접촉성이 개선된 범프를 포함하는 테스트 소켓용 MEMS 필름
    61.
    发明授权
    접촉성이 개선된 범프를 포함하는 테스트 소켓용 MEMS 필름 有权
    用于测试插座的MEMS膜,包括具有改善的接触特性的凸块

    公开(公告)号:KR101720300B1

    公开(公告)日:2017-03-28

    申请号:KR1020150103123

    申请日:2015-07-21

    Abstract: 본발명의테스트소켓용 MEMS 필름은반도체기기와테스트장치사이에배치되어상기반도체기기의전기적검사를수행하는테스트소켓용 MEMS 필름에있어서, 가요성의베어필름, 및 MEMS 공정에의하여상기베어필름상에형성되고, 상기테스트장치의전극패드혹은상기반도체기기의도전볼과전기적콘택을형성하되, 접촉면이에지에서센터로갈수록상기전극패드혹은상기도전볼 방향으로볼록하게라운드되는라운드타입(round-type)의복수 MEMS 범프를포함한다. 이와같은구성에의하면, 접촉성이크게개선된다.

    Abstract translation: 根据本发明的用于测试插座的MEMS膜设置在半导体器件和测试器件之间以执行半导体器件的电检测。用于测试插座的MEMS膜包括:柔性裸露膜; 类型为圆形,其中与测试装置的电极焊盘或半导体器件的导电球形成电接触,当接触表面从边缘到中心朝着电极焊盘或导电球凸出地倒圆时, 服装的数量包括MEMS颠簸。 根据这种构造,接触性能大大提高。

    積層配線の形成方法、液体噴射ヘッドの製造方法、配線実装構造、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
    62.
    发明专利
    積層配線の形成方法、液体噴射ヘッドの製造方法、配線実装構造、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 审中-公开
    形成层压布线的方法,液体喷射头的制造方法,布线安装结构和液体喷射头和液体喷射装置

    公开(公告)号:JP2015168120A

    公开(公告)日:2015-09-28

    申请号:JP2014043606

    申请日:2014-03-06

    Inventor: 横山 好彦

    Abstract: 【課題】ウェットエッチングにより第1配線上に第2配線を形成する際に第1配線の剥離を抑えることができる積層配線の形成方法、液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。さらに、ウェットエッチングにより第2配線が形成される第1配線の剥離を抑えて信頼性が向上した配線実装構造、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。 【解決手段】流路形成基板10上に形成されてエッチング液によりエッチングされる第1密着層131上に、断面形状が第1密着層側の幅W1よりも第1密着層131とは反対側の幅W2が広い接続端子91形成し、第1密着層131と同じ材料からなる第2密着層132で接続端子91を覆い、エッチング液を用いたウェットエッチングによって接続端子91上に傾斜配線110を形成する。 【選択図】図10

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种层叠布线的形成方法和液体喷射头的制造方法,其能够通过湿蚀刻法在第一布线上形成第二布线时能够抑制第一布线的剥离,并且还 提供一种布线安装结构,液体喷射头和液体喷射装置,其通过用湿蚀刻方法抑制形成有第二布线的第一布线的剥离而提高可靠性。解决方案:连接端子 如图91所示,在第一粘合层131上形成有与第一粘合层131相反的一侧的宽度W2比第一粘合层131侧的宽度W1大的横截面形状, 路径形成基板10并通过蚀刻剂蚀刻,连接端子91被由与第一粘合层131相同的材料形成的第二粘合层132覆盖,并且倾斜布线110 通过用蚀刻剂的湿蚀刻方法形成在连接端子91上。

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