公开(公告)号：EP1012870B1

公开(公告)日：2008-05-07

申请号：EP98913603.1

申请日：1998-02-27

Applicant: Inficon GmbH

Inventor： GROSSE BLEY, Werner ,  KÜSTER, Gerhard

IPC: H01J41/06 ,  G01L21/34

CPC classification number: H01J41/04 ,  G01L21/34

Abstract: The invention relates to a Penning vacuum meter (1), comprising a cathode and an anode. According to the invention, the cathode (11) consists at least mainly of titanium in order to avoid the detrimental effects of the cathode disintegrating.

公开(公告)号：EP1450389A3

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：EP04001306.2

申请日：2004-01-22

Applicant: Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH

Inventor： Müller, Michael, Dr. ,  Janik, Jan, Prof. Ing.

IPC: H01J27/04 ,  H01J27/18 ,  H01J27/20 ,  H01J41/10 ,  H01J27/22 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J27/04 ,  H01J27/18 ,  H01J41/04

Abstract: Eine Multi-Mode-Metall-Ionenquelle mit der Struktur einer Hohlkathoden-Sputter-Ionenquelle mit radialer Ionenextraktion wird wahlweise als Gas-Penning-Ionenquelle (PIG) oder Sputter-Penning-Ionenquelle oder Hohlkathoden-Ionenquelle (HCD) betrieben. Die Elektrodenanordnung der Ionenquelle sitzt im Bereich des Spiegelfeldes zwischen zwei Magnetpolen. Die hohlzylindrische, gekühlte Antikathode hat drei axialen Spalte, der mittlere ist für die radiale Ionenextraktion, in die beiden äußeren ragen je eine Sputterelektrode innenbündig.
Eine Schalteinrichtung mit vier Schaltern beaufschlagt die Sputterelektroden und die Antikathode wahlweise mit einem vorgesehenen elektrischen Potential.
Die Einrichtung zur Erzeugung des Magnetfelds ist derart gestaltet ist, dass zur Erzielung höherer Feldstärken in der Mittelebene des Luftspaltes, in Richtung der Extraktionsachse gesehen, das Längen- zu Breitenverhältnis der Polschuhfläche zur Erzeugung ausreichender Plasmadichte auf der Entladungsachse zur Initiierung des Elektronenpendeleffekts der Penningentladung

公开(公告)号：EP1450389A2

公开(公告)日：2004-08-25

申请号：EP04001306.2

申请日：2004-01-22

Applicant: Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH

Inventor： Müller, Michael, Dr. ,  Janik, Jan, Prof. Ing.

IPC: H01J27/18 ,  H01J27/20 ,  H01J41/10

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J27/04 ,  H01J27/18 ,  H01J41/04

Abstract: Eine Multi-Mode-Metall-Ionenquelle mit der Struktur einer Hohlkathoden-Sputter-Ionenquelle mit radialer Ionenextraktion wird wahlweise als Gas-Penning-Ionenquelle (PIG) oder Sputter-Penning-Ionenquelle oder Hohlkathoden-Ionenquelle (HCD) betrieben. Die Elektrodenanordnung der Ionenquelle sitzt im Bereich des Spiegelfeldes zwischen zwei Magnetpolen. Die hohlzylindrische, gekühlte Antikathode hat drei axialen Spalte, der mittlere ist für die radiale Ionenextraktion, in die beiden äußeren ragen je eine Sputterelektrode innenbündig.
Eine Schalteinrichtung mit vier Schaltern beaufschlagt die Sputterelektroden und die Antikathode wahlweise mit einem vorgesehenen elektrischen Potential.
Die Einrichtung zur Erzeugung des Magnetfelds ist derart gestaltet ist, dass zur Erzielung höherer Feldstärken in der Mittelebene des Luftspaltes, in Richtung der Extraktionsachse gesehen, das Längen- zu Breitenverhältnis der Polschuhfläche zur Erzeugung ausreichender Plasmadichte auf der Entladungsachse zur Initiierung des Elektronenpendeleffekts der Penningentladung

Abstract translation: 多模式金属离子源包括用于在电磁体的气隙中产生对称磁镜场的单元，布置在镜面区域中的电极布置，设置在阴极（1）之间的两个冷却阳极（2） 设置在阳极之间的中空圆柱形冷却的反阴极（6），另外的溅射电极（4），提取电极（7）和开关装置。 优选地，用于制造磁镜的单元被构造成使得产生镜面场的极靴的横截面为矩形到椭圆形。 用于制造磁性镜的单元的铁芯由形成镜子的碳芯或两个碳芯组成。 在极靴和电极装置之间布置电介质。

公开(公告)号：EP0827179B1

公开(公告)日：2001-11-28

申请号：EP96306329.2

申请日：1996-08-30

Applicant: Varian, Inc.

