042

Abstract: 【課題】多色選別用途におけるマルチ・モードの問題、及び従来のシングル・モード・ファイバの限られた帯域幅(動作窓)という欠点のない選別デバイスを提供すること。 【解決手段】本発明は、広帯域光源と選別デバイスとを備えるシステムに関し、より詳細にはレーザ式選別デバイスに関する。本発明の目的は、選別プロセスに対して全ての波長を提供する光源を有する選別デバイスを備えるシステムを提供することにある。このことは、全ファイバ・スーパコンティニューム光源を使用することにより解決される。 【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种在多色分选应用中不具有多模式问题的分类装置或传统单模光纤的有限带宽（操作窗口）的缺点。解决方案：本发明涉及一种包括宽带光 源和分类装置，更具体地涉及激光分选装置。 本发明的目的是提供一种包括具有提供用于分选过程的所有波长的光源的分类装置的系统。 这通过使用全纤维超连续光源来解决。

公开(公告)号：JP2009519466A

公开(公告)日：2009-05-14

申请号：JP2008545638

申请日：2006-12-04

Applicant: バイオ−ラッド ラボラトリーズ,インコーポレイティド

Inventor： ワイ． チュー，ダニエル

IPC: G01N33/53 ,  G01N21/01 ,  G01N37/00

CPC classification number: G01N21/253 ,  G01N2201/0446 ,  G01N2201/1042

Abstract: マイクロアレイのスキャニングは、マイクロアレイの部位のうち全てではない複数の部位を露出するマスクを通じて実行される。 マスクがマイクロアレイに対して可動、または、マイクロアレイがマスクに対して可動の何れかであるか、または両方である。 マスクは、スキャンヘッドが加速するかまたは減速するかの何れかのスキャンヘッドの軌道内の部位上において、スキャンヘッドとマイクロアレイとの間の光路を遮断しているので、マスクは、マイクロアレイ上の部位への照明を、スキャンヘッドが安定しかつ目標速度により移動している間に照明される部位に制限する手段として有効である。 さらに、マスクは、スキャンされた部位の隣接する部位への光流出を防止するので、マイクロアレイ画像内のバックグラウンドノイズを減少させるのに有効である。
【選択図】図１

公开(公告)号：JP2007292770A

公开(公告)日：2007-11-08

申请号：JP2007117006

申请日：2007-04-26

Applicant: Siemens Ag ,  シーメンス アクチエンゲゼルシヤフトSiemens Aktiengesellschaft

Inventor： HEINE WOLFGANG ,  SPRIEGEL DIETER ,  STOCKMANN MICHAEL ,  WEBER MARTIN DR

IPC: G01N21/958 ,  G01M11/00

CPC classification number: G01N21/896 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/958 ,  G01N33/386 ,  G01N2021/4716 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2201/0642 ,  G01N2201/1042

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device and a method capable of perfect optical inspection of point shaped, linear shaped or laminar defects at a plane surface area, wherein dimensions are in a submicron range. SOLUTION: This sensor comprises a telecentric laser scanner and a detection unit, and has a constitution wherein the telecentric laser scanner has a laser for approximately perpendicular lighting of a plane surface area, a scanning mirror, and a telecentric optical system for guiding lighting and detection beams, and the detection unit has a detection optical system, a central diaphragm arranged in the telecentric laser scanner direction concentrically near the detection optical system, a super sensitive photomultiplier for detecting scattered light emitted from a defect spot on the smooth surface, and a slit diaphragm connected to the front side of the photomultiplier. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够完美地在平面表面积处的点状，线状或层状缺陷的光学检查的装置和方法，其中尺寸在亚微米范围内。 解决方案：该传感器包括远心激光扫描器和检测单元，并且具有其中远心激光扫描仪具有用于平面表面积近似垂直点亮的激光，扫描镜和用于引导的远心光学系统 检测单元，检测单元具有检测光学系统，配置在远心激光扫描仪方向上同心地位于检测光学系统附近的中央光阑;超灵敏光电倍增管，用于检测从光滑表面上的缺陷点发出的散射光; 以及与光电倍增管的前侧连接的狭缝膜片。 版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

公开(公告)号：KR1020170141943A

公开(公告)日：2017-12-27

申请号：KR1020160075008

申请日：2016-06-16

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 조용훈 ,  임승혁 ,  송현규

IPC: G01N21/88 ,  G01J1/44

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01J1/44 ,  G01J2001/448 ,  G01N2201/1042

