公开(公告)号：EP2746748A1

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：EP12823870.6

申请日：2012-07-11

Applicant: Olympus Corporation

Inventor： TANABE, Tetsuya ,  YAMAGUCHI, Mitsushiro

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/64 ,  G01N15/14 ,  G01N15/1429 ,  G01N15/1434 ,  G01N21/51 ,  G01N21/6408 ,  G01N21/645 ,  G01N21/6452 ,  G01N21/6458 ,  G01N21/6486 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6441 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/105 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/008

Abstract: In the scanning molecule counting method which detects light of a light-emitting particle in a sample solution using a confocal or multiphoton microscope, there is provided an optical analysis technique enabling the scanning in a sample solution with moving a light detection region in a broader area or along a longer route while making the possibility of detecting the same light-emitting particle as different particles as low as possible and remaining the size or shape of the light detection region unchanged as far as possible. In the inventive optical analysis technique, there are performed detecting light from the light detection region and generating time series light intensity data during moving the position of the light detection region along the second route whose position is moved along the first route in a sample solution, and thereby, the signal indicating light from each light-emitting particle existing in a predetermined route is individually detected using the time series light intensity data.

公开(公告)号：EP2159568A1

公开(公告)日：2010-03-03

申请号：EP09168888.7

申请日：2009-08-28

Applicant: Laboratoire Central des Ponts et Chaussées

Inventor： Guillard, Yannick ,  Pilniere, Franck ,  Kraenner, Edith

IPC: G01N21/55

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01N2021/551 ,  G01N2201/08 ,  G01N2201/105

Abstract: Dispositif (10) embarqué sur un véhicule (12) pour mesurer le coefficient de luminance rétroréfléchie (R L ) de marquages routiers (16, 28, 32) à des emplacements successifs. Ce dispositif comprend un dispositif (34,134) d'émission et projection de faisceau lumineux en lumière non cohérente, vers une surface de mesure, des moyens (42) d'acquisition du rayonnement lumineux réfléchi par la surface de mesure, des moyens (44) de traitement du signal, déterminant le coefficient de luminance rétroréfléchie (R L ).
Lors d'une mesure du coefficient (R L ) à un emplacement, le dispositif (34,134) d'émission et projection de faisceau lumineux projette une pluralité de faisceaux lumineux (C1 à C32 ; C101 à C132) éclairant chacun une surface éclairée élémentaire (E1 à E32; E101 à E132).
Une surface éclairée cumulée (41) étant la réunion des surfaces éclairées élémentaires, à chaque instant pendant la mesure audit emplacement, la surface éclairée est strictement incluse dans la surface éclairée cumulée (41), grâce à quoi le système consomme une puissance instantanée réduite, et peut présenter une largeur de mesure importante.
Procédé de mesure associé.

Abstract translation: 设备（10）具有设置有八个LED的光束发射和投射装置（34），用于在测量位置处的道路标记（28,32）的回射亮度系数测量期间发射和投射照射各个基本照明表面的光束 （38）。 在道路标记的亮度系数的测量期间，基本照明的表面在每一时刻被严格地包含在累积的照明表面中。 还包括用于在连续测量位置测量道路标记的回射亮度系数的方法的独立权利要求。

公开(公告)号：EP1063512B1

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：EP00109519.9

申请日：2000-05-04

Applicant: Mettler-Toledo AutoChem, Inc.

Inventor： Hamann, Oliver

IPC: G01N15/02 ,  G01P5/00 ,  G01P3/68

CPC classification number: G01N21/51 ,  G01N15/0211 ,  G01N2021/4709 ,  G01N2201/105 ,  G02B6/4206

公开(公告)号：EP1063512A2

公开(公告)日：2000-12-27

申请号：EP00109519.9

申请日：2000-05-04

Applicant: LASER SENSOR TECHNOLOGY, INC.

Inventor： Hamann, Oliver

IPC: G01N15/02

CPC classification number: G01N21/51 ,  G01N15/0211 ,  G01N2021/4709 ,  G01N2201/105 ,  G02B6/4206