Inventor： Hablanian,Marsbed ,  Ratnam,Asoka

IPC: H01J27/14 ,  H01J49/12 ,  H01J41/04

CPC classification number: H01J27/14 ,  H01J41/04 ,  H01J49/126

公开(公告)号：EP1012870A1

公开(公告)日：2000-06-28

申请号：EP98913603.1

申请日：1998-02-27

Applicant: Leybold Vakuum GmbH

Inventor： GROSSE BLEY, Werner ,  KÜSTER, Gerhard

IPC: H01J41/06 ,  G01L21/34

CPC classification number: H01J41/04 ,  G01L21/34

Abstract: The invention relates to a Penning vacuum meter (1), comprising a cathode and an anode. According to the invention, the cathode (11) consists at least mainly of titanium in order to avoid the detrimental effects of the cathode disintegrating.

公开(公告)号：EP0126987A1

公开(公告)日：1984-12-05

申请号：EP84104713.7

申请日：1984-04-26

Applicant: Granville-Phillips Company

Inventor： Bills, Daniel Granville ,  Dodgen, Stephen LeRele ,  Arnold, Paul Clarke ,  Van Cleve, Craig Brainard

IPC: H01J41/04

CPC classification number: H01J41/04

Abstract: An ionization gauge of the type including a source of electrons, an accelerating electrode for accelerating said electrons through a volume generally defined by said accelerating electrode and a collector electrode, disposed in the volume. Ions are collected by the collector electrode. The accelerating electrode comprises a substantially closed anode having an internal cavity to precisely define the volume. An aperture is disposed to admit said electrons from the source into the closed volume.

Abstract translation: 这种类型的电离计包括电子源，用于加速所述电子的加速电极，所述电子通过由所述加速电极和集电极限定的体积，所述电子设置在所述体积中。 离子由收集器电极收集。 加速电极包括具有内腔的基本上封闭的阳极，以精确限定体积。 设置孔以允许来自源的所述电子进入封闭容积。

公开(公告)号：JP2015507203A

公开(公告)日：2015-03-05

申请号：JP2014556686

申请日：2013-02-07

Applicant: エム ケー エス インストルメンツインコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated ,  エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated

Inventor： ブラッカー・ジェラルド・エー

IPC: G01L21/32

CPC classification number: G01L21/32 ,  G01L19/0627 ,  G01L21/30 ,  H01J1/52 ,  H01J41/02 ,  H01J41/04

Abstract: 【課題】高圧力で作動するときに、スパッタリングで生じる堆積物の位置を制御しながら圧力を測定する電離真空計を提供する。【解決手段】電離真空計100は、電子を放出する少なくとの一つの電子源105と、電離空間を形成する陽極構造体120とを含む。さらに、電離真空計100は、電離空間における、電子と、気体分子及び原子との衝突によって生成されるイオンを収集して、気体圧力を出力するコレクター電極110を含む。電子源105を電離空間の一つの端部に配置して、スパッタリングされたコレクター電極110や外被205の表面から飛び出た原子の流れに対して電子源105が曝されるのを最小限にすることができる。【選択図】図2

Abstract translation: A当在高压下操作，以提供电离计以测量压力，同时控制的沉积物引起溅射的位置。 电离计100包括具有较少发射电子的单个电子源105和阳极结构120，以形成离子化空间。 此外，电离计100中，离子化空间，包括电子，收集由与气体分子和原子，用于输出气体压力的集电极电极110的碰撞产生的离子。 设置在所述离子化空间的一端105上的电子源中，以最小化电子源105被暴露于突出原子的从集电电极110的溅射表面上的流动和护套205 这是可能的。 .The

