KR102236190B1 - Thin film encapsulation for organic photonic and electronic devices and method for fabricating the same

    公开(公告)号:KR102236190B1

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:KR1020200071568A

    申请日:2020-06-12

    CPC classification number: H01L51/448 H01L51/0001 H01L51/0097

    Abstract: 본 발명은 고분자기판의 양면 상에 SiN
    x , SiO
    x N
    y , SiO
    x 가 순차적으로 적층된 3중층 구조의 박막을 2회 반복 적층시키고, SiN
    x 와 SiO
    x 의 계면에 형성되는 SiO
    x N
    y 의 물리적 특성을 강화시킴으로써 2x10
    -6 g/m
    2 /day 이하의 매우 우수한 수분투습율(WVTR, water vapor transmission rate)를 갖는 유기광전자소자의 봉지필름 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 유기광전자소자의 봉지필름은 플렉서블 기판; 및 상기 플렉서블 기판의 양면 각각에 형성된 3중층 구조의 박막 적층체;를 포함하여 이루어지며, 상기 3중층 구조의 박막 적층체는 SiN
    x 박막, SiO
    x N
    y 박막, SiO
    x 박막이 순차적으로 적층된 형태이며, 상기 3중층 구조의 박막 적층체가 상기 플렉서블 기판의 양면 각각에 2번 반복하여 적층되며, 첫번째 박막 적층체의 SiO
    x 박막과 두번째 박막 적층체의 SiN
    x 박막 사이에 SiO
    x N
    y 박막이 더 구비되며, 봉지필름의 수분투습율(WVTR, water vapor transmission rate)가 2x10
    -6 g/m
    2 /day 이하인 것을 특징으로 한다.

    KR102233627B1 - Nano optical sensor capable of wetting of polar solvent and method for analyzing polar solvent using the same

    公开(公告)号:KR102233627B1

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:KR1020190086228A

    申请日:2019-07-17

    CPC classification number: G01N21/554 G01N33/483

    Abstract: 극성 용매의 웨팅이 가능한 나노 광학 센서 및 이를 활용한 극성 용매 분석 방법이 제공된다. 나노 광학 센서는 기판; 상기 기판 상에 위치한 제1 전극층; 상기 제1 금속층 상에 위치한 절연층; 상기 절연층 상에 위치한 금속 나노 구조층; 상기 금속 나노 구조층 상에 용매 주입을 위한 용매 주입 공간을 형성하면서 상기 금속 나노 구조층과 이격되어 위치하는 제2 전극층; 및 상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층 사이에 전압을 형성하는 전압 형성부를 포함하되, 상기 금속 나노 구조층은 복수의 나노 섬들이 연결된 나노 섬 네트워크 구조이며, 상기 절연층은 소수성 물질을 포함하는 복수의 기둥과 상기 복수의 기둥에 의해 정의된 복수의 공간을 포함하고, 상기 용매 주입 공간에 주입되는 용매는 극성 용매이며, 상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층 사이에 전압이 형성되지 않는 경우, 상기 극성 용매는 상기 금속 나노 구조층을 통과하지 못하여 상기 절연층의 복수의 공간으로 유입되지 않는 상태이고, 상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층 사이에 전압이 형성되는 경우, 상기 극성 용매는 상기 금속 나노 구조층을 통과하여 상기 절연층의 복수의 공간으로 유입된다.

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