Abstract: The present invention relates to a backscattering apparatus and method for optical scanning along a circular path using one or more optical illuminators and receivers. More particularly, it relates to an apparatus and method of focusing one or more beams of light into one or more beam spots, scanning the common beam spot(s) across a circular path and receiving light backscattered from the beam spot(s) with one or more detectors. A rotationally mounted scanning optics having an optical axis parallel to but not coaxial with the axis of rotation is used to accomplish these functions. A motor may be operatively linked to the scanning optics to cause the same to rotate at a constant angular velocity whereby, with appropriate signal generating detector and signal processing electronics, the number and size of particles suspended in a fluid medium exposed to the beam spot(s) can be determined.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于沿着使用一个或多个光学照明器和接收器的圆形路径光学扫描一个反向散射装置和方法。 更具体地说，它涉及的装置和聚焦的光的一个或多个波束到一个或多个束斑，穿过一个圆形路径扫描共同射束点（一个或多个）中，用一个接收从光点（S）的反向散射光的方法 或多个检测器。 具有光轴平行，但不与所述旋转轴线同轴旋转地安装的扫描光学系统被用于实现合成功能。 马达可以被可操作地连接到所述扫描光学器件，以使相同的以恒定的角速度旋转，由此，通过适当的信号产生检测器和信号处理电子设备，悬浮在暴露于束斑的流体介质中的颗粒的数量和大小（ 多个）可以是确定性的开采。

公开(公告)号：KR1020150088835A

公开(公告)日：2015-08-03

申请号：KR1020157016552

申请日：2013-11-20

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 랑게스티븐

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/359 ,  G01N21/95

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/359 ,  G01N21/55 ,  G01N21/9503 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/105

Abstract: 3D 웨이퍼에대한다중-스펙트럼결함(defect) 검사가제공된다. 웨이퍼상에형성된하나이상의구조들에서의결함들을검출하도록구성된한 시스템은, 이산(discrete) 스펙트럼대역들에서의광을웨이퍼상에형성된하나이상의구조들로향하게하도록구성된조명(illumination) 서브시스템을포함한다. 이산스펙트럼대역들중 적어도일부는근적외선(near infrared; NIR) 파장범위에있다. 이산스펙트럼대역들각각은 100㎚보다작은대역통과(bandpass)를갖는다. 이시스템은하나이상의구조들로부터반사된이산스펙트럼대역들에서의광에응답하여출력을생성하도록구성된검출서브시스템을또한포함한다. 또한, 이시스템은출력을이용하여웨이퍼상의하나이상의구조들에서의결함들을검출하도록구성된컴퓨터서브시스템을포함한다.

公开(公告)号：KR101316568B1

公开(公告)日：2013-10-15

申请号：KR1020120026046

申请日：2012-03-14

Applicant: 한국식품연구원

Inventor： 전향숙 ,  최성욱 ,  장현주 ,  이나리 ,  옥경식

IPC: G01N21/35

CPC classification number: G01N21/3581 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/94 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/1045 ,  G01N2201/105 ,  G02B3/00 ,  H01Q15/08

Abstract: 본 발명은 테라헤르츠파 영역의 광원을 이용하여 비파괴적인 방법으로 높은 검출 분해능을 가진 물체 검사 장치 및 이에 포함된 포커싱 렌즈를 개시한다. 본 발명에 따른 물체 검사 장치는, 테라파를 생성하여 시간에 따라 경로를 이동시키며 상기 테라파를 피검물로 공급하는 테라파 공급부; 상기 테라파 공급부와 상기 피검물 사이에 위치하여, 상기 테라파 공급부에 의해 공급되는 테라파를 포커싱하는 포커싱 렌즈; 플레이트 형태로 구성되어 중심으로부터 거리를 달리하는 상기 포커싱 렌즈를 다수 개 구비하며, 상기 테라파의 경로 이동에 따라 어느 하나의 포커싱 렌즈가 상기 테라파의 진행 경로에 위치하도록 원주 방향으로 회전하는 회전판; 및 상기 피검물에 입사된 테라파를 수집하여 검출하는 테라파 검출부를 포함한다.

公开(公告)号：KR1020120073270A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：KR1020127008652

申请日：2010-09-01

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 칸델다니엘 ,  레빈스키블라디미르 ,  스비저알렉산더 ,  셀릭슨조엘 ,  힐앤드류 ,  바차오하드 ,  마나쎈암논 ,  추앙융호알렉스 ,  셀라일란 ,  마코비쯔모쉬 ,  네그리다리아 ,  로템에프라임

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/47 ,  G01B11/02 ,  G01B11/0641 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/211 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/4792 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/105 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

Abstract: 다양한 계측 시스템 및 방법이 제공된다.