公开(公告)号：JP2015001391A

公开(公告)日：2015-01-05

申请号：JP2013124495

申请日：2013-06-13

Applicant: キヤノンアネルバ株式会社 ,  Canon Anelva Corp

Inventor： ENOMOTO ITARU ,  MANO HIDEO

IPC: G01L21/34

CPC classification number: G01L21/34 ,  G01L21/30 ,  G01L21/32 ,  H01J41/04 ,  H01J41/06

Abstract: 【課題】所定の放電空間を形成するにあたり装置の大型化を低減し、測定子容器の内壁への付着を低減するための部材のガタつきの低減を簡便に実現することが可能な冷陰極電離真空計及び内壁保護部材を提供すること。【解決手段】本発明の一実施形態に係る冷陰極電離真空計は、放電空間9を形成すべく一方を他方が囲むように配置された測定子容器(陰極)1、陽極2と、放電空間9に配置され、上記囲むように配置された他方の電極である測定子容器(陰極)1の内壁面7を保護する内壁保護部材5と、を備え、内壁保護部材5は、導電性を有し、内壁面7の形状に沿って弾性変形することで測定子容器(陰極)1と電気的に接続される。【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种冷阴极电离真空计和内壁保护构件，其能够在形成预定的放电空间时抑制装置的尺寸变大，并且容易地减少用于减少粘附的构件的松动 一个冷阴极电离真空计包括：一个排列为围绕一个电极形成放电空间9的量筒头容器（阴极）1; 阳极2作为一个电极; 以及布置在放电空间9中的内壁保护构件5，用于保护测量头容器（阴极）1的内壁7作为围绕一个电极布置的另一电极。 内壁保护构件5通过沿着内壁7的形状弹性变形而导电并电连接到量筒头容器（阴极）1。

公开(公告)号：JP2008537998A

公开(公告)日：2008-10-02

申请号：JP2007557413

申请日：2006-03-01

Applicant: インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

Inventor： クナップ，ボルフラム ,  ブーエスト，マルティン

IPC: G01L21/34

CPC classification number: G01L21/32 ,  G01L21/12 ,  H01J1/3042 ,  H01J41/04

Abstract: 電子を放出する陰極（６）は、ステンレス鋼からなる側壁（２）と、エミッタ層（７）の凹形エミッタ表面内の内側に小さい距離を置いて固定されるゲート（９）とに取り付けられる導電性エミッタ層（７）からなる。 陰極（６）は、円筒形の格子状の陽極（５）と、直線の軸方向のフィラメントからなる中央のイオンコレクタ（４）とを収容する反応領域（３）を取り囲んでいる。 反応領域（３）中の気体の密度を反映するイオンコレクタ電流（Ｉ
IC ）は、ゲート電圧（Ｖ
G ）をエミッタ層（７）の接地電圧とそれより高い陽極電圧（Ｖ
A ）との間に保持し、陽極電流（Ｉ
A ）が一定になるように調節しながら電流計（１１）によって測定する。 エミッタ層（７）は、カーボンナノチューブ、ダイヤモンドライクカーボン、金属または金属の混合物、または例えばカーバイドまたはモリブデンでコーティングしたものでもよい半導体材料、例えばシリコンからなるものでよい。 しかし、エミッタ表面は、例えば化学エッチングによって粗くされた側壁の内面の一部であってもよい。 ゲート（９）は格子でもよく、またエミッタ部の上に分布したスペーサを覆うパッチまたは金属膜、またはエミッタ表面の上に配置した電子浸透層を覆う金属膜でもよい。

公开(公告)号：JP2006510036A

公开(公告)日：2006-03-23

申请号：JP2005518088

申请日：2002-05-28

Applicant: インフィコン インコーポレイティッド

Inventor： シー フリーズ ルイス ,  イー エレフソン ロバート

IPC: G01L21/36 ,  G01L21/32 ,  H01J41/00 ,  H01J41/04

CPC classification number: H01J41/04

Abstract: 電離真空計において、平行化された電子ビームが計器構造のグリッド表面に当たるときに出射されるＸ線の影響を、羽板付ビーム止めにより低減した。 この羽板付ビーム止めはＸ線を持たない影領域を形成し、これによりコレクタプレートに当たるＸ線の量を最小にし、残留電流のＸ線作用部分を減少させる。