Abstract: 본발명은, 반도체의고속광학검사방법에관한것으로, 보다구체적으로, 시편을여기시키는단계; 상기시편에서발광된빛을스캔하여측정광을획득하는단계; 상기측정광을분광기로전달하는단계; 상기전달된측정광을분광기를이용하여선측정하거나또는면측정하여광학정보를획득하는단계; 및상기광학정보를 CCD(전자결합소자)를이용하여 CCD 이미지를획득하여광학정보를처리하는단계; 를포함하는, 반도체의고속광학검사방법에관한것이다. 본발명은, 기존의반도체소자의광학검사방법에비하여, 검사시간을대폭줄일 수있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种半导体的高速光学检查方法，更具体地说， 扫描试样发出的光线以获得测量光; 将测量光传输至分光镜; 通过使用分光镜对透射的测量光进行线或平面测量来获取光学信息; 并且通过使用CCD（电子耦合装置）获取CCD图像来处理光学信息以处理光学信息; 用于半导体的高速光学检测方法。 产业上的可利用性本发明与现有的半导体装置用光学检查方法相比，能够大幅缩短检查时间。

公开(公告)号：KR1020160083765A

公开(公告)日：2016-07-12

申请号：KR1020150000302

申请日：2015-01-02

Applicant: 안성룡

Inventor： 안성룡

IPC: G01N21/958 ,  G01N21/952 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01N21/958 ,  G01N21/952 ,  G01N2201/0635 ,  G01N2201/102 ,  G01N2201/1042 ,  G01N2201/1047

Abstract: 본발명은곡면형상을가지는소재에대하여평면부분과곡면부분을모두정확하게검사할수 있는곡면소재검사장치에관한것으로서, 본발명에따른곡면소재검사장치는, 피검사대상곡면소재(1)를장착하는장착지그(110); 상기장착지그(110)를회동및 상하구동시키는지그구동부(120); 상기장착지그(110)의상측에설치되며, 상기장착지그(110)에장착된피검사대상곡면소재(1)를검사하는검사카메라(130); 상기장착지그(130)의주변에설치되며, 상기곡면소재(1)에조명을조사하는조명부(150); 상기장착지그(110)를상기곡면소재(1)의검사위치에따라상하구동및 회동시키면서상기검사카메라(130)를이용하여검사하는제어부(도면에미도시);를포함한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种能够精确检查具有弯曲表面的材料的平坦部分和弯曲部分的弯曲表面材料的装置。 根据本发明的实施例的检查曲面材料的装置包括：保持检查对象弯曲材料（1）的安装夹具（110）; 夹具驱动单元，用于使安装夹具旋转或升高; 安装在安装夹具（110）的上侧的检查照相机（130），用于检查安装在安装夹具（110）中的检查对象弯曲材料（1）。 安装在所述安装夹具（130）附近以照射所述弯曲表面材料（1）的照明单元（150）; 以及控制单元（未示出），以通过根据检查位置升高或旋转安装夹具（110）来检查使用检查照相机（130）的弯曲表面材料（1）。

公开(公告)号：KR101658123B1

公开(公告)日：2016-10-04

申请号：KR1020160086561

申请日：2016-07-08

Applicant: 주식회사 엠오티

Inventor： 박호식 ,  박찬선 ,  김태윤 ,  박희철 ,  송기훈

IPC: G01N21/88 ,  H01L21/677

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N2201/1042 ,  G01N2201/1056 ,  H01L21/677

Abstract: 본발명은광소자어레이패널의검사를위해미리광소자어레이패널을워크테이블에정확하게정렬하는기술로서, 광소자어레이패널의불량을검사할때 그검사가정확하게이루어지도록검사직전에해당패널을워크테이블에정확하면서도쉽게정렬할수 있도록하는기술이다. 특히, 워크테이블의하부에슬라이드정렬부를구비하여다양한규격을갖는광소자어레이패널에대응하여손쉽게정렬작업을수행하도록하는기술에관한것이다. 본발명에따르면, 프로브블록에프로브가압블록을구비함으로써광소자어레이패널표면의미세한굴절에도불구하고필름타입의브로브와광소자어레이패널의패턴부와의접촉을에러없이정확하게수행하도록하는장점이있다.