公开(公告)号：KR20180004239A

公开(公告)日：2018-01-10

申请号：KR20177035244

申请日：2016-05-04

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/88 ,  G02B26/10 ,  G02B27/10 ,  G02B27/12 ,  G02F1/33

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0635 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/106 ,  G02B26/101 ,  G02B27/1086 ,  G02B27/123 ,  G02F1/33

Abstract: 경사각멀티빔 스폿스캐닝웨이퍼검사시스템에서복수의빔 라인을생성하는시스템은조명빔을스캔하도록구성된빔 스캐닝디바이스, 샘플의표면에대해경사각으로배향되고대물렌즈및 샘플상의제 1 스캐닝방향에수직인광축을갖는대물렌즈, 및대물렌즈와빔 스캐닝디바이스사이에배치된하나이상의광학요소를포함한다. 하나이상의광학요소는 2개이상의오프셋빔이제 1 방향에수직인적어도제 2 방향으로분리되도록빔을 2개이상의오프셋빔으로분할한다. 하나이상의광학요소는 2개이상의오프셋빔이스캔중에샘플에동시에포커싱되도록 2개이상의오프셋빔의위상특성을또한수정한다.

Abstract translation: 倾斜角的多束斑扫描系统中的晶片测试，用于产生多个束线的系统中的倾斜角度的光束扫描装置的表面被定向，一个样品，用于扫描在垂直于物镜在所述第一扫描方向和所述样品光轴的光束 并且至少一个光学元件设置在物镜和光束扫描装置之间。 所述至少一个光学元件将所述光束分成两个或更多偏移光束，使得所述至少两个偏移光束现在在至少垂直于一个方向的第二方向上分离。 该至少一个光学元件还修改两个或更多偏移束的相位特性，使得两个或更多个偏移束在扫描期间同时聚焦在样本上。

公开(公告)号：KR101771608B1

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：KR1020167001680

申请日：2013-06-30

Applicant: 가부시키가이샤 섬코

Inventor： 스도토시아키 ,  사토타다히로 ,  키타하라켄 ,  오하라마사미

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/65 ,  C03B20/00 ,  C30B15/10 ,  C30B29/06

CPC classification number: H01J37/32935 ,  C30B15/00 ,  C30B15/10 ,  C30B15/14 ,  C30B29/06 ,  C30B35/002 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/65 ,  G01N21/68 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/8477 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/12

Abstract: 실리카유리도가니의내표면상의측정점에있어서, 적외선흡수스펙트럼또는라만시프트를측정하는측정공정, 및얻어진스펙트럼에근거하여상기측정점에표면결함부위가발생할지아닐지를예측하고, 상기실리카유리도가니의품질을판단하는판단공정을구비하는것을특징으로하는실리카유리도가니의검사방법이다.

Abstract translation: 在石英玻璃坩埚的内表面，测量过程的基础上，所获得的测量的红外吸收光谱或拉曼位移和预测是否要在测量点产生的表面缺陷点的光谱上的测量点，石英玻璃坩埚的质量。 以及判断石英玻璃坩埚的判断步骤。

公开(公告)号：KR1020150077275A

公开(公告)日：2015-07-07

申请号：KR1020140130823

申请日：2014-09-30

Applicant: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤

Inventor： 호리이료고

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/04

CPC classification number: G01N21/8422 ,  G01N21/9505 ,  G01N2201/105 ,  H01L31/0463 ,  Y02E10/50 ,  Y02E10/541

Abstract: 박막태양전지용가공품에있어서의광 흡수층의하측에가공되어있는가공홈의위치를정확하게검출할수 있는가공홈 검출방법및 그장치를제공한다. 기판(11)상에하부전극층(12)과광 흡수층(13, 14)을순차적층하고, 하부전극층(12)의일부에하부전극분리용홈(S)이가공된박막태양전지용가공품(W)에대해, 광흡수층(13, 14)에덮인홈(S)을검출하는가공홈 검출방법으로, 가공품(W)으로부터복사되는광 흡수층(13, 14)을투과가능한파장영역의촬상용적외광을광 흡수층(13, 14)의상방측에배치된적외선촬상장치(16)에의해검출하여복사강도분포화상데이터를취득하고, 이복사강도분포화상데이터에의거하여하부전극층(12)의홈(S)을검출한다.

Abstract translation: 提供一种用于检测薄膜太阳能电池的处理槽的方法和装置，其能够精确地检测在薄膜太阳能电池的加工产品中在光吸收层的下侧处理的加工槽的位置。 在薄膜太阳能电池的加工品（W）中，在基板（11）上依次层叠底部电极层（12）和光吸收层（13,14）。 用于分离底部电极的凹槽（S）在底部电极层（12）的一部分上被加工。 在用于检测被处理的凹槽以检测由光吸收层（13,14）覆盖的凹槽（S）的方法中，通过检测用于对波长区域进行成像以发射光吸收层的红外线，获得辐射强度分布图像数据（ 13，14）通过布置在光吸收层（13,14）的上侧的红外成像装置（16）从加工产品（W）辐射。 基于辐射强度分布图像数据检测底部电极层（12）的凹槽（S）。